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公开(公告)号：CN104528633A
公开(公告)日：2015-04-22
申请号：CN201410716011.X
申请日：2014-12-02
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B81C3/00
Abstract: 一种基于微机械电子系统技术的多功能键合实验装置，包括多功能键合台和电器机箱；所述多功能键合台包括可调基座、加热器下电极、可拆卸上电极组件以及显微镜组件，可调基座包括带上电极支撑架的底座和平面x、y向可调基台，加热器下电极安装在平面x、y向可调基台上；可拆卸上电极组件和显微镜组件安装在上电极支撑架上；所述电器机箱包括高压电源组件、键合监测系统、控温系统，高压电源用于对位于加热器下电极和可拆卸上电极组件之间的待静电键合样品施加键合电压；键合监测系统实时采集键合电流并绘出电流-时间曲线，实时反应静电键合完成情况；控温系统用于对加热器下电极进行控温。该装置具有结构紧凑、小巧、性价比高等优点。
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