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公开(公告)号：CN100455362C
公开(公告)日：2009-01-28
申请号：CN200510129487.4
申请日：2005-12-09
Applicant: 大日本网目版制造株式会社
Abstract: 本发明提供一种涂敷装置，其将有机EL材料或者空穴输送材料的处理液涂敷到基板(7)上。涂敷装置具有：装载基板(7)的载物台(4)；安装在载物台内并加热该载物台的加热器(41)；以将装载在载物台(4)的基板(7)加热到适于涂敷后的搬送的温度的方式控制加热器(41)的控制机构，对装载在载物台(4)的基板(7)喷洒处理液的喷嘴单元(2)。
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公开(公告)号：CN100406139C
公开(公告)日：2008-07-30
申请号：CN200510120262.2
申请日：2005-11-09
Applicant: 大日本网目版制造株式会社
Abstract: 本发明提供一种涂布装置，其具有喷嘴(521～523)、载物台(21)、喷嘴移动机构部(51)、及接液部(53)。喷嘴(521～523)将液柱状态的涂布液排出到基板上。载物台(21)将基板载置在其上面。喷嘴移动机构部(51)在载物台(21)上的空间，在横穿载物台面的方向使喷嘴(521～523)往复移动。接液部(53)在上面形成与上述横穿方向平行的狭缝状的开口，在喷嘴移动机构部(51)在从载物台(21)上偏离的位置使喷嘴(521～523)移动时，通过此开口回收排出的液柱状态的涂布液。
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公开(公告)号：CN1785533A
公开(公告)日：2006-06-14
申请号：CN200510129487.4
申请日：2005-12-09
Applicant: 大日本网目版制造株式会社
Abstract: 本发明提供一种涂敷装置，其将有机EL材料或者空穴输送材料的处理液涂敷到基板(7)上。涂敷装置具有：装载基板(7)的载物台(4)；安装在载物台内并加热该载物台的加热器(41)；以将装载在载物台(4)的基板(7)加热到适于涂敷后的搬送的温度的方式控制加热器(41)的控制机构，对装载在载物台(4)的基板(7)喷洒处理液的喷嘴单元(2)。
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公开(公告)号：CN101028617B
公开(公告)日：2010-10-13
申请号：CN200710084320.X
申请日：2007-02-27
Applicant: 大日本网目版制造株式会社
Abstract: 一种涂布装置以及涂布方法，该涂布装置具有载物台、喷嘴、以及局部环境生成机构。载物台将基板装载于其上表面。喷嘴在载物台上的空间中从其前端部喷出涂布液。局部环境生成机构对包含喷嘴喷出涂布液的空间和涂布了涂布液的基板的涂布部位的涂布空间局部地供给规定气体，在规定的环境中进行涂布液的涂布。
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公开(公告)号：CN101085438A
公开(公告)日：2007-12-12
申请号：CN200710102166.4
申请日：2007-04-29
Applicant: 大日本网目版制造株式会社
Abstract: 本发明提供一种涂布装置以及涂布方法，喷嘴从其前端部喷出所述涂布液；载物台，在其上表面上装载基板；喷嘴移动机构，在载物台上的空间，在横贯载物台面的方向使喷嘴往复移动；箱体，其至少包围载物台而设置；第一供给口设置于箱体的一侧，向所述箱体的内部空间供给给定的气体；第一排气口设置于箱体的另一侧，排出该箱体的内部空间内的气体；循环机构至少使从第一排气口排出的气体循环，而向箱体内部供给；第二供给口设置于箱体的一侧，向该箱体空间内供给从循环机构供给的气体。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1299836C
公开(公告)日：2007-02-14
申请号：CN03153921.1
申请日：2003-08-20
Applicant: 大日本网目版制造株式会社
Abstract: 本发明提供一种能够以良好的精度将液体涂敷于涂敷区域的涂敷装置和涂敷方法。在使掩模(4)位于试涂位置的状态下，一边使喷嘴沿X方向作往复移动一边将有机EL材料朝向掩模(4)喷出，在掩模(4)的内周面上形成涂敷轨迹(CL)。接着，利用CCD照相机对该涂敷轨迹(CL)的光学像(Ic1)进行拍摄，将表示该涂敷轨迹(CL)的图像数据暂时地存储于控制部的存储器中。另外，在使掩模(4)位于涂敷位置的状态下，利用CCD照相机对基板(1)的槽(11)的光学像(I11)进行拍摄，将表示该槽(11)的图像数据暂时地存储控制部的存储器中。然后，根据这些图像数据，以涂敷轨迹(CL)与槽(11)相一致的方式，使基板(1)定位。然后，进行涂敷处理。
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公开(公告)号：CN101912833B
公开(公告)日：2012-10-10
申请号：CN201010266807.1
申请日：2007-02-27
Applicant: 大日本网目版制造株式会社
Abstract: 一种涂布装置以及涂布方法，该涂布装置具有载物台、喷嘴、以及局部环境生成机构。载物台将基板装载于其上表面。喷嘴在载物台上的空间中从其前端部喷出涂布液。局部环境生成机构对包含喷嘴喷出涂布液的空间和涂布了涂布液的基板的涂布部位的涂布空间局部地供给规定气体，在规定的环境中进行涂布液的涂布。
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公开(公告)号：CN101912833A
公开(公告)日：2010-12-15
申请号：CN201010266807.1
申请日：2007-02-27
Applicant: 大日本网目版制造株式会社
Abstract: 一种涂布装置以及涂布方法，该涂布装置具有载物台、喷嘴、以及局部环境生成机构。载物台将基板装载于其上表面。喷嘴在载物台上的空间中从其前端部喷出涂布液。局部环境生成机构对包含喷嘴喷出涂布液的空间和涂布了涂布液的基板的涂布部位的涂布空间局部地供给规定气体，在规定的环境中进行涂布液的涂布。
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公开(公告)号：CN100375314C
公开(公告)日：2008-03-12
申请号：CN03137196.5
申请日：2003-06-09
Applicant: 大日本网目版制造株式会社
CPC classification number: H01L27/3295
Abstract: 本发明提供一种有机EL元件的制法和有机EL显示装置，在向基板上形成的分隔壁之间涂布有机EL材料制造有机EL元件时，能够防止相邻的分隔壁之间的有机EL材料发生混色。其解决方法是：在有选择地向各个元件空间SP供给空穴输送材料之后，对基板加热处理使空穴输送材料干燥，形成空穴输送层。由此防止在分隔壁顶部附着空穴输送材料。然后，对其分隔壁顶部实行憎液化处理。更具体说，在分隔壁的顶部形成含氟层。而在此憎液化处理之后，向分隔壁之间供给有机EL材料。此时，由于含氟层的存在，阻止有机EL材料向其他分隔壁之间的移动，有效防止了多种颜色的有机EL材料发生混色。
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公开(公告)号：CN1472993A
公开(公告)日：2004-02-04
申请号：CN03146547.1
申请日：2003-07-07
Applicant: 大日本网目版制造株式会社
Abstract: 本发明的装置可将含有有机EL材料的涂敷液，从喷嘴稳定地吐出至基板上。构成喷嘴(4a)的喷嘴本体(41)的内部空间(SP)具有作为使有机EL材料(10a)流通的流路的功能。在该流路上与作在喷嘴前端的小孔(45a)离开的内部位置上，安装着过滤器(43)。过滤器(43)的过滤精度为10微米，可以收集异物和凝胶化的溶解物等，阻止它们到达小孔(45a)。因此可以可靠地防止异物等堵塞小孔(45a)。
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