一种快速提取无源漏三栅结构场效应管阈值电压的方法

    公开(公告)号:CN105447231A

    公开(公告)日:2016-03-30

    申请号:CN201510775618.X

    申请日:2015-11-15

    Applicant: 复旦大学

    CPC classification number: G06F17/5036

    Abstract: 本发明属于半导体技术领域,具体为一种无源漏三栅结构场效应管阈值电压的快速提取方法。本发明通过求解直角坐标系下的三维泊松方程获得这种结构场效应管亚阈值区的沟道电势分布,然后根据本发明阈值电压的定义,沟道内平均电势等于准费米势减去2倍热电势时,所加栅压为阈值电压。据此可以得到阈值电压解析模型。该阈值电压解析模型形式简洁、物理概念清晰,为电路模拟软件在获取新型无源漏三栅场效应器件阈值电压时,提供了一种快速精确的提取工具。

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