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公开(公告)号：CN111751327A
公开(公告)日：2020-10-09
申请号：CN202010736844.8
申请日：2020-07-28
Applicant: 哈尔滨工业大学(深圳)
Abstract: 本发明提供了一种基于模式分裂的亚波长光栅微环传感器，其包括含有谐振腔的微环波导和直波导耦合构成，所述微环波导为周期小于光波长的亚波长光栅微环结构，所述直波导为周期小于光波长的亚波长光栅波导结构。本发明技术方案的亚波长光栅微环传感器，具有高灵敏度、高通量、以及低噪声的特性，折射率灵敏度超过500 nm/RIU，表面灵敏度可达1 nm/nm，并且可通过对称性缺失形成自参考测量，实现单分子检测。同时，该传感器的制作工艺与半导体器件工艺可以兼容，因而可在芯片上集成多个传感器，从而实现高通量、低成本的检测。
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公开(公告)号：CN114153029B
公开(公告)日：2024-02-13
申请号：CN202111568402.8
申请日：2021-12-21
Applicant: 哈尔滨工业大学(深圳)
IPC: G02B6/124
Abstract: 本发明公开了一种基于连续域束缚态的光栅结构，包括基底和安装在基底上的光栅层，所述光栅层包括一个条形波导以及在条形波导两侧对称设置的子光栅，所述子光栅激发辐射模式，通过调整条形波导的宽度在侧向辐射模式之间形成相消干涉，用于建立连续域束缚态。本发明通过设计光栅结构并调整条形波导的宽度，在子光栅之间建立衍射受限的连续域束缚态，抑制光的侧向发射，从而抑制光栅之间的串扰，进而可以减小光学相控阵的阵列间距，增大相位调谐的光束扫描范围。
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公开(公告)号：CN112965181A
公开(公告)日：2021-06-15
申请号：CN202110197891.4
申请日：2021-02-22
Applicant: 哈尔滨工业大学(深圳)
Abstract: 本发明涉及光子集成电路，特别涉及一种大规模集成光子器件阵列控制电路及方法。其中阵列控制电路由多个行、多个列相互连接构成可控光子器件的阵列式控制电路，各行、列的一端均设有作为阵列电路控制输入端的控制线，每根控制线连接一个独立的控制单元；大规模集成光子器件阵列控制电路包括脉冲阵列产生电路与节点驱动电路，每个行与每个列的交点构成了脉冲阵列产生电路的脉冲输出节点，每个脉冲输出节点上对应连接一个节点驱动电路。本电路可以实现对大规模集成光子器件阵列的同时控制，并且具有高度的可拓展性，可以显著降低控制电路的成本；并且通过整列扫描和选取合适的RC常数提升扫描速度。
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公开(公告)号：CN111679529B
公开(公告)日：2024-02-13
申请号：CN202010736857.5
申请日：2020-07-28
Applicant: 哈尔滨工业大学(深圳)
IPC: G02F1/29
Abstract: 本发明提供了一种可用于光学相控阵发射单元的长距离亚波长光栅结构，包括上下层叠设置的上层结构和下层结构，其中，下层结构为折射率相对上层较低的材料，例如各种氧化物等，上层结构为折射率相对下层较高的材料例如硅，氮化硅，氮化铝，氧化铝等的亚波长光栅结构，所述上层结构的中间部分为直波导，在所述直波导的两侧布置有亚波长方块，所述亚波长方块沿波导方向排列形成光栅。本发明的有益效果是：利用亚波长光栅波导来减小光栅对传输光的扰动强度，增加光栅的有效长度，从而增大光栅的有效长度减小光束的远场发散角，通过控制亚波长方块的位置，也可以控制近场的均匀发射，结构较简单，制作难度较低，成本较低。
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公开(公告)号：CN112965181B
公开(公告)日：2022-05-10
申请号：CN202110197891.4
申请日：2021-02-22
Applicant: 哈尔滨工业大学(深圳)
Abstract: 本发明涉及光子集成电路，特别涉及一种大规模集成光子器件阵列控制电路及方法。其中阵列控制电路由多个行、多个列相互连接构成可控光子器件的阵列式控制电路，各行、列的一端均设有作为阵列电路控制输入端的控制线，每根控制线连接一个独立的控制单元；大规模集成光子器件阵列控制电路包括脉冲阵列产生电路与节点驱动电路，每个行与每个列的交点构成了脉冲阵列产生电路的脉冲输出节点，每个脉冲输出节点上对应连接一个节点驱动电路。本电路可以实现对大规模集成光子器件阵列的同时控制，并且具有高度的可拓展性，可以显著降低控制电路的成本；并且通过整列扫描和选取合适的RC常数提升扫描速度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114153029A
