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公开(公告)号：CN108414450B
公开(公告)日：2021-08-10
申请号：CN201810101383.X
申请日：2018-02-01
Applicant: 复旦大学 , 上海复享光学股份有限公司
IPC: G01N21/17
Abstract: 本发明公开了一种动量空间成像系统及其应用。该动量空间成像系统至少包括下述部件：物镜、光学透镜A、光学透镜B和成像设备，光信号依次通过所述的物镜、所述的光学透镜A、所述的光学透镜B后由所述的成像设备接收。本发明的动量空间成像系统可用于测量和表征微纳光子学材料在动量空间中的光学信息，如带隙性质、能带结构、色散关系等。该系统可以实现显微区域样品的光学测量，最小测量范围可达1微米；还可以实现动量空间的观察测量。动量空间成像系统能够对样品的测量区域进行精确选择，并可进一步用于样品动量空间信息的选择与探测。
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公开(公告)号：CN111595812B
公开(公告)日：2021-06-22
申请号：CN202010474340.3
申请日：2020-05-29
Applicant: 复旦大学 , 上海复享光学股份有限公司
IPC: G01N21/359 , G01N21/35 , G01N21/21 , G06N3/04 , G06N3/08
Abstract: 本公开的实施例涉及一种基于动量空间色散关系的关键参数的量测方法和系统，该方法包括：根据入射光参数和所述待测目标的形貌模型，建立与待测目标的动量空间的色散曲线有关的模拟数据集；基于所述模拟数据集，训练基于神经网络的预测模型；基于入射光对待测目标的实际测量，获得待测目标在动量空间的色散关系图案，其中色散关系图案至少指示与待测目标的所述关键参数有关的色散曲线；以及基于色散关系图案，经由经训练的预测模型，从色散关系图案中提取与色散曲线有关的特征，以便确定与待测目标的至少一个关键参数有关的估计值。根据本公开的方法，可以更为高效、经济、准确地进行至少一个关键参数的度量。
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公开(公告)号：CN108414450A
公开(公告)日：2018-08-17
申请号：CN201810101383.X
申请日：2018-02-01
Applicant: 复旦大学 , 上海复享光学股份有限公司
IPC: G01N21/17
CPC classification number: G01N21/17 , G01N2021/1765
Abstract: 本发明公开了一种动量空间成像系统及其应用。该动量空间成像系统至少包括下述部件：物镜、光学透镜A、光学透镜B和成像设备，光信号依次通过所述的物镜、所述的光学透镜A、所述的光学透镜B后由所述的成像设备接收。本发明的动量空间成像系统可用于测量和表征微纳光子学材料在动量空间中的光学信息，如带隙性质、能带结构、色散关系等。该系统可以实现显微区域样品的光学测量，最小测量范围可达1微米；还可以实现动量空间的观察测量。动量空间成像系统能够对样品的测量区域进行精确选择，并可进一步用于样品动量空间信息的选择与探测。
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公开(公告)号：CN111397861B
公开(公告)日：2021-03-30
申请号：CN202010305955.3
申请日：2020-04-17
Applicant: 复旦大学 , 上海复享光学股份有限公司
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明涉及一种微型透镜检测系统及其检测方法，包括：单色光源；第一分束器，第一分束器将单色光源的光束分为第一光束和第二光束；对应第一光束依次设置的第一反射镜、第一物镜、第一透镜、第二分束器、第一实像面和第一探测器；以及依次沿第二光束设置的第二物镜、第二透镜和第二反射镜，第二光束经第二反射镜反射入第二分束器中与第一光束合成一束；通过放置样品于第一反射镜与第一物镜之间，使得第一光束经样品后与第二光束发生干涉，且第一探测器获取第一光束与第二光束的干涉条纹。本发明有效地解决了微型透镜尺寸小而造成的检测困难的问题，通过测量样品对入射光的相位调制能力，以评价样品的成像质量和品质，使得检测结果更加真实可靠。
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公开(公告)号：CN111397861A
公开(公告)日：2020-07-10
申请号：CN202010305955.3
申请日：2020-04-17
Applicant: 复旦大学 , 上海复享光学股份有限公司
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明涉及一种微型透镜检测系统及其检测方法，包括：单色光源；第一分束器，第一分束器将单色光源的光束分为第一光束和第二光束；对应第一光束依次设置的第一反射镜、第一物镜、第一透镜、第二分束器、第一实像面和第一探测器；以及依次沿第二光束设置的第二物镜、第二透镜和第二反射镜，第二光束经第二反射镜反射入第二分束器中与第一光束合成一束；通过放置样品于第一反射镜与第一物镜之间，使得第一光束经样品后与第二光束发生干涉，且第一探测器获取第一光束与第二光束的干涉条纹。本发明有效地解决了微型透镜尺寸小而造成的检测困难的问题，通过测量样品对入射光的相位调制能力，以评价样品的成像质量和品质，使得检测结果更加真实可靠。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111595812A
