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公开(公告)号:CN1713346A
公开(公告)日:2005-12-28
申请号:CN200510080915.9
申请日:2005-06-24
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: H01L21/67144 , H01L21/50 , H01L21/67126 , H01L2924/16235 , H01L2924/16788 , H01L2924/19043
Abstract: 利用第一吸取器件的吸取功能将玻璃片从放置在板支撑台上的板上剥离,然后将其停放在玻璃停放台上。在将玻璃片传送到玻璃停放台的过程中通过去电器件使玻璃片去电。用第二吸取器件吸取停放在玻璃停放台上的玻璃片,并将玻璃片移动到其表面具有图形化接合层并被放置在晶片支撑台上的半导体晶片上。玻璃片被放在接合层上,然后被加压,之后第二吸取器件的吸取功能解除。此时,玻璃片被组装在第二吸取器件中的加热器加热。
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公开(公告)号:CN1716533A
公开(公告)日:2006-01-04
申请号:CN200510089616.1
申请日:2005-06-11
Applicant: 夏普株式会社
Inventor: 内田健治
IPC: H01L21/00 , H01L21/301 , H01L21/78
CPC classification number: H01L27/14618 , H01L21/6835 , H01L27/146 , H01L27/14627 , H01L27/148 , H01L2221/68331 , H01L2221/68368 , H01L2924/0002 , H01L2924/16235 , H01L2924/3025 , Y10T156/1052 , H01L2924/00
Abstract: 在板状玻璃上粘贴第一粘着薄片后,用刃具把玻璃切断,分离成多个玻璃片。在和第一粘着薄片的粘贴面相反侧的玻璃片的面上粘贴第二粘着薄片。从玻璃片剥离第一粘着薄片。因为在通过玻璃的切断工序产生的玻璃切屑附着在第一粘着薄片的状态下剥离第一粘着薄片,所以各玻璃片在被粘贴在第二粘着薄片的状态下不会分离四散,可以使大部分玻璃切屑附着在第一粘着薄片上除去。
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公开(公告)号:CN100501910C
公开(公告)日:2009-06-17
申请号:CN200510089616.1
申请日:2005-06-11
Applicant: 夏普株式会社
Inventor: 内田健治
IPC: H01L21/00 , H01L21/301 , H01L21/78
CPC classification number: H01L27/14618 , H01L21/6835 , H01L27/146 , H01L27/14627 , H01L27/148 , H01L2221/68331 , H01L2221/68368 , H01L2924/0002 , H01L2924/16235 , H01L2924/3025 , Y10T156/1052 , H01L2924/00
Abstract: 在板状玻璃上粘贴第一粘着薄片后,用刃具把玻璃切断,分离成多个玻璃片。在和第一粘着薄片的粘贴面相反侧的玻璃片的面上粘贴第二粘着薄片。从玻璃片剥离第一粘着薄片。因为在通过玻璃的切断工序产生的玻璃切屑附着在第一粘着薄片的状态下剥离第一粘着薄片,所以各玻璃片在被粘贴在第二粘着薄片的状态下不会分离四散,可以使大部分玻璃切屑附着在第一粘着薄片上除去。
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公开(公告)号:CN100433246C
公开(公告)日:2008-11-12
申请号:CN200510080915.9
申请日:2005-06-24
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: H01L21/67144 , H01L21/50 , H01L21/67126 , H01L2924/16235 , H01L2924/16788 , H01L2924/19043
Abstract: 利用第一吸取器件的吸取功能将玻璃片从放置在板支撑台上的板上剥离,然后将其停放在玻璃停放台上。在将玻璃片传送到玻璃停放台的过程中通过去电器件使玻璃片去电。用第二吸取器件吸取停放在玻璃停放台上的玻璃片,并将玻璃片移动到其表面具有图形化接合层并被放置在晶片支撑台上的半导体晶片上。玻璃片被放在接合层上,然后被加压,之后第二吸取器件的吸取功能解除。此时,玻璃片被组装在第二吸取器件中的加热器加热。
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公开(公告)号:CN1705133A
公开(公告)日:2005-12-07
申请号:CN200510075481.3
申请日:2005-06-01
Applicant: 夏普株式会社
Inventor: 内田健治
CPC classification number: H01L27/14618 , H01L27/14621 , H01L27/14627 , H01L27/14649 , H01L2224/48091 , H01L2924/16235 , H01L2924/00014
Abstract: 与固态摄像元件的受光部相对设置的透光性盖部由玻璃基板和在玻璃基板的一面上形成的红外线遮挡膜构成。配置透光性盖部,使形成红外线遮挡膜的透光性盖部(玻璃基板)的一面成为与固态摄像元件的受光部相对侧的相反侧。即使在红外线遮挡膜中混入杂质或者在膜上附着杂质,由于从受光部到杂质(红外线遮挡膜)的距离较远,因而不容易受到杂质的影响,可以降低由杂质导致的不良产生。
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