公开(公告)号：CN102507040A

公开(公告)日：2012-06-20

申请号：CN201110354870.5

申请日：2011-11-10

Applicant: 复旦大学

Inventor： 张荣君 ,  郑玉祥 ,  陈良尧 ,  张帆 ,  林崴 ,  耿阳 ,  卢红亮

IPC: G01K11/00

Abstract: 本发明属于温度测量技术领域，具体为一种基于椭偏仪的薄膜温度测量方法。本发明利用椭偏仪测量被测薄膜的折射率谱线与标准折射率谱线，将两者比较，采用最小二乘法得到最佳匹配曲线，从而根据标准谱线所对应的温度值得到被测薄膜的温度值。本发明可非直接、无损耗地测量固体薄膜实时或非实时温度。测量过程中对薄膜材料没损伤，当实验条件不发生明显变化时，该方法具有较高的置信度。当标准折射率谱的温度间隔取得较小时，该方法具有较高的精度。

公开(公告)号：CN102507040B

公开(公告)日：2013-08-21

申请号：CN201110354870.5

申请日：2011-11-10

Applicant: 复旦大学

Inventor： 张荣君 ,  郑玉祥 ,  陈良尧 ,  张帆 ,  林崴 ,  耿阳 ,  卢红亮

IPC: G01K11/00

Abstract: 本发明属于温度测量技术领域，具体为一种基于椭偏仪的薄膜温度测量方法。本发明利用椭偏仪测量被测薄膜的折射率谱线与标准折射率谱线，将两者比较，采用最小二乘法得到最佳匹配曲线，从而根据标准谱线所对应的温度值得到被测薄膜的温度值。本发明可非直接、无损耗地测量固体薄膜实时或非实时温度。测量过程中对薄膜材料没损伤，当实验条件不发生明显变化时，该方法具有较高的置信度。当标准折射率谱的温度间隔取得较小时，该方法具有较高的精度。