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公开(公告)号：CN105004764B
公开(公告)日：2018-01-02
申请号：CN201510412705.9
申请日：2015-07-15
Applicant: 哈尔滨工程大学
Abstract: 本发明公开了一种检测海水盐度传感器芯片制造方法。涉及到蓝宝石基片上制作铑电极用于检测海水盐度的制造方法。本发明解决了提高了海水盐度检测的稳定性，采用冗余设计方法，在1个蓝宝石基片上制造冗余的3对检测电极，若其中一个对电极失效，则可通过表决系统识别，另外2个对电极可继续工作，有效提高海水盐度芯片的使用寿命和可靠性。用本发明方法制造出的传感器芯片可以实现海水盐度可靠检测，结构紧凑，冗余设计，工作模式多样；同时，降低了传统电极易产生电极极化而带来的性能漂移问题，有助于保证配接二次仪表的精度，适用于海洋工程、海洋开发等应用领域。
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公开(公告)号：CN105004764A
公开(公告)日：2015-10-28
申请号：CN201510412705.9
申请日：2015-07-15
Applicant: 哈尔滨工程大学
Abstract: 本发明公开了一种检测海水盐度传感器芯片制造方法。涉及到蓝宝石基片上制作铑电极用于检测海水盐度的制造方法。本发明解决了提高了海水盐度检测的稳定性，采用冗余设计方法，在1个蓝宝石基片上制造冗余的3对检测电极，若其中一个对电极失效，则可通过表决系统识别，另外2个对电极可继续工作，有效提高海水盐度芯片的使用寿命和可靠性。用本发明方法制造出的传感器芯片可以实现海水盐度可靠检测，结构紧凑，冗余设计，工作模式多样；同时，降低了传统电极易产生电极极化而带来的性能漂移问题，有助于保证配接二次仪表的精度，适用于海洋工程、海洋开发等应用领域。
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