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公开(公告)号：CN113218625B
公开(公告)日：2023-11-17
申请号：CN202110245352.3
申请日：2021-03-05
Applicant: 香港理工大学深圳研究院 , 复旦大学 , 哈尔滨工业大学(深圳)
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明公开了一种基于几何相位超构表面的标准相位检测元件，包括：基板和设置于所述基板上的相位精准度检测模块和空间分辨率检测模块，所述相位精准度检测模块由具有不同旋转角度的若干第一超构表面组成，所述空间分辨率检测模块由具有不同尺寸和不同间距的若干第二超构表面组成。本发明通过集成不同旋转角度的超构表面来产生多阶相位分布，实现相位测量系统的相位测量精准度检测，通过调节超构表面的整体尺寸和超构表面之间的间距，实现相位测量系统的空间解析度检测。
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公开(公告)号：CN111397861B
公开(公告)日：2021-03-30
申请号：CN202010305955.3
申请日：2020-04-17
Applicant: 复旦大学 , 上海复享光学股份有限公司
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明涉及一种微型透镜检测系统及其检测方法，包括：单色光源；第一分束器，第一分束器将单色光源的光束分为第一光束和第二光束；对应第一光束依次设置的第一反射镜、第一物镜、第一透镜、第二分束器、第一实像面和第一探测器；以及依次沿第二光束设置的第二物镜、第二透镜和第二反射镜，第二光束经第二反射镜反射入第二分束器中与第一光束合成一束；通过放置样品于第一反射镜与第一物镜之间，使得第一光束经样品后与第二光束发生干涉，且第一探测器获取第一光束与第二光束的干涉条纹。本发明有效地解决了微型透镜尺寸小而造成的检测困难的问题，通过测量样品对入射光的相位调制能力，以评价样品的成像质量和品质，使得检测结果更加真实可靠。
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公开(公告)号：CN111397861A
公开(公告)日：2020-07-10
申请号：CN202010305955.3
申请日：2020-04-17
Applicant: 复旦大学 , 上海复享光学股份有限公司
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明涉及一种微型透镜检测系统及其检测方法，包括：单色光源；第一分束器，第一分束器将单色光源的光束分为第一光束和第二光束；对应第一光束依次设置的第一反射镜、第一物镜、第一透镜、第二分束器、第一实像面和第一探测器；以及依次沿第二光束设置的第二物镜、第二透镜和第二反射镜，第二光束经第二反射镜反射入第二分束器中与第一光束合成一束；通过放置样品于第一反射镜与第一物镜之间，使得第一光束经样品后与第二光束发生干涉，且第一探测器获取第一光束与第二光束的干涉条纹。本发明有效地解决了微型透镜尺寸小而造成的检测困难的问题，通过测量样品对入射光的相位调制能力，以评价样品的成像质量和品质，使得检测结果更加真实可靠。
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公开(公告)号：CN113218625A
公开(公告)日：2021-08-06
申请号：CN202110245352.3
申请日：2021-03-05
Applicant: 香港理工大学深圳研究院 , 复旦大学 , 哈尔滨工业大学(深圳)
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明公开了一种基于几何相位超构表面的标准相位检测元件，包括：基板和设置于所述基板上的相位精准度检测模块和空间分辨率检测模块，所述相位精准度检测模块由具有不同旋转角度的若干第一超构表面组成，所述空间分辨率检测模块由具有不同尺寸和不同间距的若干第二超构表面组成。本发明通过集成不同旋转角度的超构表面来产生多阶相位分布，实现相位测量系统的相位测量精准度检测，通过调节超构表面的整体尺寸和超构表面之间的间距，实现相位测量系统的空间解析度检测。
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公开(公告)号：CN117554289A
公开(公告)日：2024-02-13
申请号：CN202311525068.7
申请日：2023-11-15
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明涉及一种多通道微区角分辨监测系统及监测方法，该监测系统包括：可相对移动地入射臂和接收臂，入射臂设有至少两个入射通道，接收臂设有至少两个接收通道；选择性且位置可调的设置在入射通道和接收通道的椭偏光路组件和全息干涉光路组件，以及配合设置的光源、光电探测器和大数值孔径透镜；通过椭偏光路组件可对样品进行椭偏测量，通过全息干涉光路组件可对样品进行离轴数字全息测量，且通过入射臂和接收臂的相对移动并配合大数值孔径透镜能够实现对入射光束的入射角度调整，从而可以获取到多维度的更为全面的光学信号，更为精准监测样品的光学属性。
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