一种熔石英半球谐振子亚表面损伤信号的检测装置及方法

    公开(公告)号:CN118501173A

    公开(公告)日:2024-08-16

    申请号:CN202410596822.4

    申请日:2024-05-14

    Abstract: 本发明公开了一种熔石英半球谐振子亚表面损伤信号的检测装置及方法,所述装置包括检测模块、计算机控制系统、移动平台以及圆弧轨道;所述的检测模块包括激光器、偏振片、偏振分光镜、格兰镜、光电检测器和检测支架。本发明将圆弧导轨直接安装于半球谐振子加工机床之上,并且导轨圆心与半球圆心在俯视面共圆心,以此保证检测过程中被检测面与所示偏振分光镜距离保持恒定,避免了因距离变化而造成的实验误差,提高了检测精度;并因此使得其能够实现对转动的半球谐振子亚表面损伤的检测。本发明根据偏振激光散射原理,仅检测偏振状态发生改变的S偏振光的光强即可实现对半球谐振子亚表面损伤的在位检测,光路简单,信号处理步骤少。

    一种熔石英变曲率构件亚表面损伤信号的检测装置及方法

    公开(公告)号:CN119413816A

    公开(公告)日:2025-02-11

    申请号:CN202411716912.9

    申请日:2024-11-27

    Abstract: 本发明公开了一种熔石英变曲率构件亚表面损伤信号检测装置及方法,所述装置包括检测模块、计算机控制系统和移动平台。本发明将直型轨道直接安装于熔石英圆棒加工机床之上,由于直型轨道与熔石英圆棒轴线平行,移动平台沿直型轨道运动过程中,所示偏振分光镜与待检测点之间距离保持恒定,避免距离变化造成实验误差,能提高检测精度,获得更准确的熔石英变曲率构件不同曲率处的亚表面损伤信号检测参数。本发明使用了光阑以调整检测光束直径,进而提高检测精度;本发明根据偏振激光散射原理,仅检测偏振状态发生改变的S偏振光的光强即可实现对熔石英变曲率构件亚表面损伤的在位检测,光路简单,信号处理步骤少。

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