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公开(公告)号：CN103227619B
公开(公告)日：2016-03-30
申请号：CN201310022416.9
申请日：2013-01-22
Applicant: 国际商业机器公司
IPC: H03H9/64
CPC classification number: H03H9/13 , G06F17/5081 , H01L41/08 , H03H3/08 , H03H9/02543 , H03H9/64 , H03H9/6403 , H03H9/6413 , H03H2003/0071 , H03H2009/02299 , Y10T29/42 , Y10T29/49005 , Y10T29/49126 , Y10T29/49147 , Y10T29/49155
Abstract: 本文中公开了可切换和/或可调谐滤波器、制造方法和设计结构。形成所述滤波器的方法包括形成至少一个压电滤波器结构，所述至少一个压电滤波器结构包括在压电基底上形成的多个电极。该方法还包括在所述压电基底上形成具有多个指状物的固定电极。该方法还包括在所述压电基底之上形成具有多个指状物的可动电极。该方法还包括形成与所述可动电极的所述多个指状物中的一个或多个指状物对准的致动器。
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公开(公告)号：CN103258072B
公开(公告)日：2017-03-01
申请号：CN201310054155.9
申请日：2013-02-20
Applicant: 国际商业机器公司
IPC: G06F17/50
Abstract: 本发明涉及可切换滤波器及设计结构。这里公开了可切换和/或可调滤波器、制造方法和设计结构。形成滤波器的方法包括形成至少一个压电滤波器结构，其包括被形成为与至少一个压电衬底接触的多个电极。该方法还包括形成包含MEMS梁的微机电结构（MEMS），其中在致动后，MEMS梁将通过交错与压电衬底接触的电极或者将至少一个压电衬底夹在电极之间，来开启至少一个压电滤波器结构。
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公开(公告)号：CN103650344B
公开(公告)日：2016-05-25
申请号：CN201280035023.5
申请日：2012-06-29
Applicant: 国际商业机器公司
IPC: H03H9/64
CPC classification number: H03H9/14538 , H03H3/08
Abstract: 本文中公开了一种表面声波（SAW）滤波器及其制造方法。该SAW滤波器包括：压电基板（110；图3）；平面势垒层（120），设置在压电基板上方；以及至少一个导体（130），被隐埋在压电基板和平面势垒层中。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103187947B
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201310001517.8
申请日：2013-01-04
Applicant: 国际商业机器公司
Abstract: 本文中公开了可切换和/或可调谐的滤波器、制造方法和设计结构。形成滤波器的方法包括形成至少一个压电滤波器结构，所述至少一个压电滤波器结构包括在压电基底上形成的多个电极。该方法还包括形成微机电结构（MEMS），所述MEMS包括在所述压电基底上方且在如下位置处形成的MEMS梁：在该位置中，所述MEMS梁在致动时通过接触所述多个电极中的至少一个来短接所述压电滤波器结构。
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公开(公告)号：CN103187947A
公开(公告)日：2013-07-03
申请号：CN201310001517.8
申请日：2013-01-04
Applicant: 国际商业机器公司
Abstract: 本发明公开了可切换和/或可调谐的滤波器、制造方法和设计结构。形成滤波器的方法包括形成至少一个压电滤波器结构，所述至少一个压电滤波器结构包括在压电基底上形成的多个电极。该方法还包括形成微机电结构（MEMS），所述MEMS包括在所述压电基底上方且在如下位置处形成的MEMS梁：在该位置中，所述MEMS梁在致动时通过接触所述多个电极中的至少一个来短接所述压电滤波器结构。
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公开(公告)号：CN103650344A
公开(公告)日：2014-03-19
申请号：CN201280035023.5
申请日：2012-06-29
Applicant: 国际商业机器公司
IPC: H03H9/64
CPC classification number: H03H9/14538 , H03H3/08
Abstract: 本文中公开了一种表面声波（SAW）滤波器及其制造方法。该SAW滤波器包括：压电基板（110；图3）；平面势垒层（120），设置在压电基板上方；以及至少一个导体（130），被隐埋在压电基板和平面势垒层中。
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公开(公告)号：CN103258072A
公开(公告)日：2013-08-21
申请号：CN201310054155.9
申请日：2013-02-20
Applicant: 国际商业机器公司
IPC: G06F17/50
Abstract: 本发明涉及可切换滤波器及设计结构。这里公开了可切换和/或可调滤波器、制造方法和设计结构。形成滤波器的方法包括形成至少一个压电滤波器结构，其包括被形成为与至少一个压电衬底接触的多个电极。该方法还包括形成包含MEMS梁的微机电结构（MEMS），其中在致动后，MEMS梁将通过交错与压电衬底接触的电极或者将至少一个压电衬底夹在电极之间，来开启至少一个压电滤波器结构。
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公开(公告)号：CN103227619A
公开(公告)日：2013-07-31
申请号：CN201310022416.9
申请日：2013-01-22
Applicant: 国际商业机器公司
IPC: H03H9/64
CPC classification number: H03H9/13 , G06F17/5081 , H01L41/08 , H03H3/08 , H03H9/02543 , H03H9/64 , H03H9/6403 , H03H9/6413 , H03H2003/0071 , H03H2009/02299 , Y10T29/42 , Y10T29/49005 , Y10T29/49126 , Y10T29/49147 , Y10T29/49155
Abstract: 本文中公开了可切换和/或可调谐滤波器、制造方法和设计结构。形成所述滤波器的方法包括形成至少一个压电滤波器结构，所述至少一个压电滤波器结构包括在压电基底上形成的多个电极。该方法还包括在所述压电基底上形成具有多个指状物的固定电极。该方法还包括在所述压电基底之上形成具有多个指状物的可动电极。该方法还包括形成与所述可动电极的所述多个指状物中的一个或多个指状物对准的致动器。
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