公开(公告)号：CN107267927A

公开(公告)日：2017-10-20

申请号：CN201710444800.6

申请日：2017-06-14

Applicant: 复旦大学

Inventor： 李惠 ,  徐卓器 ,  巫志城 ,  许宁

IPC: C23C14/28 ,  C23C14/18 ,  C23C14/06 ,  C23C14/58

CPC classification number: C23C14/28 ,  C23C14/0605 ,  C23C14/18 ,  C23C14/5806

Abstract: 本发明属薄膜制备技术领域，具体为一种碳镍纳米棒薄膜的制备方法。本发明采用脉冲激光沉积方法在石英衬底上沉积一层Ni/C双层膜，然后通过热退火工艺在管式退火炉中进行后处理得到碳镍纳米棒薄膜材料。利用脉冲激光沉积方法在石英衬底上制备得到致密的Ni/C双层膜，热退火可以实现纳米棒材料的生长成型。合成的碳镍纳米棒薄膜的主要成分为NiCx，顶端伴随一定Ni含量的纳米颗粒。本发明制备成碳镍纳米棒薄膜具有良好的导电性能，具有可见光区高透过率的结构，可以在太阳能电池领域加以应用，成为一种新型透明电极材料。