公开(公告)日：2022-03-08
申请号：CN202111568402.8
申请日：2021-12-21
Applicant: 哈尔滨工业大学(深圳)
IPC: G02B6/124
Abstract: 本发明公开了一种基于连续域束缚态的光栅结构，包括基底和安装在基底上的光栅层，所述光栅层包括一个条形波导以及在条形波导两侧对称设置的子光栅，所述子光栅激发辐射模式，通过调整条形波导的宽度在侧向辐射模式之间形成相消干涉，用于建立连续域束缚态。本发明通过设计光栅结构并调整条形波导的宽度，在子光栅之间建立衍射受限的连续域束缚态，抑制光的侧向发射，从而抑制光栅之间的串扰，进而可以减小光学相控阵的阵列间距，增大相位调谐的光束扫描范围。
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公开(公告)号：CN111679529A
公开(公告)日：2020-09-18
申请号：CN202010736857.5
申请日：2020-07-28
Applicant: 哈尔滨工业大学(深圳)
IPC: G02F1/29
Abstract: 本发明提供了一种可用于光学相控阵发射单元的长距离亚波长光栅结构，包括上下层叠设置的上层结构和下层结构，其中，下层结构为折射率相对上层较低的材料，例如各种氧化物等，上层结构为折射率相对下层较高的材料例如硅，氮化硅，氮化铝，氧化铝等的亚波长光栅结构，所述上层结构的中间部分为直波导，在所述直波导的两侧布置有亚波长方块，所述亚波长方块沿波导方向排列形成光栅。本发明的有益效果是：利用亚波长光栅波导来减小光栅对传输光的扰动强度，增加光栅的有效长度，从而增大光栅的有效长度减小光束的远场发散角，通过控制亚波长方块的位置，也可以控制近场的均匀发射，结构较简单，制作难度较低，成本较低。
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公开(公告)号：CN212964621U
公开(公告)日：2021-04-13
申请号：CN202021517728.9
申请日：2020-07-28
Applicant: 哈尔滨工业大学(深圳)
Abstract: 本实用新型提供了一种基于模式分裂的亚波长光栅微环传感器，其包括含有谐振腔的微环波导和直波导耦合构成，所述微环波导为周期小于光波长的亚波长光栅微环结构，所述直波导为周期小于光波长的亚波长光栅波导结构。本实用新型技术方案的亚波长光栅微环传感器，具有高灵敏度、高通量、以及低噪声的特性，折射率灵敏度超过500 nm/RIU，表面灵敏度可达1 nm/nm，并且可通过对称性缺失形成自参考测量，实现单分子检测。同时，该传感器的制作工艺与半导体器件工艺可以兼容，因而可在芯片上集成多个传感器，从而实现高通量、低成本的检测。
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公开(公告)号：CN217060554U
公开(公告)日：2022-07-26
申请号：CN202123220495.3
申请日：2021-12-21
Applicant: 哈尔滨工业大学(深圳)
IPC: G02B5/18
Abstract: 本实用新型公开一种新型光栅结构，包括基底和安装在基底上的光栅层，所述光栅层包括一个条形波导以及多个在条形波导两侧对称设置的子光栅，所述子光栅为矩形结构，同侧子光栅周期性排列，所述子光栅和条形波导的厚度相同。本实用新型提供的新型光栅结构可以有效抑制光栅的侧向发射，抑制双光斑，进而减小光栅之间的串扰。
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公开(公告)号：CN214375426U
公开(公告)日：2021-10-08
申请号：CN202120390086.9
申请日：2021-02-22
Applicant: 哈尔滨工业大学(深圳)
Abstract: 本实用新型涉及光子集成电路，特别涉及一种大规模集成光子器件阵列控制电路。其中阵列控制电路由多个行、多个列相互连接构成可控光子器件的阵列式控制电路，各行、列的一端均设有作为阵列电路控制输入端的控制线，每根控制线连接一个独立的控制单元，控制单元为数模转换器DAC；大规模集成光子器件阵列控制电路包括脉冲阵列产生电路与节点驱动电路，每个行与每个列的交点构成了脉冲阵列产生电路的脉冲输出节点，每个脉冲输出节点上对应连接一个节点驱动电路。本电路可以实现对大规模集成光子器件阵列的同时控制，并且具有高度的可拓展性，可以显著降低控制电路的成本；并且通过整列扫描和选取合适的RC常数提升扫描速度。
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