线栅型偏振元件及其制造方法

    公开(公告)号:CN114008495A

    公开(公告)日:2022-02-01

    申请号:CN202080043060.5

    申请日:2020-05-14

    Abstract: 本发明的线栅型偏振元件中,在以相同的朝向和相同的周期在透明的片(A)的表面上设置成一维格子状的多个槽部(C)中埋入有金属反射体(B),金属反射体(B)的平均宽度(a)为200nm以下,从片(A)表面侧至背面方向前端的金属反射体(B)的平均厚度(b)与上述平均宽度(a)之比(b/a)为4以上25以下,并且,在与片(A)表面垂直的任一截面中,金属反射体(B)的厚度方向前端部附近的形状越向前端越以直线状或平滑的曲线状逐渐变细,该越向前端越逐渐变细的部分(D)向前端方向的平均长度(c)与上述平均宽度(a)之比(c/a)为1.2以上。

    线栅型偏振元件及其制造方法

    公开(公告)号:CN114008495B

    公开(公告)日:2024-08-09

    申请号:CN202080043060.5

    申请日:2020-05-14

    Abstract: 本发明的线栅型偏振元件中,在以相同的朝向和相同的周期在透明的片(A)的表面上设置成一维格子状的多个槽部(C)中埋入有金属反射体(B),金属反射体(B)的平均宽度(a)为200nm以下,从片(A)表面侧至背面方向前端的金属反射体(B)的平均厚度(b)与上述平均宽度(a)之比(b/a)为4以上25以下,并且,在与片(A)表面垂直的任一截面中,金属反射体(B)的厚度方向前端部附近的形状越向前端越以直线状或平滑的曲线状逐渐变细,该越向前端越逐渐变细的部分(D)向前端方向的平均长度(c)与上述平均宽度(a)之比(c/a)为1.2以上。

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