公开(公告)号：CN100406139C

公开(公告)日：2008-07-30

申请号：CN200510120262.2

申请日：2005-11-09

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 高村幸宏 ,  增市干雄 ,  松家毅 ,  铃木聪 ,  西牟田浩史

IPC: B05C5/04 ,  B05C11/10 ,  B05D5/06 ,  H05B33/10

Abstract: 本发明提供一种涂布装置，其具有喷嘴(521～523)、载物台(21)、喷嘴移动机构部(51)、及接液部(53)。喷嘴(521～523)将液柱状态的涂布液排出到基板上。载物台(21)将基板载置在其上面。喷嘴移动机构部(51)在载物台(21)上的空间，在横穿载物台面的方向使喷嘴(521～523)往复移动。接液部(53)在上面形成与上述横穿方向平行的狭缝状的开口，在喷嘴移动机构部(51)在从载物台(21)上偏离的位置使喷嘴(521～523)移动时，通过此开口回收排出的液柱状态的涂布液。

公开(公告)号：CN1796001A

公开(公告)日：2006-07-05

申请号：CN200510120262.2

申请日：2005-11-09

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 高村幸宏 ,  增市干雄 ,  松家毅 ,  铃木聪 ,  西牟田浩史

IPC: B05C5/04 ,  B05C11/10 ,  B05D5/06 ,  H05B33/10

Abstract: 本发明提供一种涂布装置，其具有喷嘴(521～523)、载物台(21)、喷嘴移动机构部(51)、及接液部(53)。喷嘴(521～523)将液柱状态的涂布液排出到基板上。载物台(21)将基板载置在其上面。喷嘴移动机构部(51)在载物台(21)上的空间，在横穿载物台面的方向使喷嘴(521～523)往复移动。接液部(53)在上面形成与上述横穿方向平行的狭缝状的开口，在喷嘴移动机构部(51)在从载物台(21)上偏离的位置使喷嘴(521～523)移动时，通过此开口回收排出的液柱状态的涂布液。