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公开(公告)号：CN101985739A
公开(公告)日：2011-03-16
申请号：CN201010514606.9
申请日：2010-10-21
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明属于等离子体技术领域，具体为一种等离子体浸没注入设备的剂量控制系统。该控制系统包括位于离子注入设备内部的信号采集器，外围的信号测量设备以及计算机处理系统。其中信号采集器的设计依据及计算机自动控制系统的算法包含了本发明系统提供的离子注入剂量标定方法。系统通过信号采集器收集离子注入信号，而后通过测量设备测量信号，最后通过计算机系统处理信号获得离子注入信息，并控制等离子体浸没注入设备的工作。本发明系统解决了等离子体浸没注入剂量测定工作的复杂性，从而有效进行离子注入剂量的标定和控制。本发明系统可以在各类等离子体浸没注入的设备中使用。
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公开(公告)号：CN101899646B
公开(公告)日：2012-01-18
申请号：CN201010191678.4
申请日：2010-06-03
Applicant: 复旦大学
IPC: C23C14/48
Abstract: 本发明属于等离子体技术领域，具体为一种等离子体浸没注入剂量检测装置。该装置包括：安装于腔体内靶台的信号采集器，引线以及外围测量仪器；其中，信号采集器为导电金属片和绝缘体基片的双层结构，所述引线为刚性结构，用于连接信号采集器和外围检测仪器。该装置通过控制引线转动使信号采集器在靶台上移动，得到靶台各点的离子注入剂量信息，进而得到离子注入剂量在靶台上的分布。本发明装置解决了以往测试剂量通过检测等离子体浓度的复杂性，并提高了精确度。本发明装置也可以在各类衍生的等离子体浸没注入设备中使用。
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公开(公告)号：CN101899646A
公开(公告)日：2010-12-01
申请号：CN201010191678.4
申请日：2010-06-03
Applicant: 复旦大学
IPC: C23C14/48
Abstract: 本发明属于等离子体技术领域，具体为一种等离子体浸没注入剂量检测装置。该装置包括：安装于腔体内靶台的信号采集器，引线以及外围测量仪器；其中，信号采集器为导电金属片和绝缘体基片的双层结构，所述引线为刚性结构，用于连接信号采集器和外围检测仪器。该装置通过控制引线转动使信号采集器在靶台上移动，得到靶台各点的离子注入剂量信息，进而得到离子注入剂量在靶台上的分布。本发明装置解决了以往测试剂量通过检测等离子体浓度的复杂性，并提高了精确度。本发明装置也可以在各类衍生的等离子体浸没注入设备中使用。
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公开(公告)号：CN101672920A
公开(公告)日：2010-03-17
申请号：CN200910197207.1
申请日：2009-10-15
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明属于等离子体技术领域，具体涉及一种等离子体浸没注入剂量标定方法。所述的标定方法为通过实时测定等离子体浸没注入过程中的脉冲电压和回路电流，并且通过对电流在脉冲时间内的积分，剔除二次电子的成分来得到离子电流的成分，从而进行离子注入剂量的标定。此方法得到了一个最后标定的公式，根据不同的注入离子类型，靶材类型以及不同的注入参数可以修改其参数达到剂量标定的准确性。本发明解决了使用纯粹理论模型测量等离子体密度的复杂和剂量标定误差大的缺点，可以在等离子体浸没注入的范围内广泛使用。
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