公开(公告)号：CN117388961A

公开(公告)日：2024-01-12

申请号：CN202311325034.3

申请日：2023-10-13

Applicant: 哈尔滨工业大学(深圳)(哈尔滨工业大学深圳科技创新研究院)

Inventor： 肖淑敏 ,  于墨昕 ,  陈钦杪 ,  林国平 ,  叶佐东 ,  宋清海

IPC: G02B3/00 ,  G03F1/78 ,  G03F1/80 ,  G03F7/20

Abstract: 本发明公开了一种金刚石超透镜及其制备方法和深紫外波段光路测量系统，涉及微纳光学的技术领域。一种金刚石超透镜的制备方法，包括以下步骤：(1)在金刚石上蒸镀铬层作为铬硬掩膜；(2)在铬硬掩膜上旋涂光刻胶；(3)对光刻胶进行电子束曝光，制备图案掩模，并对光刻胶进行显影、定影处理；(4)在定影后的金刚石上蒸镀二氧化硅，然后将光刻胶与铬硬掩膜进行剥离；(5)刻蚀铬硬掩模；(6)刻蚀金刚石；(7)将刻蚀后的金刚石去除铬硬掩模，得到金刚石超透镜。本发明制备得到的金刚石超透镜体积小、球差、慧差小，具有偏振不敏感的功能，可在任意偏振态的入射下实现聚焦和成像功能。