公开(公告)号：CN1295026C

公开(公告)日：2007-01-17

申请号：CN200410028733.2

申请日：2004-03-12

Applicant: 大日本屏影象制造株式会社

Inventor： 高木善则 ,  福地毅 ,  北泽裕之 ,  安藤美奈子

IPC: B05C5/02 ,  B05C11/10 ,  F04B7/00

Abstract: 提供一种不产生颗粒，将处理液高精度地送液的装置。在将抗蚀剂液(处理液)向狭缝喷嘴(41)送液的送液机构(80)中设有抗蚀剂液泵(81)和驱动机构(82)。此外，在抗蚀剂液泵(81)上设有小直径的第1波纹管、大直径的第2波纹管、第1波纹管与第2波纹管的结合部件及构成抗蚀剂液的流路的管。通过驱动机构(82)向图3中下方向移动结合部件，管的内部容积减少，管内的抗蚀剂液被向狭缝喷嘴(41)送液。此外，通过驱动机构(82)向图3中下方向移动结合部件，管的内部容积增加，将抗蚀剂液向抗蚀剂液泵(81)吸引。

公开(公告)号：CN1530176A

公开(公告)日：2004-09-22

申请号：CN200410028733.2

申请日：2004-03-12

Applicant: 大日本屏影象制造株式会社

Inventor： 高木善则 ,  福地毅 ,  北泽裕之 ,  安藤美奈子

IPC: B05C5/02 ,  F04B7/00

Abstract: 提供一种不产生颗粒，将处理液高精度地送液的装置。在将抗蚀剂液(处理液)向狭缝喷嘴(41)送液的送液机构(80)中设有抗蚀剂液泵(81)和驱动机构(82)。此外，在抗蚀剂液泵(81)上设有小直径的第1波纹管、大直径的第2波纹管、第1波纹管与第2波纹管的结合部件及构成抗蚀剂液的流路的管。通过驱动机构(82)向图3中下方向移动结合部件，管的内部容积减少，管内的抗蚀剂液被向狭缝喷嘴(41)送液。此外，通过驱动机构(82)向图3中下方向移动结合部件，管的内部容积增加，将抗蚀剂液向抗蚀剂液泵(81)吸引。