一种熔石英变曲率构件亚表面损伤信号的检测装置及方法

    公开(公告)号:CN119413816A

    公开(公告)日:2025-02-11

    申请号:CN202411716912.9

    申请日:2024-11-27

    Abstract: 本发明公开了一种熔石英变曲率构件亚表面损伤信号检测装置及方法,所述装置包括检测模块、计算机控制系统和移动平台。本发明将直型轨道直接安装于熔石英圆棒加工机床之上,由于直型轨道与熔石英圆棒轴线平行,移动平台沿直型轨道运动过程中,所示偏振分光镜与待检测点之间距离保持恒定,避免距离变化造成实验误差,能提高检测精度,获得更准确的熔石英变曲率构件不同曲率处的亚表面损伤信号检测参数。本发明使用了光阑以调整检测光束直径,进而提高检测精度;本发明根据偏振激光散射原理,仅检测偏振状态发生改变的S偏振光的光强即可实现对熔石英变曲率构件亚表面损伤的在位检测,光路简单,信号处理步骤少。

    一种用于激光隐形切割改性层的形位检测方法

    公开(公告)号:CN116765629A

    公开(公告)日:2023-09-19

    申请号:CN202310903094.2

    申请日:2023-07-21

    Abstract: 本发明公开了一种用于激光隐形切割改性层的形位检测方法,包括以下步骤:激光器发射检测激光束经偏振片、聚焦物镜变为线偏振光聚焦在激光隐形切割样品内部;光电检测器经偏振分光镜、格兰镜等采集在激光隐形切割样品改性层偏振状态发生改变的线偏振光;上位机对采集的数据进行处理并对激光隐形切割样品改性层进行三维重构。本发明根据偏振激光散射原理,仅检测偏振状态发生改变的线偏振光的光强即可实现对激光隐形切割样品改性层质量的检测。本发明通过聚焦物镜、聚焦透镜和针孔,极大提高了对激光隐形切割样品改性层的形位检测精度。本发明可直接用于现有的激光隐形切割设备,实现对激光隐形切割技术改性层质量的在线高精度检测。

    一种熔石英半球谐振子亚表面损伤信号的检测装置及方法

    公开(公告)号:CN118501173A

    公开(公告)日:2024-08-16

    申请号:CN202410596822.4

    申请日:2024-05-14

    Abstract: 本发明公开了一种熔石英半球谐振子亚表面损伤信号的检测装置及方法,所述装置包括检测模块、计算机控制系统、移动平台以及圆弧轨道;所述的检测模块包括激光器、偏振片、偏振分光镜、格兰镜、光电检测器和检测支架。本发明将圆弧导轨直接安装于半球谐振子加工机床之上,并且导轨圆心与半球圆心在俯视面共圆心,以此保证检测过程中被检测面与所示偏振分光镜距离保持恒定,避免了因距离变化而造成的实验误差,提高了检测精度;并因此使得其能够实现对转动的半球谐振子亚表面损伤的检测。本发明根据偏振激光散射原理,仅检测偏振状态发生改变的S偏振光的光强即可实现对半球谐振子亚表面损伤的在位检测,光路简单,信号处理步骤少。

    一种用于检测激光隐形切割改性层形位精度的装置

    公开(公告)号:CN117030605A

    公开(公告)日:2023-11-10

    申请号:CN202310903095.7

    申请日:2023-07-21

    Abstract: 本发明公开了一种用于检测激光隐形切割技术改性层形位精度的装置,包括激光光路盒、计算机控制系统和微纳移动平台。所述激光光路盒包括激光器、偏振片、偏振分光镜、聚焦物镜、格兰镜、聚焦透镜、针孔、光电检测器和密封盒。所述计算机控制系统包括数据采集卡、上位机和运动控制器。检测激光由激光光路盒中激光器发出,经偏振片、聚焦物镜聚焦在激光切样品内部,对样品改性层进行检测。计算机控制系统接受检测信号并进行信号处理,对激光隐形切割样品改性层进行三维重构。本发明能实现对激光隐形切割技术改性层形位的在线高精度检测,可安装在现有的激光隐形切割设备上,对其进行升级改造,提高激光隐形切割效率和良品率,具有广泛的工业价值。

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