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公开(公告)号：CN1233508C
公开(公告)日：2005-12-28
申请号：CN01814572.8
申请日：2001-06-29
Applicant: 国际商业机器公司
Abstract: 通过将一个CMP垫(12)定位在一个支承表面上，使该垫的一个工作表面(22)与一个铣刀(24)和至少一个邻近该铣刀的突出的止动部件(33)相对间隔开，且使铣刀的外端部分伸出该止动部件，而在该垫中形成槽。当铣刀转动时，在铣刀与垫之间的相对轴向运动使铣刀的外端部分在垫上切出一初始凹陷。然后，在旋转的铣刀和垫之间的相对横向运动形成一槽，该槽从上述凹陷离开横向延伸，并与该凹陷具有基本相等的深度。铣刀与垫之间不同的横向运动用于形成各种各样的槽图案，槽的深度由所述止动部件来精确地控制。该槽可以形成于抛光表面和/或垫的后相对表面上；可以设置通道，用以提供后槽与抛光表面或前槽之间的相互连接。抛光表面中的槽可设有出口，通过该出口，可以在抛光表面与工件表面相接触时使磨料浆流出。
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公开(公告)号：CN1240112C
公开(公告)日：2006-02-01
申请号：CN03154955.1
申请日：2003-08-25
Applicant: 国际商业机器公司
Inventor： M·T·布雷格汉姆 , D·F·加纳帕利 , M·A·科布 , W·库特 , K·M·戴维斯 , S·A·艾丝泰斯 , E·J·乔丹 , J·W·汉纳 , M·克里什南 , M·F·洛夫罗 , M·J·麦克唐纳德 , D·A·谢弗 , G·J·斯卢舍 , J·A·托纳罗 , E·J·怀特
IPC: H01L21/304 , H01L21/3105 , H01L21/321 , H01L21/46 , C09G1/02
Abstract: 浆料组合物，包括氧化剂、可选择的铜腐蚀抑制剂、研磨剂粒子；表面活性剂、氯化物和硫酸根离子源。
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公开(公告)号：CN1519286A
公开(公告)日：2004-08-11
申请号：CN03154955.1
申请日：2003-08-25
Applicant: 国际商业机器公司
Inventor： M·T·布雷格汉姆 , D·F·加纳帕利 , M·A·科布 , W·库特 , K·M·戴维斯 , S·A·艾丝泰斯 , E·J·乔丹 , J·W·汉纳 , M·克里什南 , M·F·洛夫罗 , M·J·麦克唐纳德 , D·A·谢弗 , G·J·斯卢舍 , J·A·托纳罗 , E·J·怀特
IPC: C09G1/02 , H01L21/304 , H01L21/3105 , H01L21/321 , H01L21/46
Abstract: 浆料组合物，包括氧化剂、可选择的铜腐蚀抑制剂、研磨剂粒子；表面活性剂、氯化物和硫酸根离子源。
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公开(公告)号：CN1449322A
公开(公告)日：2003-10-15
申请号：CN01814572.8
申请日：2001-06-29
Applicant: 国际商业机器公司
Abstract: 通过将一个CMP垫(12)定位在一个支承表面上，使该垫的一个工作表面(22)与一个铣刀(24)和至少一个邻近该铣刀的突出的止动部件(33)相对间隔开，且使铣刀的外端部分伸出该止动部件，而在该垫中形成槽。当铣刀转动时，在铣刀与垫之间的相对轴向运动使铣刀的外端部分在垫上切出一初始凹陷。然后，在旋转的铣刀和垫之间的相对横向运动形成一槽，该槽从上述凹陷离开横向延伸，并与该凹陷具有基本相等的深度。铣刀与垫之间不同的横向运动用于形成各种各样的槽图案，槽的深度由所述止动部件来精确地控制。该槽可以形成于抛光表面和/或垫的后相对表面上；可以设置通道，用以提供后槽与抛光表面或前槽之间的相互连接。抛光表面中的槽可设有出口，通过该出口，可以在抛光表面与工件表面相接触时使磨料浆流出。
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