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公开(公告)号:CN116635999A
公开(公告)日:2023-08-22
申请号:CN202180086652.X
申请日:2021-12-21
Applicant: 国际商业机器公司
IPC: H01L23/00
Abstract: 一种量子半导体器件(200)包括:量子位芯片(202);内插器芯片(208),所述内插器芯片具有操作器,所述内插器芯片包括耦合到所述量子位芯片的第一侧的贯穿硅通孔(TSV)。多级布线MLW层(210,211,213)接触所述内插器芯片的下侧并且耦合到所述操作器的顶侧,所述TSV促进所述MLW层、所述内插器芯片的顶侧和量子位芯片之间的电信号连接,其中所述器件的结构减轻所述MLW层的各个线路上的信号串扰。
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