径向偏光照明椭球曲面光瞳振幅滤波共焦成像装置

    公开(公告)号:CN103075974B

    公开(公告)日:2015-03-11

    申请号:CN201210543586.7

    申请日:2012-12-14

    Abstract: 径向偏光照明椭球曲面光瞳振幅滤波共焦成像装置属于光学显微镜测量领域;该共焦成像装置激光器发出的激光束依次经过准直扩束器,起偏器,径向偏振光转换器,分光镜后,由大数值孔径物镜会聚到椭球反射镜表面,再经过椭球反射镜和样品的两次反射后沿对称路径返回,再次经过分光镜时被反射,反射光束先经耦合透镜会聚,再经光纤传输到光电倍增管上成像;所述大数值孔径物镜的焦点和椭球反射镜的远焦点F1重合,椭球反射镜的近焦点F2位于样品的表面上;所述的椭球反射镜为环带结构,相隔的两个环带反射率相同,相邻的两个环带反射率分别为0和1;使用本发明,可以提高横向分辨率以及提高焦点处轴向电场能流密度最大值和径向电场能流密度最大值之比。

    径向偏光照明椭球曲面光瞳振幅滤波共焦成像装置

    公开(公告)号:CN103075974A

    公开(公告)日:2013-05-01

    申请号:CN201210543586.7

    申请日:2012-12-14

    Abstract: 径向偏光照明椭球曲面光瞳振幅滤波共焦成像装置属于光学显微镜测量领域;该共焦成像装置激光器发出的激光束依次经过准直扩束器,起偏器,径向偏振光转换器,分光镜后,由大数值孔径物镜会聚到椭球反射镜表面,再经过椭球反射镜和样品的两次反射后沿对称路径返回,再次经过分光镜时被反射,反射光束先经耦合透镜会聚,再经光纤传输到光电倍增管上成像;所述大数值孔径物镜的焦点和椭球反射镜的远焦点F1重合,椭球反射镜的近焦点F2位于样品的表面上;所述的椭球反射镜为环带结构,相隔的两个环带反射率相同,相邻的两个环带反射率分别为0和1;使用本发明,可以提高横向分辨率以及提高焦点处轴向电场能流密度最大值和径向电场能流密度最大值之比。

    基于差分分数阶涡旋光束的暗场共焦显微测量装置与方法

    公开(公告)号:CN118914204B

    公开(公告)日:2025-05-23

    申请号:CN202411018180.6

    申请日:2024-07-26

    Abstract: 本发明公开一种基于差分分数阶涡旋光束的暗场共焦显微测量装置与方法,涉及光学精密测量领域,该装置包括:分数阶涡旋光模块,用于生成第一分数阶涡旋光和第二分数阶涡旋光;光学扫描模块,用于将第一分数阶涡旋光和第二分数阶涡旋光分别对样品进行扫描,得到第一信号回光和第二信号回光;暗场探测模块,用于分别对第一信号回光和第二信号回光进行暗场探测,得到第一分数阶散射暗场图像和第二分数阶散射暗场图像;差分暗场散射图像确定模块,用于将第一分数阶散射暗场图像和第二分数阶散射暗场图像进行差分,得到差分暗场散射图像;缺陷确定模块,用于对差分暗场散射图像进行处理,得到样品缺陷。本发明可提升成像信噪比,提高缺陷检测的灵敏度。

    一种共焦层析扫描的快速高斯拟合提取峰值的方法

    公开(公告)号:CN117520814B

    公开(公告)日:2025-03-14

    申请号:CN202311435670.1

    申请日:2023-10-31

    Abstract: 一种共焦层析扫描的快速高斯拟合提取峰值的方法,它涉及一种快速高斯拟合提取峰值的方法。本发明为了解决目前还没有一种方法能够快速、准确提取光强峰值的问题。本发明的步骤包括步骤1、遍历单点层析数据得到最大值,将单点层析数据中的每个数与最大值的一半进行比较,利用比较结果构造权值矩阵;步骤2、将对数据的高斯拟合转为对数据的线性拟合,结合权值矩阵采用线性加权最小二乘法进行求解得到拟合曲线的参数,通过变换得到单点的轴向响应曲线;步骤3、采用向量化计算对多点的层析数据进行最小二乘求解,同时得到多点的轴向响应曲线;步骤4、根据轴向响应曲线得到每个点对应的曲线峰值的位置。本发明属于光学测量技术领域。

