公开(公告)号：CN119197766A

公开(公告)日：2024-12-27

申请号：CN202411229108.8

申请日：2024-09-03

Applicant: 哈尔滨工业大学(深圳)(哈尔滨工业大学深圳科技创新研究院)

Inventor： 宋清海 ,  李言浩 ,  蔡贵一 ,  陈怡沐 ,  林国平 ,  叶佐东 ,  肖淑敏

IPC: G01J3/28 ,  G01J3/02

Abstract: 本发明涉及一种小型化光谱仪、光谱仪阵列及角度分辨光谱仪。所述小型化光谱仪包括依次设置的超表面器件、液晶阵列及钙钛矿光电探测器，所述超表面器件包括第一基底及第一导电层，所述第一导电层覆于所述第一基底的一表面，所述第一基底的另一表面设置有二氧化钛层；所述钙钛矿光电探测器包括依次层叠的第二导电层、第二基底、第三导电层、空穴传输层、钙钛矿层及电子传输层。本发明提供的小型化光谱仪体积小，便于集成化组合成光谱仪阵列；所述光谱仪阵列与超透镜可以组合成角度分辨超表面光谱仪，取代了传统的物镜、成像光路、狭缝和光谱仪，使亚米级背焦面成像仪器压缩到数百微米；本发明提供的角度分辨超表面光谱仪具有高角度分辨率的优势。

公开(公告)号：CN115835662A

公开(公告)日：2023-03-21

申请号：CN202211474278.3

申请日：2022-11-23

Applicant: 哈尔滨工业大学(深圳)

Inventor： 陈怡沐 ,  宋清海 ,  肖淑敏 ,  李言浩 ,  蒋雄

IPC: H10K30/87 ,  H10K39/32

Abstract: 本发明涉及光电探测器领域，特别涉及一种基于光子光电子片上集成的超窄带光电探测器阵列。其包括钙钛矿型光电探测器、衬底、电子束曝光胶，钙钛矿型光电探测器覆盖在衬底的部分区域，整个衬底上沉积一层电子束曝光胶，电子束曝光胶覆盖钙钛矿光电探测器和暴露的衬底区域，通过电子束在靠近钙钛矿型光电探测器边缘的衬底暴露区域中曝光生成光学光栅。本超窄带光电探测器阵列尺寸小，探测波长半峰宽窄，工艺简单、功耗低、效率高；可探测波段多，易于集成；采用新型窄带探测机理，且器件性能优异。