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公开(公告)号：CN118426113A
公开(公告)日：2024-08-02
申请号：CN202410445929.9
申请日：2024-04-15
Applicant: 哈尔滨工业大学(深圳)(哈尔滨工业大学深圳科技创新研究院)
Abstract: 本发明实施例中提供了一种基于双散射体模型的片上奇异点微环谐振器，属于光电子器件技术领域，谐振器包括：全通微环，微环半径r为5μm，微环和波导高度h为220nm，微环和波导宽度d为500nm；两个纳米球体NC1和NC2，通过选择纳米球体的结构参数，将谐振器调节到奇异点，在微腔的奇异点处，腔内仅支持CW或CCW中的一种传输模式，纳米球体的有效反向散射用CW到CCW的复数参数A和从CCW到CW的复数参数B来描述。本方案具有优异的传感性能而且更具有片上集成小型化优势。
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公开(公告)号：CN111679529B
公开(公告)日：2024-02-13
申请号：CN202010736857.5
申请日：2020-07-28
Applicant: 哈尔滨工业大学(深圳)
IPC: G02F1/29
Abstract: 本发明提供了一种可用于光学相控阵发射单元的长距离亚波长光栅结构，包括上下层叠设置的上层结构和下层结构，其中，下层结构为折射率相对上层较低的材料，例如各种氧化物等，上层结构为折射率相对下层较高的材料例如硅，氮化硅，氮化铝，氧化铝等的亚波长光栅结构，所述上层结构的中间部分为直波导，在所述直波导的两侧布置有亚波长方块，所述亚波长方块沿波导方向排列形成光栅。本发明的有益效果是：利用亚波长光栅波导来减小光栅对传输光的扰动强度，增加光栅的有效长度，从而增大光栅的有效长度减小光束的远场发散角，通过控制亚波长方块的位置，也可以控制近场的均匀发射，结构较简单，制作难度较低，成本较低。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111679529A
公开(公告)日：2020-09-18
申请号：CN202010736857.5
申请日：2020-07-28
Applicant: 哈尔滨工业大学(深圳)
IPC: G02F1/29
Abstract: 本发明提供了一种可用于光学相控阵发射单元的长距离亚波长光栅结构，包括上下层叠设置的上层结构和下层结构，其中，下层结构为折射率相对上层较低的材料，例如各种氧化物等，上层结构为折射率相对下层较高的材料例如硅，氮化硅，氮化铝，氧化铝等的亚波长光栅结构，所述上层结构的中间部分为直波导，在所述直波导的两侧布置有亚波长方块，所述亚波长方块沿波导方向排列形成光栅。本发明的有益效果是：利用亚波长光栅波导来减小光栅对传输光的扰动强度，增加光栅的有效长度，从而增大光栅的有效长度减小光束的远场发散角，通过控制亚波长方块的位置，也可以控制近场的均匀发射，结构较简单，制作难度较低，成本较低。
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公开(公告)号：CN111751327A
公开(公告)日：2020-10-09
申请号：CN202010736844.8
申请日：2020-07-28
Applicant: 哈尔滨工业大学(深圳)
Abstract: 本发明提供了一种基于模式分裂的亚波长光栅微环传感器，其包括含有谐振腔的微环波导和直波导耦合构成，所述微环波导为周期小于光波长的亚波长光栅微环结构，所述直波导为周期小于光波长的亚波长光栅波导结构。本发明技术方案的亚波长光栅微环传感器，具有高灵敏度、高通量、以及低噪声的特性，折射率灵敏度超过500 nm/RIU，表面灵敏度可达1 nm/nm，并且可通过对称性缺失形成自参考测量，实现单分子检测。同时，该传感器的制作工艺与半导体器件工艺可以兼容，因而可在芯片上集成多个传感器，从而实现高通量、低成本的检测。
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公开(公告)号：CN114264324A
公开(公告)日：2022-04-01
申请号：CN202210013242.9
申请日：2022-01-06
Applicant: 哈尔滨工业大学(深圳)
IPC: G01D5/353
Abstract: 本发明提供了一种基于选择性模式调控的双模干涉传感器，包括双模波导（2），所述双模波导（2）上表面中间位置或上表面两侧位置设置有覆盖层（3），通过改变所述覆盖层（3）的宽度，能提高双模波导检测的灵敏度。本发明的有益效果是：本发明的双模干涉传感器保留了双模波导传感器单通道的简单结构、紧凑易于集成、适用于多路复用等优点，同时增大双模波导中两种模式的光程差变化实现灵敏度的提高。
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公开(公告)号：CN212964621U
公开(公告)日：2021-04-13
申请号：CN202021517728.9
申请日：2020-07-28
Applicant: 哈尔滨工业大学(深圳)
Abstract: 本实用新型提供了一种基于模式分裂的亚波长光栅微环传感器，其包括含有谐振腔的微环波导和直波导耦合构成，所述微环波导为周期小于光波长的亚波长光栅微环结构，所述直波导为周期小于光波长的亚波长光栅波导结构。本实用新型技术方案的亚波长光栅微环传感器，具有高灵敏度、高通量、以及低噪声的特性，折射率灵敏度超过500 nm/RIU，表面灵敏度可达1 nm/nm，并且可通过对称性缺失形成自参考测量，实现单分子检测。同时，该传感器的制作工艺与半导体器件工艺可以兼容，因而可在芯片上集成多个传感器，从而实现高通量、低成本的检测。
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公开(公告)号：CN217716442U
公开(公告)日：2022-11-01
申请号：CN202220027385.0
申请日：2022-01-06
Applicant: 哈尔滨工业大学(深圳)
IPC: G01D5/353
Abstract: 本实用新型提供了一种基于选择性模式调控的双模干涉传感器，包括双模波导（2），所述双模波导（2）上表面中间位置或上表面两侧位置设置有覆盖层（3），通过改变所述覆盖层（3）的宽度，能提高双模波导检测的灵敏度。本实用新型的有益效果是：本实用新型的双模干涉传感器保留了双模波导传感器单通道的简单结构、紧凑易于集成、适用于多路复用等优点，同时增大双模波导中两种模式的光程差变化实现灵敏度的提高。
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