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公开(公告)号：CN101624168A
公开(公告)日：2010-01-13
申请号：CN200910159751.7
申请日：2009-07-10
Applicant: 大日本印刷株式会社
CPC classification number: B81B3/0081 , B81B2201/0235 , B81B2203/0109 , B81B2207/07 , G01P15/0802 , G01P15/123 , G01P15/18 , G01P2015/084 , Y10T29/42
Abstract: 本发明的传感器具备：框部；从该框部向内侧方向突出的多个梁部；通过梁来支撑重锤部；配置在梁部的压电电阻元件；以及被覆压电电阻元件的绝缘层，其中，压电电阻元件具有1个以上的折叠部，在位于该折叠部的绝缘层上配置金属布线，将该金属布线经由形成在绝缘层的2个以上的接触孔连接到折叠部，在位于压电电阻元件的两端部的绝缘层设置接触孔，使电桥电路布线经由该接触孔连接到压电电阻元件。
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公开(公告)号：CN102959403A
公开(公告)日：2013-03-06
申请号：CN201180030962.6
申请日：2011-06-21
Applicant: 大日本印刷株式会社
Inventor： 桥本克美
CPC classification number: H01L29/84 , B81B7/0054 , B81B2201/0235 , B81C2203/0154 , G01P15/0802 , G01P15/123 , G01P2015/0842
Abstract: 本发明提供一种减轻因树脂封装造成的传感器所受到的应力，抑制因应力引起的传感器特性的变化的力学量传感器。力学量传感器具备：具有固定部和位于所述固定部的内侧的挠性部以及可动部的半导体衬底；以及覆盖所述挠性部和所述可动部的盖构件，所述固定部具有：包围所述挠性部和所述可动部的内框架和位于所述内框的周围的外框架；分离所述内框架与所述外框架的缝隙；以及连接所述内框架与所述外框架的连接部。
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公开(公告)号：CN101624168B
公开(公告)日：2016-02-17
申请号：CN200910159751.7
申请日：2009-07-10
Applicant: 大日本印刷株式会社
CPC classification number: B81B3/0081 , B81B2201/0235 , B81B2203/0109 , B81B2207/07 , G01P15/0802 , G01P15/123 , G01P15/18 , G01P2015/084 , Y10T29/42
Abstract: 本发明的传感器具备：框部；从该框部向内侧方向突出的多个梁部；通过梁来支撑重锤部；配置在梁部的压电电阻元件；以及被覆压电电阻元件的绝缘层，其中，压电电阻元件具有1个以上的折叠部，在位于该折叠部的绝缘层上配置金属布线，将该金属布线经由形成在绝缘层的2个以上的接触孔连接到折叠部，在位于压电电阻元件的两端部的绝缘层设置接触孔，使电桥电路布线经由该接触孔连接到压电电阻元件。
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公开(公告)号：CN102959403B
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201180030962.6
申请日：2011-06-21
Applicant: 大日本印刷株式会社
Inventor： 桥本克美
CPC classification number: H01L29/84 , B81B7/0054 , B81B2201/0235 , B81C2203/0154 , G01P15/0802 , G01P15/123 , G01P2015/0842
Abstract: 本发明提供一种减轻因树脂封装造成的传感器所受到的应力，抑制因应力引起的传感器特性的变化的力学量传感器。力学量传感器具备：具有固定部和位于所述固定部的内侧的挠性部以及可动部的半导体衬底；以及覆盖所述挠性部和所述可动部的盖构件，所述固定部具有：包围所述挠性部和所述可动部的内框架和位于所述内框的周围的外框架；分离所述内框架与所述外框架的缝隙；以及连接所述内框架与所述外框架的连接部。
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