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公开(公告)号：CN109396507B
公开(公告)日：2019-08-20
申请号：CN201811273949.3
申请日：2018-10-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明涉及一种应用于折叠波导慢波结构的微铣削制备工艺方法，利用夹具对弥散无氧铜样件进行装夹；采用铣刀去除材料表面的氧化皮；将超精密微铣削用的微铣刀安装在主轴的刀具夹紧机构中，通过在位检测装置实时检测刀具安装状态并根据需求进行调整；采用CCD对刀系统对工件进行Z向对刀，并在工件上设置一个专门的对刀点，避免换刀之后由于存在对刀点偏差；划分加工阶段并规划微铣刀的走刀轨迹，实现大深宽比、薄壁复杂慢波结构的整体加工；最后利用辅助工艺去除残留毛刺。本发明实现了一种多周期、大深宽比、薄壁复杂慢波结构件的超精密微铣削加工，加工后的尺寸精度优于±2μm，表面粗糙度Ra优于60nm。
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公开(公告)号：CN113909543B
公开(公告)日：2022-08-23
申请号：CN202111332296.3
申请日：2021-11-11
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B23C3/12
Abstract: 本发明提供一种阵列结构加工件工艺毛刺的去除方法，毛坯件经去除材料加工制得所述阵列结构加工件，所述阵列结构加工件包括多个呈阵列布置的子阵列加工件，多个所述子阵列加工件顶面留有所述工艺毛刺，阵列结构加工件工艺毛刺的去除方法包括以下步骤：第一去毛刺工艺，包括沿第一方向对多个所述子阵列加工件的顶面进行平面加工；空走刀去毛刺工艺，包括环绕多个所述子阵列加工件的侧壁进行空走刀加工；第二去毛刺工艺，包括沿所述第一方向的逆向对多个所述子阵列加工件的顶面进行平面加工。本发明去除工艺毛刺加工效率高。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112276176A
公开(公告)日：2021-01-29
申请号：CN202011126855.0
申请日：2020-10-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明涉及一种应用于折叠波导慢波结构的微铣削毛刺抑制方法，微铣削加工生成慢波结构中的直槽后，将PMMA胶体填充至直槽腔体；等待至PMMA胶体固化后，再进行慢波结构中S型槽的微铣削加工；待工件加工完毕后，将工件置于有机溶剂中溶解PMMA固化层，清洗，烘干；其中，PMMA胶体是将聚甲基丙烯酸甲酯和亚克力固化剂按照质量比为(1～1.4):1均匀混合制得。本发明提供了一种应用于折叠波导慢波结构的微铣削毛刺抑制方法，采用PMMA胶体涂覆填充于已加工直槽腔体内部作为辅助支撑材料，用以在切削过程中增强弥散无氧铜材料边界抵抗塑性变形的能力，进而抑制槽顶、槽肩以及孤岛根部毛刺的形成。
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公开(公告)号：CN112276177B
公开(公告)日：2022-03-25
申请号：CN202011126870.5
申请日：2020-10-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明涉及一种应用于折叠波导慢波结构微铣削加工精度保障的工艺方法，对工件毛坯待加工区的外边缘处微铣削加工制得沿X轴方向延伸的X向对刀槽、沿Y轴方向延伸的Y向对刀槽；微铣削加工过程中更换刀具后，以X向对刀槽和Y向对刀槽为基准对应进行刀具X方向和Y方向的二次对刀；当X向对刀槽或/和Y向对刀槽被微铣削加工去除后，基于对应处已加工表面的侧壁进行刀具X方向或/和Y方向的二次对刀。本发明提供了一种应用于折叠波导慢波结构微铣削加工精度保障的工艺方法，其能够保证慢波结构微铣削加工时相对位置的准确性，提高微铣削加工精度。
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公开(公告)号：CN113909543A
公开(公告)日：2022-01-11
申请号：CN202111332296.3
申请日：2021-11-11
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B23C3/12
Abstract: 本发明提供一种阵列结构加工件工艺毛刺的去除方法，毛坯件经去除材料加工制得所述阵列结构加工件，所述阵列结构加工件包括多个呈阵列布置的子阵列加工件，多个所述子阵列加工件顶面留有所述工艺毛刺，阵列结构加工件工艺毛刺的去除方法包括以下步骤：第一去毛刺工艺，包括沿第一方向对多个所述子阵列加工件的顶面进行平面加工；空走刀去毛刺工艺，包括环绕多个所述子阵列加工件的侧壁进行空走刀加工；第二去毛刺工艺，包括沿所述第一方向的逆向对多个所述子阵列加工件的顶面进行平面加工。本发明去除工艺毛刺加工效率高。
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公开(公告)号：CN112276177A
公开(公告)日：2021-01-29
申请号：CN202011126870.5
申请日：2020-10-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明涉及一种应用于折叠波导慢波结构微铣削加工精度保障的工艺方法，对工件毛坯待加工区的外边缘处微铣削加工制得沿X轴方向延伸的X向对刀槽、沿Y轴方向延伸的Y向对刀槽；微铣削加工过程中更换刀具后，以X向对刀槽和Y向对刀槽为基准对应进行刀具X方向和Y方向的二次对刀；当X向对刀槽或/和Y向对刀槽被微铣削加工去除后，基于对应处已加工表面的侧壁进行刀具X方向或/和Y方向的二次对刀。本发明提供了一种应用于折叠波导慢波结构微铣削加工精度保障的工艺方法，其能够保证慢波结构微铣削加工时相对位置的准确性，提高微铣削加工精度。
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公开(公告)号：CN109396507A
公开(公告)日：2019-03-01
申请号：CN201811273949.3
申请日：2018-10-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明涉及一种应用于折叠波导慢波结构的微铣削制备工艺方法，利用夹具对弥散无氧铜样件进行装夹；采用铣刀去除材料表面的氧化皮；将超精密微铣削用的微铣刀安装在主轴的刀具夹紧机构中，通过在位检测装置实时检测刀具安装状态并根据需求进行调整；采用CCD对刀系统对工件进行Z向对刀，并在工件上设置一个专门的对刀点，避免换刀之后由于存在对刀点偏差；划分加工阶段并规划微铣刀的走刀轨迹，实现大深宽比、薄壁复杂慢波结构的整体加工；最后利用辅助工艺去除残留毛刺。本发明实现了一种多周期、大深宽比、薄壁复杂慢波结构件的超精密微铣削加工，加工后的尺寸精度优于±2μm，表面粗糙度Ra优于60nm。
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