公开(公告)日：2020-08-28
申请号：CN202010474340.3
申请日：2020-05-29
Applicant: 复旦大学 , 上海复享光学股份有限公司
IPC: G01N21/359 , G01N21/35 , G01N21/21 , G06N3/04 , G06N3/08
Abstract: 本公开的实施例涉及一种基于动量空间色散关系的关键参数的量测方法和系统，该方法包括：根据入射光参数和所述待测目标的形貌模型，建立与待测目标的动量空间的色散曲线有关的模拟数据集；基于所述模拟数据集，训练基于神经网络的预测模型；基于入射光对待测目标的实际测量，获得待测目标在动量空间的色散关系图案，其中色散关系图案至少指示与待测目标的所述关键参数有关的色散曲线；以及基于色散关系图案，经由经训练的预测模型，从色散关系图案中提取与色散曲线有关的特征，以便确定与待测目标的至少一个关键参数有关的估计值。根据本公开的方法，可以更为高效、经济、准确地进行至少一个关键参数的度量。
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公开(公告)号：CN113884445B
公开(公告)日：2024-12-27
申请号：CN202111130599.7
申请日：2021-09-26
Applicant: 上海复享光学股份有限公司
Abstract: 本公开涉及一种用于测量薄膜光学常数的方法、系统、计算设备和存储介质，该方法包括：获取光源所发出的多个波长的入射光的光源光谱数据；获取关于待测薄膜的出射光谱数据，出射光谱数据是利用所述入射光对包括多层的薄膜层的待测薄膜进行测量而生成的；基于所述光源光谱数据和所述出射光谱数据，计算实测光谱数据，所述实测光谱数据至少指示所述待测薄膜在入射光的多个波长下的反射率或透射率；将光源光谱数据输入用于仿真待测薄膜中的光的传播特性的薄膜网络模型，以便薄膜网络模型所输出的关于待测薄膜的模拟光谱数据接近所述实测光谱数据；以及基于所述薄膜网络模型的参数，确定所述待测薄膜的折射率和薄膜层的薄膜主体的厚度中的至少一个。本公开能够快速实现多层薄膜的光学参数的量测。
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公开(公告)号：CN117422636A
公开(公告)日：2024-01-19
申请号：CN202311291631.9
申请日：2023-10-08
Applicant: 上海复享光学股份有限公司
Abstract: 本发明涉及一种获取样品区域相位的方法及系统，该方法包括步骤：S1、对原始相位图进行离散傅里叶变换，得到原始频谱图；S2、对原始频谱图进行过滤，提取出一级频谱图；S3、对一级频谱图进行逆离散傅里叶变换，得到相位分布图；S4、使用霍夫变换法从相位分布图中自动搜索并截取出样品区域相位图；S5、对样品区域相位图计算波像差及Zernike系数，判断Zernike系数的离焦项的值及两项倾斜项的平方和是否分别小于第一、第二阈值：若是，则当前样品区域相位图为优化后的样品区域相位图，而当前的波像差为优化后的波像差；若否，则以样品焦距和样品中心位置为变量调整样品区域相位图，然后返回步骤S5。本发明有效提高了相位测量准确度和测量效率。
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公开(公告)号：CN117419894A
公开(公告)日：2024-01-19
申请号：CN202311291864.9
申请日：2023-10-08
Applicant: 上海复享光学股份有限公司
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明涉及一种超表面相位量测方法及系统，量测方法包括如下步骤：S1、给定初始化样品面光场分布；S2、分别向基于该初始化样品面传播路径下的N个光场截面位置进行测量和拍摄，并计算得到N个截面位置处强度分布；S3、基于该初始化样品面光场分布分别计算出该N个光场截面位置处的N个截面计算光场分布；S4、取N个截面计算光场分布的光场相位分布和N个截面位置处强度分布，形成更新的N个光场截面位置处的光场分布。本发明可测量非可见光波段超表面光场调制信息的方法，该方法空间分辨率高，对光路数值孔径要求低，光路简单，CCD带宽利用充分，能同时实现对超表面强度和相位调制的全息光学成像与分析。
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公开(公告)号：CN117293009A
公开(公告)日：2023-12-26
申请号：CN202311319730.3
申请日：2023-10-12
Applicant: 上海复享光学股份有限公司
Abstract: 本发明涉及一种刻蚀终点检测方法，包括如下步骤：采集实部信号，对该实部信号进行Hilbert变换，得到对应的虚部信号；将实部信号加上虚部信号，得到分析信号；基于分析信号计算幅角随时间变化的幅角函数；对幅角函数进行解包裹，得到相位随时间变化的相位函数；判断变化量是否对应于需要刻蚀的厚度。本解决了现有技术中当刻蚀速率的不稳定性较强时，信号将会超出傅里叶条纹分析法的有效分析范围，影响IEP终点判断的准确性的技术问题，且在刻蚀速率不稳定场景下通过特定波长时序信号的分析获取实时刻蚀厚度，保证刻蚀工艺的良率。
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