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公开(公告)号:CN110589754A
公开(公告)日:2019-12-20
申请号:CN201910861740.7
申请日:2019-09-12
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明属于压力测量技术领域,具体为一种柔性水下压力传感器及其制备方法。本发明的压力传感器包括从下而上紧密贴合的下层柔性基底、力敏结构层和上层柔性封装层;下层柔性基底为聚酰亚胺薄膜,其下表面设有圆柱状空腔,空腔的腔壁上设置用以与外部水环境连通的微流道;力敏结构层从下至上包括下部电极层、柔性压电材料层和上部电极层,柔性压电材料层是具有压电特性的聚偏氟乙烯材料;上层柔性封装层是具有防水性的聚对二甲苯材料。本发明工艺简单、易于阵列化制造;制得的传感器具有柔性好、超薄超轻、可测量水下动态压力信号等优点。
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公开(公告)号:CN110608825A
公开(公告)日:2019-12-24
申请号:CN201910861741.1
申请日:2019-09-12
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明公开了一种基于聚酰亚胺基底微结构的柔性压力传感器及其制备方法。本发明的柔性压力传感器包括下层柔性基底、力敏结构层和上层柔性封装层;下层柔性基底为聚酰亚胺薄膜,其上表面具有凸起的微结构阵列;力敏结构层与下层柔性基底上表面紧密贴合,其从下至上包括下部电极层、柔性压阻材料层和上部电极层,柔性压阻材料层是具有压阻特性的碳基纳米颗粒/聚合物压阻材料;上层柔性封装层与力敏结构层上表面紧密贴合,用以保护传感器和防水。本发明通过采用自下而上的微纳制造技术制备基于聚酰亚胺基底微结构的柔性压力传感器,具有灵敏度高、超薄超轻、工艺简单、易于阵列化制造和应用性强的优点。
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公开(公告)号:CN110608825B
公开(公告)日:2021-08-20
申请号:CN201910861741.1
申请日:2019-09-12
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明公开了一种基于聚酰亚胺基底微结构的柔性压力传感器及其制备方法。本发明的柔性压力传感器包括下层柔性基底、力敏结构层和上层柔性封装层;下层柔性基底为聚酰亚胺薄膜,其上表面具有凸起的微结构阵列;力敏结构层与下层柔性基底上表面紧密贴合,其从下至上包括下部电极层、柔性压阻材料层和上部电极层,柔性压阻材料层是具有压阻特性的碳基纳米颗粒/聚合物压阻材料;上层柔性封装层与力敏结构层上表面紧密贴合,用以保护传感器和防水。本发明通过采用自下而上的微纳制造技术制备基于聚酰亚胺基底微结构的柔性压力传感器,具有灵敏度高、超薄超轻、工艺简单、易于阵列化制造和应用性强的优点。
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公开(公告)号:CN113237581A
公开(公告)日:2021-08-10
申请号:CN202110489623.X
申请日:2021-05-06
Applicant: 复旦大学附属中山医院
Abstract: 一种皮肤硬度传感器及其制作方法,该方法包括:螺旋线电极和圆盘电极的制备步骤:将纳米银线和碳纳米管按照质量百分比为一比一混合后分散在醇类溶液中;将贴在玻璃片上的聚酰亚胺薄膜图案化;在玻璃片上喷涂纳米银线/碳纳米管导电颗粒;去掉多余聚酰亚胺薄膜后,形成螺旋线电极和圆盘电极;压力敏感的电容材料的制备步骤:将碳纳米管通过十二烷基硫酸钠改性分散到第一溶液中,磁力搅拌二甲基硅氧烷/碳纳米管/水的混合溶液第三时长形成油包水乳化液并将其滴在螺旋线电极上,在第二温度下加热第二时长后再盖上圆盘电极;在预设温度分别加热固化一定时长后形成稳定的整体;将螺旋线电极和圆盘电极分别连接引线后,皮肤硬度传感器制作完成。
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公开(公告)号:CN110589754B
公开(公告)日:2023-03-24
申请号:CN201910861740.7
申请日:2019-09-12
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明属于压力测量技术领域,具体为一种柔性水下压力传感器及其制备方法。本发明的压力传感器包括从下而上紧密贴合的下层柔性基底、力敏结构层和上层柔性封装层;下层柔性基底为聚酰亚胺薄膜,其下表面设有圆柱状空腔,空腔的腔壁上设置用以与外部水环境连通的微流道;力敏结构层从下至上包括下部电极层、柔性压电材料层和上部电极层,柔性压电材料层是具有压电特性的聚偏氟乙烯材料;上层柔性封装层是具有防水性的聚对二甲苯材料。本发明工艺简单、易于阵列化制造;制得的传感器具有柔性好、超薄超轻、可测量水下动态压力信号等优点。
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公开(公告)号:CN113237581B
公开(公告)日:2022-10-28
申请号:CN202110489623.X
申请日:2021-05-06
Applicant: 复旦大学附属中山医院
Abstract: 一种皮肤硬度传感器及其制作方法,该方法包括:螺旋线电极和圆盘电极的制备步骤:将纳米银线和碳纳米管按照质量百分比为一比一混合后分散在醇类溶液中;将贴在玻璃片上的聚酰亚胺薄膜图案化;在玻璃片上喷涂纳米银线/碳纳米管导电颗粒;去掉多余聚酰亚胺薄膜后,形成螺旋线电极和圆盘电极;压力敏感的电容材料的制备步骤:将碳纳米管通过十二烷基硫酸钠改性分散到第一溶液中,磁力搅拌二甲基硅氧烷/碳纳米管/水的混合溶液第三时长形成油包水乳化液并将其滴在螺旋线电极上,在第二温度下加热第二时长后再盖上圆盘电极;在预设温度分别加热固化一定时长后形成稳定的整体;将螺旋线电极和圆盘电极分别连接引线后,皮肤硬度传感器制作完成。
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公开(公告)号:CN114062168A
公开(公告)日:2022-02-18
申请号:CN202111219431.3
申请日:2021-10-20
Applicant: 复旦大学
IPC: G01N3/40
Abstract: 本发明公开了一种基于聚二甲基硅氧烷的柔性可拉伸硬度传感器及其制备方法。其整体为薄膜结构,包括从下至上紧密结合的下层PDMS粘贴层、应变传感层和压力传感层。下层PDMS粘贴层具有一定粘性;应变传感层基于纳米银线/碳纳米管/PDMS复合材料,压力传感层从下至上包括下部电极层、压阻材料层和上部电极层,压阻材料层为具有孔洞结构的微米银片/碳纳米管/PDMS复合材料。本发明通过将硬度传感器粘贴在被测物体上对其按压进行硬度评估,硬度传感器的输出为压力传感层的输出与应变传感层的输出之间的比值。本发明具有结构简单、灵敏度高、成本低、信号易读出和应用广泛的优点。
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