公开(公告)号：CN119774540A

公开(公告)日：2025-04-08

申请号：CN202411875271.1

申请日：2024-12-19

Applicant: 复旦大学

Inventor： 宋恩名 ,  吴忠原 ,  周连杰 ,  刘俊含 ,  胡博帆 ,  梁富莹 ,  王希

IPC: B81C1/00 ,  A61B5/262 ,  A61B5/268 ,  A61B5/293 ,  A61N1/05 ,  B81B1/00

Abstract: 本发明公开了一种磁场可调控的三维植入式柔性微探针阵列衬底及其制备方法；其制备方法包括：在支撑衬底上从下往上依次制备牺牲层和第一柔性材料层；在第一柔性材料层上生长磁性材料中间层；在磁性材料中间层上制备第二柔性材料层；通过光刻刻蚀工艺对第一、第二柔性材料层进行蚀刻实现微探针区域的镂空和旋转铰链的减薄；去除牺牲层以释放整个微探针阵列衬底，通过磁场牵引微探针阵列发生旋转完成微探针阵列二维转三维的过程，通过树脂固化铰链获得三维微探针阵列。本发明显著提高了探针阵列在动态条件下的性能和可靠性；本发明使得微探针阵列能够捕捉三维信号的变化，提供高空间分辨率的监测能力，适用于实时神经活动监测等高精度应用。