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公开(公告)号：CN101155944A
公开(公告)日：2008-04-02
申请号：CN200680011225.0
申请日：2006-03-28
Applicant: 国立大学法人东北大学 , 东京毅力科创株式会社 , 株式会社丰田自动织机
CPC classification number: C23C14/564 , C23C14/12 , C23C14/228 , C23C14/24 , H01L51/0008 , H01L51/0081 , H01L51/56
Abstract: 一种成膜装置及成膜方法。成膜装置具有向喷出容器内喷出有机EL分子气体的结构，具有多个有机EL原料容器、连接多个有机EL原料容器和喷出容器的配管系，多个有机EL原料容器有选择地成为有机EL分子供给状态，该配管系供给输送气体，使得在各有机EL原料容器内，在成膜时和非成膜时成为相同的压力。在非成膜时，输送气体从有机EL原料容器之一流向其它原料容器。
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公开(公告)号：CN101268210A
公开(公告)日：2008-09-17
申请号：CN200680034477.5
申请日：2006-09-19
Applicant: 国立大学法人东北大学 , 东京毅力科创株式会社
CPC classification number: C23C14/12 , C23C14/243 , C23C14/246
Abstract: 提供一种能够长时间均匀地成膜薄膜，特别是有机EL膜的蒸发夹具及包含蒸发夹具的成膜装置。蒸发夹具具备：蒸发皿，该蒸发皿具有底面和由该底面立设的侧面，用于对开口于侧面内部的原料收纳空间进行规定；用于将该原料收纳空间分割成多个分空间的隔板。另外，在隔板上设有卡止片，该卡止片具有用所述蒸发皿的底面侧连通所述多个分空间的高度。
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公开(公告)号：CN101258261A
公开(公告)日：2008-09-03
申请号：CN200680032514.9
申请日：2006-09-05
Applicant: 国立大学法人东北大学 , 东京毅力科创株式会社
CPC classification number: H01L51/001 , C23C14/12 , C23C14/243 , C23C14/568 , H01L51/56
Abstract: 本发明提供一种不浪费昂贵的有机EL原料，并且能够长时间地均匀地形成有机EL膜的成膜装置及用于该成膜装置的冶具。单一的原料容器部具备多个吹出容器，具备将原料容器部的有机EL原料气化后与载气一起供给到各吹出容器的配管系统切换到其他的吹出容器的配管系统的切换器。如此，通过将有机EL原料从单一的原料容器部切换供给到多个吹出容器，可以改善有机EL原料的利用效率。
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公开(公告)号：CN101155944B
公开(公告)日：2013-04-03
申请号：CN200680011225.0
申请日：2006-03-28
Applicant: 国立大学法人东北大学 , 东京毅力科创株式会社
CPC classification number: C23C14/564 , C23C14/12 , C23C14/228 , C23C14/24 , H01L51/0008 , H01L51/0081 , H01L51/56
Abstract: 一种成膜装置及成膜方法。成膜装置具有向喷出容器内喷出有机EL分子气体的结构，具有多个有机EL原料容器、连接多个有机EL原料容器和喷出容器的配管系，多个有机EL原料容器有选择地成为有机EL分子供给状态，该配管系供给输送气体，使得在各有机EL原料容器内，在成膜时和非成膜时成为相同的压力。在非成膜时，输送气体从有机EL原料容器之一流向其它原料容器。
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公开(公告)号：CN101258260A
公开(公告)日：2008-09-03
申请号：CN200680032304.X
申请日：2006-08-29
Applicant: 国立大学法人东北大学
CPC classification number: C23C16/44 , C23C14/12 , C23C14/228 , C23C14/243 , C23C14/56 , C23C14/562 , H01L51/0008 , H01L51/56
Abstract: 在对有机EL原料等的成膜用材料进行推定的方法中，通过所述常数Ko的值和所述活性化能量Ea的值，对蒸发量V(％)可以用下述公式：V＝(Ko/P)×e－Ea/kT表示(其中，Ko表示常数(％·Torr)、P表示压力(Torr)、Ea表示活性化能量(eV)、k表示波耳兹曼常数、T表示绝对温度)的成膜用材料进行特定。
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公开(公告)号：CN101258260B
公开(公告)日：2012-11-21
申请号：CN200680032304.X
申请日：2006-08-29
Applicant: 国立大学法人东北大学
CPC classification number: C23C16/44 , C23C14/12 , C23C14/228 , C23C14/243 , C23C14/56 , C23C14/562 , H01L51/0008 , H01L51/56
Abstract: 在对有机EL原料等的成膜用材料进行推定的方法中，通过所述常数Ko的值和所述活性化能量Ea的值，对蒸发量V(％)可以用下述公式：V＝(Ko/P)×e-Ea/kT表示(其中，Ko表示常数(％·Torr)、P表示压力(Torr)、Ea表示活性化能量(eV)、k表示波耳兹曼常数、T表示绝对温度)的成膜用材料进行特定。
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