公开(公告)号：CN118251027A

公开(公告)日：2024-06-25

申请号：CN202410312639.7

申请日：2024-03-19

Applicant: 哈尔滨工业大学(深圳)(哈尔滨工业大学深圳科技创新研究院)

Inventor： 肖淑敏 ,  蒋雄 ,  宋清海 ,  邓画春 ,  欧阳旭 ,  叶佐东

IPC: H10K30/87 ,  H10K30/60 ,  H10K71/00

Abstract: 本发明公开了一种窄带手性光电探测器及其制备方法，属于光电探测技术领域。所述窄带手性光电探测器包括基底、导电层、隔离层、二氧化锡层，第一电极、第二电极及钙钛矿层，所述第一电极及第二电极均设置于所述二氧化锡层背离所述隔离层的一面。本发明将钙钛矿材料与超表面结构设计相结合，直接在钙钛矿层设置若干呈周期性阵列排布的通孔单元，形成钙钛矿超表面，极大提高了器件的集成度，同时可以通过对超表面的加工，实现不同范围的可调偏振响应；本发明提供的光电探测器可调性强，成本低，尺寸在百纳米级别，有利于集成光学中的应用，对不同偏振光的局域作用强，能够实现高CD的吸收光谱响应。

公开(公告)号：CN115835662A

公开(公告)日：2023-03-21

申请号：CN202211474278.3

申请日：2022-11-23

Applicant: 哈尔滨工业大学(深圳)

Inventor： 陈怡沐 ,  宋清海 ,  肖淑敏 ,  李言浩 ,  蒋雄

IPC: H10K30/87 ,  H10K39/32

Abstract: 本发明涉及光电探测器领域，特别涉及一种基于光子光电子片上集成的超窄带光电探测器阵列。其包括钙钛矿型光电探测器、衬底、电子束曝光胶，钙钛矿型光电探测器覆盖在衬底的部分区域，整个衬底上沉积一层电子束曝光胶，电子束曝光胶覆盖钙钛矿光电探测器和暴露的衬底区域，通过电子束在靠近钙钛矿型光电探测器边缘的衬底暴露区域中曝光生成光学光栅。本超窄带光电探测器阵列尺寸小，探测波长半峰宽窄，工艺简单、功耗低、效率高；可探测波段多，易于集成；采用新型窄带探测机理，且器件性能优异。