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公开(公告)号：CN107251401B
公开(公告)日：2020-08-25
申请号：CN201680005939.4
申请日：2016-01-14
Applicant: 国立大学法人东京大学 , 株式会社鹭宫制作所 , 一般财团法人电力中央研究所
Abstract: 振动发电元件具备：一对电极，其相互相对地配置，且至少任意一方能移动；以及离子凝胶，其被设为介于一对电极之间，使离子液体凝胶化而形成，电极通过来自外部的振动而在一对电极的间隔变化的方向上移动，由此隔着电极与离子凝胶的界面而形成的双电层的面积变化，从而进行发电。
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公开(公告)号：CN107251401A
公开(公告)日：2017-10-13
申请号：CN201680005939.4
申请日：2016-01-14
Applicant: 国立大学法人东京大学 , 株式会社鹭宫制作所 , 一般财团法人电力中央研究所
Abstract: 振动发电元件具备：一对电极，其相互相对地配置，且至少任意一方能移动；以及离子凝胶，其被设为介于一对电极之间，使离子液体凝胶化而形成，电极通过来自外部的振动而在一对电极的间隔变化的方向上移动，由此隔着电极与离子凝胶的界面而形成的双电层的面积变化，从而进行发电。
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公开(公告)号：CN109997305A
公开(公告)日：2019-07-09
申请号：CN201780071712.4
申请日：2017-11-13
Applicant: 国立大学法人东京大学 , 株式会社鹭宫制作所
IPC: H02N1/00
Abstract: 振动发电元件具备：第一电极；第二电极，其相对于第一电极沿预定的方向移动；第三电极；第四电极，其相对于第三电极沿预定的方向移动；以及支撑部，其以能够沿预定的方向移动的方式支撑第二电极和第四电极，第一电极和第三电极沿预定的方向配置，第一电极与第二电极的对置面的至少一方、和第三电极与第四电极的对置面的至少一方带电，支撑部以第一电极与第二电极的静电力、和第三电极与第四电极的静电力沿预定的方向平衡的状态支撑第二电极和第四电极。
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公开(公告)号：CN104662399B
公开(公告)日：2016-10-26
申请号：CN201380049578.X
申请日：2013-06-18
Applicant: 国立大学法人东京大学 , 株式会社鹭宫制作所
CPC classification number: G01L9/0073 , B81B2201/0264 , B81C1/00047 , B81C1/00293 , G01L9/0042 , H01L29/84
Abstract: 本发明提供没有密封层侵入内腔内并填埋内腔的可能且能够以简单的工序形成具有作为预期目标的规定形状的内腔，并且作为设备具有期待功能的设备部件以及其制造方法。该设备部件具备：由半导体构成的基板部件(12)；形成于基板部件(12)的上表面且具有绝缘性的中间层(14)；形成于中间层(14)的上表面且由半导体构成的上面层(16)；形成于上面层(16)的开口部(18)；以及以密封开口部(18)的方式形成的透气性的密封层(20)，内腔(22)是由透过密封层(20)的蚀刻气体来除去中间层(14)而形成的内腔(22)。
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公开(公告)号：CN108141149A
公开(公告)日：2018-06-08
申请号：CN201680057883.7
申请日：2016-09-27
Applicant: 国立大学法人东京大学 , 株式会社鹭宫制作所
IPC: H02N1/00
Abstract: 振动发电元件具备：第1电极；第2电极，其能够相对于第1电极在预定的振动方向上移位，第1电极与第2电极的相对面的至少一个带电，由于第2电极的移位，第1电极与第2电极之间的静电容量变化，由此发电，在第2电极的至少包括振动中心的部分设置有即使第2电极移位，静电容量也不变化的区域。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104662399A
公开(公告)日：2015-05-27
申请号：CN201380049578.X
申请日：2013-06-18
Applicant: 国立大学法人东京大学 , 株式会社鹭宫制作所
CPC classification number: G01L9/0073 , B81B2201/0264 , B81C1/00047 , B81C1/00293 , G01L9/0042 , H01L29/84
Abstract: 本发明提供没有密封层侵入内腔内并填埋内腔的可能且能够以简单的工序形成具有作为预期目标的规定形状的内腔，并且作为设备具有期待功能的设备部件以及其制造方法。该设备部件具备：由半导体构成的基板部件(12)；形成于基板部件(12)的上表面且具有绝缘性的中间层(14)；形成于中间层(14)的上表面且由半导体构成的上面层(16)；形成于上面层(16)的开口部(18)；以及以密封开口部(18)的方式形成的透气性的密封层(20)，内腔(22)是由透过密封层(20)的蚀刻气体来除去中间层(14)而形成的内腔(22)。
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公开(公告)号：CN105637335A
公开(公告)日：2016-06-01
申请号：CN201480055429.9
申请日：2014-09-29
Applicant: 国立大学法人东京大学 , 株式会社鹭宫制作所
IPC: G01L9/00
CPC classification number: G01L9/0016
Abstract: 压力传感器具备固定部、被多个支承梁支承于固定部的环状振子、设置于固定部并沿环状振子的振动方向隔着间隙地配置的多个电极、以及形成于环状振子以及电极的相互对置的面的任一方的驻极体薄膜。
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公开(公告)号：CN109997305B
公开(公告)日：2021-05-14
申请号：CN201780071712.4
申请日：2017-11-13
Applicant: 国立大学法人东京大学 , 株式会社鹭宫制作所
IPC: H02N1/00
Abstract: 振动发电元件具备：第一电极；第二电极，其相对于第一电极沿预定的方向移动；第三电极；第四电极，其相对于第三电极沿预定的方向移动；以及支撑部，其以能够沿预定的方向移动的方式支撑第二电极和第四电极，第一电极和第三电极沿预定的方向配置，第一电极与第二电极的对置面的至少一方、和第三电极与第四电极的对置面的至少一方带电，支撑部以第一电极与第二电极的静电力、和第三电极与第四电极的静电力沿预定的方向平衡的状态支撑第二电极和第四电极。
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公开(公告)号：CN108141149B
公开(公告)日：2019-08-23
申请号：CN201680057883.7
申请日：2016-09-27
Applicant: 国立大学法人东京大学 , 株式会社鹭宫制作所
IPC: H02N1/00
Abstract: 振动发电元件具备：第1电极；第2电极，其能够相对于第1电极在预定的振动方向上移位，第1电极与第2电极的相对面的至少一个带电，由于第2电极的移位，第1电极与第2电极之间的静电容量变化，由此发电，在第2电极的至少包括振动中心的部分设置有即使第2电极移位，静电容量也不变化的区域。
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