公开(公告)号：CN119023080A

公开(公告)日：2024-11-26

申请号：CN202411136111.5

申请日：2024-08-19

Applicant: 哈尔滨工程大学 ,  哈尔滨工程大学三亚南海创新发展基地 ,  哈尔滨市源盛达电子技术有限公司

Inventor： 张洪泉 ,  邢会明 ,  王辉 ,  李赓 ,  张凯 ,  卫天娇 ,  王晓春 ,  单国柱 ,  罗嘉琪

IPC: G01K7/00 ,  G01M15/02 ,  G01M15/04 ,  G01M15/14 ,  G01K1/00 ,  B33Y80/00 ,  B33Y10/00 ,  B33Y70/00 ,  B81B7/02 ,  B81C1/00

Abstract: 本发明涉及温度传感领域，公开了一种冗余的陶瓷微加工温度传感器及其制造方法，柔性陶瓷基底上精密刻蚀出铂/铑铂敏感膜沟槽、引线过线孔、应力扩散口。敏感层由纳米铂浆料和纳米铑铂浆料，在陶瓷基底的沟槽中形成铂膜和铑铂膜，除去铂/铑铂浆料中的有机溶剂，形成湿敏感膜。将封装层表面喷涂高温陶瓷胶，除去胶料中的有机溶剂，形成湿胶膜。与陶瓷基底放入温水等静压容腔内进行压合，放入高温炉中共烧，形成铂/铑铂敏感芯片，将铂丝引线和铑铂丝引线通过过线孔，分别将铂丝引线烧焊到铂/铂铑敏感膜上，形成陶瓷MEMS铂/铑铂温度传感器。本发明解决了现有技术中铂/铂铑温度传感器存在响应慢、功能单一、可靠性低、无法柔性化的问题。

公开(公告)号：CN119702095A

公开(公告)日：2025-03-28

申请号：CN202411751638.9

申请日：2024-12-02

Applicant: 哈尔滨工程大学 ,  中国电子科技集团公司第四十九研究所 ,  黑龙江大学

Inventor： 张洪泉 ,  霍文雅 ,  姜晓龙 ,  金鹏飞 ,  张凯 ,  赵晓锋 ,  艾春鹏 ,  于志鹏 ,  许德新 ,  罗嘉琪 ,  程鹏 ,  穆胡罗夫·尼古拉·伊万诺维奇 ,  加森科娃·伊琳娜·弗拉基米罗夫娜

IPC: B01L3/00 ,  G01N27/12 ,  G01N31/10 ,  G01N31/12 ,  G01N33/00

Abstract: 一种集成氢气传感微系统及制造方法、数据处理方法。属于集成氢气传感微系统技术领域。本发明解决目前氢气检测靠单一原理难以解决宽量程这一精准检测问题。本发明的氧化铝陶瓷基片上覆有第一半导体原理电极、第二半导体原理电极和催化原理加热敏感电极，第一半导体原理电极上连接第一铂焊盘，催化原理加热敏感电极上连接第二铂焊盘和第三铂焊盘，第一半导体原理电极和第二半导体原理电极上通过半导体原理敏感材料形成敏感半导体黑体碳化硅防红外辐射封装层，催化原理加热敏感电极上通过催化原理敏感材料形成敏感催化体黑体碳化硅防红外辐射封装层。本发明的一种集成氢气传感微系统及制造方法、数据处理方法实现氢气浓度宽量程检测。