-
公开(公告)号：CN113805711A
公开(公告)日：2021-12-17
申请号：CN202111008992.9
申请日：2021-08-31
Applicant: 复旦大学
IPC: G06F3/033 , G06F3/038 , A63F13/214 , A63F13/24
Abstract: 本发明属于电子运动设备技术领域，具体为一种脚控位移输入装置。本发明通过脚掌操控输入操作，通过直流电机或圆形格栅角位移编码器实现脚底位移信号转化为电信号；最后通过USB接口将信号输入到电脑中，驱动与运动相关的程序；输入装置包括脚控位移信号传感器，其结构有两种形式：一为直流电机驱动式，包括：滚球、支撑轴承、软质圆柱、弹性薄片、固定支架、直流电机、运算放大器和单片机；另一种为角位移编码器驱动式，即将前一种位移传感器中的直流电机替换以为角位移编码器。本发明装置无需额外占地，无需安全防护装置，正常桌椅与带有USB接口的电脑就可使用。应用场景包括如2D、3D游戏，地图历经，360°VR街景体验，实景虚拟参观等。
-
公开(公告)号：CN113821111B
公开(公告)日：2023-11-24
申请号：CN202111008994.8
申请日：2021-08-31
Applicant: 复旦大学
IPC: G06F3/033 , A63F13/214 , A63F13/24 , A61H39/04
Abstract: 本发明属于电脑输入设备技术领域，具体为一种用脚掌移动做位移量的电脑输入装置。本电脑输入装置通过检测脚底位移来记录脚底移动，包括使用脚底驱动的滚球加垂直按压，或者使用摄像头检测脚底纹路移动（类似于光学鼠标器）；脚掌的线位移通过直接接触滚球转换为角位移，再使用软质圆柱驱动的角位移编码器对角位移进行感知，或者通过使用软质圆柱驱动的微型直流电机和电学放大器转换为与角速度成正比的电压、电流信号。位移传感器与压力传感器的输出通过导线连接到单片机，进行信号处理。装置通过USB接口与电脑连接，可被电脑识别为游戏杆或者鼠标器。本电脑输入装置，可手脚并用，在电脑前工作娱乐中得到健身，并提高工作效率。
-
公开(公告)号：CN113805711B
公开(公告)日：2023-11-24
申请号：CN202111008992.9
申请日：2021-08-31
Applicant: 复旦大学
IPC: G06F3/033 , G06F3/038 , A63F13/214 , A63F13/24
Abstract: 本发明属于电子运动设备技术领域，具体为一种脚控位移输入装置。本发明通过脚掌操控输入操作，通过直流电机或圆形格栅角位移编码器实现脚底位移信号转化为电信号；最后通过USB接口将信号输入到电脑中，驱动与运动相关的程序；输入装置包括脚控位移信号传感器，其结构有两种形式：一为直流电机驱动式，包括：滚球、支撑轴承、软质圆柱、弹性薄片、固定支架、直流电机、运算放大器和单片机；另一种为角位移编码器驱动式，即将前一种位移传感器中的直流电机替换以为角位移编码器。本发明装置无需额外占地，无需安全防护装置，正常桌椅与带有USB接口的电脑就可使用。应用场景包括如2D、3D游戏，地图历经，360°VR街景体验，实景虚拟参观等。
-
公开(公告)号：CN114415361A
公开(公告)日：2022-04-29
申请号：CN202210186969.7
申请日：2022-02-28
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明公开了一种深紫外的显微镜成像物镜及其可见光装校方法和结构；本发明其和筒镜配合使用，与筒镜分立在光瞳两侧；其等效数值孔径为0.75~0.85，工作波长为190~200 nm，等效焦距为3‑8mm，放大率为100‑200倍，成像于无穷远；其由沿着光轴顺序排列的6片球面镜片组成：第一、二、三、四、五和六镜片，其中第一、二、四、六镜片为正透镜，第三、五镜片为负透镜。本发明的物镜可以应用于半导体集成电路带图形硅片的缺陷检测，其检测缺陷的分辨率可以达到58~64纳米或者更小。此外本发明还通过增加一片筒镜，实现镜片装校在可见光波段进行，大大降低装校的难度与紫外光泄露等危险性。
-
公开(公告)号：CN114062384A
公开(公告)日：2022-02-18
申请号：CN202111256712.6
申请日：2021-10-27
Applicant: 复旦大学 , 上海集成电路制造创新中心有限公司
Abstract: 本发明公开了一种检测掩模版缺陷的方法和装置。该方法的具体步骤如下：（1）利用掩模版空间像测量装置，对横电波TE与横磁波TM两个互相垂直的偏振态分别做一次测量，获得两套，分别对应TE与TM照明下掩模版表面的复振幅；（2）通过空间像仿真算法获取在硅片上的光强分布，根据光强分布对称状况、线宽的差异，对掩模版缺陷进行评判。本发明采用成熟的干涉仪技术，对缺陷在光瞳处产生的振幅与相位进行精确测量，再通过成熟的空间像仿真合成硅片上图像，以定量地确定缺陷对光刻工艺的影响，无需补偿。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114509923A
