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公开(公告)号：CN2550376Y
公开(公告)日：2003-05-14
申请号：CN02264887.9
申请日：2002-06-20
Applicant: 复旦大学
IPC: C23C14/46
Abstract: 本实用新型是一种等离子体和激光束联合材料处理装置。现有技术尚无将两者结合起来对材料进行加工处理的装置。本实用新型装置的材料处理室直接和微波放电腔连通，材料处理室还有多个光学窗口，可以从不同角度将激光束引入材料处理室，从而对材料进行等离子体和激光束联合加工处理。被处理材料在材料处理室中的位置和取向以及在处理过程中的移动和转动可以通过磁传动机构在处理室外灵活操纵。若关闭微波放电部分或者关闭激光器，本装置即是单一的激光束或者单一的等离子体处理装置。本装置结构紧凑而操作简捷，各功能切换方便，处理效果显著。
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