    一种基于统计量迭代的晶圆黄金图生成方法

    公开(公告)号:CN117173115B

    公开(公告)日:2025-02-07

    申请号:CN202311096405.5

    申请日:2023-08-29

    Abstract: 一种基于统计量迭代的晶圆黄金图生成方法,它涉及一种晶圆黄金图生成方法。本发明为了解决传统的基于空域形态学处理的方法对待检测晶圆进行了尺寸分析,然而该方法的计算结果容易受到划痕、光照不均匀等因素的影响,鲁棒性不高的问题。本发明的步骤包括步骤1、对晶粒形态进行分析;步骤2、采用自适应多尺度滤波的方法来实现光照的统一化;步骤3、对图像序列进行基于特征的配准来实现图像对齐,并采用统计量迭代的方法去除图像序列中的奇异点;步骤4、生成无缺陷的晶圆黄金图。本发明属于图像处理技术领域。

    一种基于分形原理的多孔陶瓷渗透率预测方法

    公开(公告)号:CN117629841B

    公开(公告)日:2025-01-21

    申请号:CN202311571307.2

    申请日:2023-11-23

    Abstract: 本发明公开了一种基于分形原理的多孔陶瓷渗透率预测方法,包括如下步骤,采用激光共聚焦显微镜对多孔陶瓷截面进行表征,并对测试区域的三维形貌进行高度值统计,获得均值与方差;通过高度阈值对三维形貌进行二值化处理,并对二值化结果计算多孔陶瓷截面分形维数;对该分形维数与高度关系,通过拟合获得剔除截面信息的孔隙面积分形维数;基于气体守恒方程、达西定律、泊肃叶定律等,得到渗透率与孔隙结构参数之间的映射关系,带入孔隙结构参数,获取不同位置处渗透率;通过求取不同位置处的渗透率得均值,获得多孔陶瓷的渗透率。本发明通过非接触式的方式测量渗透率,避免压降实验等对精密元器件造成的损伤。本发明可用于空气轴承的多孔节流件。

    一种基于太阳能的蓄电自然采光窗帘及其控制方法

    公开(公告)号:CN119073775A

    公开(公告)日:2024-12-06

    申请号:CN202411151488.8

    申请日:2024-08-21

    Inventor: 赵一轩 刘俭

    Abstract: 本发明提出一种基于太阳能的蓄电自然采光窗帘及其控制方法,其中结构包括窗帘主体(1)、太阳能电池板(2)、传感器模块(3)、信息处理模块(4)、控制系统(5)、蓄电池监测模块(6)、支架(7)和电机(8);窗帘主体(1)通过电机(8)滑动连接于支架(7)上,窗帘主体(1)一端与传感器模块(3)连接,另一端与蓄电池监测模块(6)连接,传感器模块(3)与信息处理模块(4)连接,信息处理模块(4)和控制系统(5)连接,控制系统(5)和电机(8)连接。本发明通过传感器模块实时对外接光照强度进行采集和分析,能根据人体的状态进行窗帘的打开和关闭,并在剩余电量不足时启动市电进行供电,保证窗帘的全天候供电。

    一种超材料弹性联轴器装置

    公开(公告)号:CN117267275B

    公开(公告)日:2024-10-22

    申请号:CN202310955479.3

    申请日:2023-11-23

    Abstract: 一种超材料弹性联轴器装置,它涉及一种联轴器装置。本发明为了解决现有联轴器的结构不紧凑,且弹性较差的问题。本发明包括第一尼龙顶丝、超材料弹性十字块、下连接块、上连接块和第二尼龙顶丝;上连接块的下表面与超材料弹性十字块的上表面可拆卸连接,下连接块的上表面与超材料弹性十字块的下表面可拆卸连接,第一尼龙顶丝由外至内插入上连接块外侧壁上的螺纹通孔内,第二尼龙顶丝由外至内插入下连接块外侧壁上的螺纹通孔内。本发明属于机械领域。

    基于色散元件的多角度全内反射照明成像装置

    公开(公告)号:CN113985592B

    公开(公告)日:2024-09-03

    申请号:CN202111122760.6

    申请日:2021-09-24

    Abstract: 本发明公开了一种基于色散元件的多角度全内反射照明成像装置,包括照明分光模块、物镜型TIR模块、成像分光模块。利用反射式色散元件对宽光谱平行光束进行分光,不同波长平行光在消色差透镜作用下聚焦到高数值孔径浸油物镜后焦面不同位置,可以得到穿透深度随波长变化的倏逝场,实现穿透深度的调控。在成像光路中,该发明加入了凹面衍射光栅单独提取不同的穿透深度照明下的成像结果,实现多角度全内反射成像。该发明为多角度全内反射成像装置,相比于传统的物镜型多角度全内反射成像装置,该方法成像速度快,并且能够在全内反射成像的同时进行散射光谱分析。

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