公开(公告)日：2022-05-17
申请号：CN202210108915.9
申请日：2022-01-28
Applicant: 复旦大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种深紫外物镜设计中的调焦调平装置及其应用；本发明装置将两个垂直放置且黏附在一起的U型弹簧片与深紫外物镜相连，通过两个可调节螺丝调整物镜和调焦调平单元的相对位置，调焦调平单元先扫描样品表面得到表面高低起伏，也即离焦量，后续物镜对此处成像时直接通过移动工件台来调节离焦的高度z，使得被测图形清晰。本发明装置结构简单，将其和具有较少镜片的深紫外物镜配合使用，可用于明场成像的半导体集成电路带图形硅片的缺陷检测，检测效率更高。
-
公开(公告)号：CN114442300A
公开(公告)日：2022-05-06
申请号：CN202210084790.0
申请日：2022-01-25
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明公开了一种深紫外的显微镜成像物镜；其与筒镜协同工作；其等效数值孔径为0.75~0.85，工作波长为190~200 nm，等效焦距为3‑8mm，放大率为100‑200倍；其由沿着光轴顺序排列的6片球面镜片组成：第一镜片、第二镜片、第三镜片、第四镜片、第五镜片和第六镜片，其中第一镜片、第三镜片、第四镜片和第五镜片为正透镜，第二镜片和第四镜片为负透镜；与其协同工作的筒镜包含3片物镜；本发明的物镜可以应用于半导体集成电路带图形硅片的缺陷检测，其检测缺陷的分辨率可以达到58~64纳米或者更小。
-
公开(公告)号：CN113821111A
公开(公告)日：2021-12-21
申请号：CN202111008994.8
申请日：2021-08-31
Applicant: 复旦大学
IPC: G06F3/033 , A63F13/214 , A63F13/24 , A61H39/04
Abstract: 本发明属于电脑输入设备技术领域，具体为一种用脚掌移动做位移量的电脑输入装置。本电脑输入装置通过检测脚底位移来记录脚底移动，包括使用脚底驱动的滚球加垂直按压，或者使用摄像头检测脚底纹路移动（类似于光学鼠标器）；脚掌的线位移通过直接接触滚球转换为角位移，再使用软质圆柱驱动的角位移编码器对角位移进行感知，或者通过使用软质圆柱驱动的微型直流电机和电学放大器转换为与角速度成正比的电压、电流信号。位移传感器与压力传感器的输出通过导线连接到单片机，进行信号处理。装置通过USB接口与电脑连接，可被电脑识别为游戏杆或者鼠标器。本电脑输入装置，可手脚并用，在电脑前工作娱乐中得到健身，并提高工作效率。
-
公开(公告)号：CN114062384B
公开(公告)日：2024-05-24
申请号：CN202111256712.6
申请日：2021-10-27
Applicant: 复旦大学 , 上海集成电路制造创新中心有限公司
Abstract: 本发明公开了一种检测掩模版缺陷的方法和装置。该方法的具体步骤如下：（1）利用掩模版空间像测量装置，对横电波TE与横磁波TM两个互相垂直的偏振态分别做一次测量，获得两套#imgabs0#，分别对应TE与TM照明下掩模版表面的复振幅；（2）通过空间像仿真算法获取在硅片上的光强分布，根据光强分布对称状况、线宽的差异，对掩模版缺陷进行评判。本发明采用成熟的干涉仪技术，对缺陷在光瞳处产生的振幅与相位进行精确测量，再通过成熟的空间像仿真合成硅片上图像，以定量地确定缺陷对光刻工艺的影响，无需补偿。
-
公开(公告)号：CN114509923B
公开(公告)日：2023-11-24
申请号：CN202210108915.9
申请日：2022-01-28
Applicant: 复旦大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种深紫外物镜设计中的调焦调平装置及其应用；本发明装置将两个垂直放置且黏附在一起的U型弹簧片与深紫外物镜相连，通过两个可调节螺丝调整物镜和调焦调平单元的相对位置，调焦调平单元先扫描样品表面得到表面高低起伏，也即离焦量，后续物镜对此处成像时直接通过移动工件台来调节离焦的高度z，使得被测图形清晰。本发明装置结构简单，将其和具有较少镜片的深紫外物镜配合使用，可用于明场成像的半导体集成电路带图形硅片的缺陷检测，检测效率更高。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
11
records
(took 0.021 seconds)
