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公开(公告)号:CN113016132B
公开(公告)日:2024-08-13
申请号:CN201980074659.2
申请日:2019-11-15
Applicant: 国立大学法人东京大学 , 株式会社鹭宫制作所
Abstract: 本发明提供一种振动发电元件,具备一对固定电极部和可动电极部,一对固定电极部具有多个固定梳齿,并且上述多个固定梳齿对置地配置,可动电极部配置在上述一对固定电极部之间,并且具有向各固定电极部的上述多个固定梳齿之间插入的一对多个可动梳齿,上述振动发电元件是将上述固定梳齿以及/或者上述可动梳齿进行驻极体化的三端子构造的振动发电元件,其中,上述固定梳齿与上述可动梳齿之间的空隙区域的间隙尺寸比20μm小,上述空隙区域的梳齿高度方向的尺寸与上述空隙区域的间隙尺寸之比亦即纵横尺寸比为20以上。
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公开(公告)号:CN106031014B
公开(公告)日:2019-05-17
申请号:CN201580008349.2
申请日:2015-02-09
Applicant: 国立大学法人东京大学 , 株式会社鹭宫制作所
Abstract: 振动发电元件(1)具备:固定电极(11);可动电极(12),其与固定电极(11)对置配置,且能够相对于固定电极(11)移动;以及离子液体(13),其设置成存在于对置配置的固定电极(11)与可动电极(12)之间,夹着固定电极(11)与离子液体(13)的界面而形成的双电层(16a)以及夹着可动电极(12)与离子液体(13)的界面而形成的双电层(16b)中的至少一个的面积,通过来自外部的振动所引起的可动电极(12)的移动而发生变化,从而进行发电。
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公开(公告)号:CN105637335B
公开(公告)日:2018-01-19
申请号:CN201480055429.9
申请日:2014-09-29
Applicant: 国立大学法人东京大学 , 株式会社鹭宫制作所
IPC: G01L9/00
CPC classification number: G01L9/0016
Abstract: 压力传感器具备固定部、被多个支承梁支承于固定部的环状振子、设置于固定部并沿环状振子的振动方向隔着间隙地配置的多个电极、以及形成于环状振子以及电极的相互对置的面的任一方的驻极体薄膜。
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公开(公告)号:CN107251401A
公开(公告)日:2017-10-13
申请号:CN201680005939.4
申请日:2016-01-14
Applicant: 国立大学法人东京大学 , 株式会社鹭宫制作所 , 一般财团法人电力中央研究所
Abstract: 振动发电元件具备:一对电极,其相互相对地配置,且至少任意一方能移动;以及离子凝胶,其被设为介于一对电极之间,使离子液体凝胶化而形成,电极通过来自外部的振动而在一对电极的间隔变化的方向上移动,由此隔着电极与离子凝胶的界面而形成的双电层的面积变化,从而进行发电。
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公开(公告)号:CN106031014A
公开(公告)日:2016-10-12
申请号:CN201580008349.2
申请日:2015-02-09
Applicant: 国立大学法人东京大学 , 株式会社鹭宫制作所
Abstract: 振动发电元件(1)具备:固定电极(11);可动电极(12),其与固定电极(11)对置配置,且能够相对于固定电极(11)移动;以及离子液体(13),其设置成存在于对置配置的固定电极(11)与可动电极(12)之间,夹着固定电极(11)与离子液体(13)的界面而形成的双电层(16a)以及夹着可动电极(12)与离子液体(13)的界面而形成的双电层(16b)中的至少一个的面积,通过来自外部的振动所引起的可动电极(12)的移动而发生变化,从而进行发电。
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公开(公告)号:CN108141149A
公开(公告)日:2018-06-08
申请号:CN201680057883.7
申请日:2016-09-27
Applicant: 国立大学法人东京大学 , 株式会社鹭宫制作所
IPC: H02N1/00
Abstract: 振动发电元件具备:第1电极;第2电极,其能够相对于第1电极在预定的振动方向上移位,第1电极与第2电极的相对面的至少一个带电,由于第2电极的移位,第1电极与第2电极之间的静电容量变化,由此发电,在第2电极的至少包括振动中心的部分设置有即使第2电极移位,静电容量也不变化的区域。
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公开(公告)号:CN104662399A
公开(公告)日:2015-05-27
申请号:CN201380049578.X
申请日:2013-06-18
Applicant: 国立大学法人东京大学 , 株式会社鹭宫制作所
CPC classification number: G01L9/0073 , B81B2201/0264 , B81C1/00047 , B81C1/00293 , G01L9/0042 , H01L29/84
Abstract: 本发明提供没有密封层侵入内腔内并填埋内腔的可能且能够以简单的工序形成具有作为预期目标的规定形状的内腔,并且作为设备具有期待功能的设备部件以及其制造方法。该设备部件具备:由半导体构成的基板部件(12);形成于基板部件(12)的上表面且具有绝缘性的中间层(14);形成于中间层(14)的上表面且由半导体构成的上面层(16);形成于上面层(16)的开口部(18);以及以密封开口部(18)的方式形成的透气性的密封层(20),内腔(22)是由透过密封层(20)的蚀刻气体来除去中间层(14)而形成的内腔(22)。
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公开(公告)号:CN113906666B
公开(公告)日:2025-02-21
申请号:CN202080040859.9
申请日:2020-03-19
Applicant: 国立大学法人东京大学 , 株式会社鹭宫制作所
Abstract: 静电型设备具备:形成于同一基板的固定部、可动部以及对上述可动部进行弹性支撑的弹性支撑部;第1玻璃封装件,其以上述固定部及上述弹性支撑部相互分离的状态阳极接合于上述基板的表背两面中的一方的面;以及第2玻璃封装件,其以上述固定部及上述弹性支撑部相互分离的状态阳极接合于上述表背两面中的另一方的面,且在与上述第1玻璃封装件之间形成配置上述可动部的密闭空间,在上述固定部及上述可动部的至少一部分形成有驻极体,在上述第2玻璃封装件形成有与上述固定部连接且在上述第2玻璃封装件的外表面露出的第1电极、以及与上述弹性支撑部连接且在上述第2玻璃封装件的外表面露出的第2电极。
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公开(公告)号:CN113302834B
公开(公告)日:2024-11-22
申请号:CN202080009817.9
申请日:2020-01-21
Applicant: 国立大学法人东京大学 , 株式会社鹭宫制作所
Abstract: 振动发电元件具备:固定电极部及可动电极部,其形成于隔着绝缘层而设有第一层和第二层的基板的上述第二层;框体,其由隔着上述绝缘层而设置的上述第一层和上述第二层形成,且在上述第二层支撑上述固定电极部;弹性支撑部,其形成于上述第一层,且利用与上述框体的上述第一层连结的梁部来弹性地支撑上述可动电极部;以及第一导通部,其将上述可动电极部与上述弹性支撑部电连接。
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