公开(公告)号：CN119582482A

公开(公告)日：2025-03-07

申请号：CN202411601170.5

申请日：2024-11-11

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 那拓扑 ,  段永鑫 ,  段钰靖 ,  石庭松 ,  赵勃 ,  谭久彬

IPC: H02K1/17 ,  H02K1/34 ,  H02K3/04 ,  H02J50/12 ,  H02J50/40 ,  H02N15/00

Abstract: 一种用于光刻机工件台的无缆化动圈式磁悬浮平面电机，本发明为了解决光刻机工作台动子线圈运动过程中需要线缆供电，影响磁悬浮运动台的运动性能的问题，本发明包括定子结构和动子结构，所述动子结构位于定子结构的上部，所述定子结构包括多个定子单元，多个定子单元呈2*2矩阵布置，所述每个定子单元的N极组件和S极组件交错设置；所述动子结构包括多个动子单元，多个动子单元呈2*2矩阵布置。本发明通过带有无线电能传输发射端线圈的海尔贝克阵列定子和带有无线电能传输接收端线圈的动子绕组，可以实现动子绕组低电流波动供电，保证动圈式磁悬浮平面电机无缆化长行程运行，进而提升光刻机用工件台的运动性能。本发明属于光刻设备技术领域。

公开(公告)号：CN119582497A

公开(公告)日：2025-03-07

申请号：CN202411600931.5

申请日：2024-11-11

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 那拓扑 ,  石庭松 ,  段钰靖 ,  段永鑫 ,  赵勃 ,  谭久彬

IPC: H02K1/34 ,  H02K3/04 ,  H02J50/10 ,  H02J50/40 ,  H02N15/00

Abstract: 一种光刻机工件台用无缆化动铁式磁悬浮平面电机，本发明为了解决动铁式磁悬浮结构动子上面的负载需要线缆进行供电，进而对工件台运动精度造成影响的问题，本发明包括电机定子单元和电机动子单元，所述电机动子单元位于电机定子单元的上部，本发在定子侧增加了无线电能传输发射端线圈，在动子侧增加无线电能传输接收端线圈，接收端线圈接收电能，为动子上的负载提供电能。通过利用提出的带有无线电能传输发射端线圈的海尔贝克阵列定子和带有无线电能传输接收端线圈的动子绕组，可以实现动子绕组低电流波动供电，保证动圈式磁悬浮平面电机无缆化长行程运行，进而提升光刻机用工件台的运动性能。本发明属于光刻设备技术领域。