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公开(公告)号：CN110000606B
公开(公告)日：2021-04-20
申请号：CN201910314542.9
申请日：2019-04-18
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种针对加工太赫兹慢波结构件的对刀方法，它涉及一种对刀方法。本发明解决了传统的机械式对刀方法对刀存在装夹误差，每次样件的加工都需要进行一次对刀，加工效率低的问题。步骤一、坐标系的建立与标定：步骤二、绝对运动、相对运动结合的精准对刀：在完成坐标系的建立以及相机及夹具体、工件的位置参数的初始值标定后，并将两个相机上获得图像的水平和竖直方向的像素进行标定；根据数控系统中设置的走刀速度、加速度参量，结合多次走刀实验中经过标定像素点的时间特性曲线，获得对刀过程中同时对其运动状态进行预判；采用软件补偿或减小放大实现精准对刀；步骤三、误差标定与补偿。本发明用于加工太赫兹慢波结构件装置的对刀。
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公开(公告)号：CN109396507B
公开(公告)日：2019-08-20
申请号：CN201811273949.3
申请日：2018-10-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明涉及一种应用于折叠波导慢波结构的微铣削制备工艺方法，利用夹具对弥散无氧铜样件进行装夹；采用铣刀去除材料表面的氧化皮；将超精密微铣削用的微铣刀安装在主轴的刀具夹紧机构中，通过在位检测装置实时检测刀具安装状态并根据需求进行调整；采用CCD对刀系统对工件进行Z向对刀，并在工件上设置一个专门的对刀点，避免换刀之后由于存在对刀点偏差；划分加工阶段并规划微铣刀的走刀轨迹，实现大深宽比、薄壁复杂慢波结构的整体加工；最后利用辅助工艺去除残留毛刺。本发明实现了一种多周期、大深宽比、薄壁复杂慢波结构件的超精密微铣削加工，加工后的尺寸精度优于±2μm，表面粗糙度Ra优于60nm。
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公开(公告)号：CN109128316B
公开(公告)日：2019-07-30
申请号：CN201811273948.9
申请日：2018-10-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B23C3/00 , B23Q15/013 , B23Q15/007
Abstract: 本发明涉及一种应用于折叠波导慢波结构的走刀轨迹规划方法，采用铣刀去除材料表面的氧化皮；选取直槽中心线上位于S形槽起始边外侧的一点作为对刀点；采用CCD对刀系统对工件进行Z向对刀；划分加工阶段并规划微铣刀的走刀轨迹，采用慢波结构在深度方向上分层加工的走刀方案；最后利用辅助工艺去除残留毛刺。本发明实现了一种多周期、大深宽比、薄壁复杂慢波结构件的超精密微铣削加工，解决了该类零件在超精密微铣削加工过程中，孤岛结构易发生弯曲、坍塌，直槽和S形槽交汇处形成的毛刺不易去除、深槽侧壁易倾斜等问题，以满足较为苛刻的加工要求。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110000606A
公开(公告)日：2019-07-12
申请号：CN201910314542.9
申请日：2019-04-18
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种针对加工太赫兹慢波结构件的对刀方法，它涉及一种对刀方法。本发明解决了传统的机械式对刀方法对刀存在装夹误差，每次样件的加工都需要进行一次对刀，加工效率低的问题。步骤一、坐标系的建立与标定：步骤二、绝对运动、相对运动结合的精准对刀：在完成坐标系的建立以及相机及夹具体、工件的位置参数的初始值标定后，并将两个相机上获得图像的水平和竖直方向的像素进行标定；根据数控系统中设置的走刀速度、加速度参量，结合多次走刀实验中经过标定像素点的时间特性曲线，获得对刀过程中同时对其运动状态进行预判；采用软件补偿或减小放大实现精准对刀；步骤三、误差标定与补偿。本发明用于加工太赫兹慢波结构件装置的对刀。
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公开(公告)号：CN109605123A
公开(公告)日：2019-04-12
申请号：CN201910082202.8
申请日：2019-01-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种针对慢波结构件的超精密微铣削专用机床，它涉及一种机床。本发明解决现有微铣削机床在加工微小零件极易产生毛刺、裂纹和薄壁孤岛导致无法保证加工表面质量问题。水平工作台通过水平连接板与X轴直线运动平台的滑块固接，水平工作台的上端面上安装有B轴旋转工作台和水平CCD相机底座，工件夹具体设置在水平工作台的上端面上，两个机床侧座相对安装在机床底座总成的大理石平台的两侧，机床龙门座安装在两个机床侧座上，Z轴直线运动平台竖直安装在机床龙门座的横梁中部，C轴旋转工作台与Z轴直线运动平台的滑块固接，电主轴固定装置固定在C轴旋转工作台上，电主轴安装在电主轴固定装置上。本发明用于太赫兹慢波结构件超精密微铣削。
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公开(公告)号：CN109128316A
公开(公告)日：2019-01-04
申请号：CN201811273948.9
申请日：2018-10-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B23C3/00 , B23Q15/013 , B23Q15/007
CPC classification number: B23C3/00 , B23Q15/007 , B23Q15/013
Abstract: 本发明涉及一种应用于折叠波导慢波结构的走刀轨迹规划方法，采用铣刀去除材料表面的氧化皮；选取直槽中心线上位于S形槽起始边外侧的一点作为对刀点；采用CCD对刀系统对工件进行Z向对刀；划分加工阶段并规划微铣刀的走刀轨迹，采用慢波结构在深度方向上分层加工的走刀方案；最后利用辅助工艺去除残留毛刺。本发明实现了一种多周期、大深宽比、薄壁复杂慢波结构件的超精密微铣削加工，解决了该类零件在超精密微铣削加工过程中，孤岛结构易发生弯曲、坍塌，直槽和S形槽交汇处形成的毛刺不易去除、深槽侧壁易倾斜等问题，以满足较为苛刻的加工要求。
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公开(公告)号：CN112276176A
公开(公告)日：2021-01-29
申请号：CN202011126855.0
申请日：2020-10-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明涉及一种应用于折叠波导慢波结构的微铣削毛刺抑制方法，微铣削加工生成慢波结构中的直槽后，将PMMA胶体填充至直槽腔体；等待至PMMA胶体固化后，再进行慢波结构中S型槽的微铣削加工；待工件加工完毕后，将工件置于有机溶剂中溶解PMMA固化层，清洗，烘干；其中，PMMA胶体是将聚甲基丙烯酸甲酯和亚克力固化剂按照质量比为(1～1.4):1均匀混合制得。本发明提供了一种应用于折叠波导慢波结构的微铣削毛刺抑制方法，采用PMMA胶体涂覆填充于已加工直槽腔体内部作为辅助支撑材料，用以在切削过程中增强弥散无氧铜材料边界抵抗塑性变形的能力，进而抑制槽顶、槽肩以及孤岛根部毛刺的形成。
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公开(公告)号：CN109396507A
公开(公告)日：2019-03-01
申请号：CN201811273949.3
申请日：2018-10-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明涉及一种应用于折叠波导慢波结构的微铣削制备工艺方法，利用夹具对弥散无氧铜样件进行装夹；采用铣刀去除材料表面的氧化皮；将超精密微铣削用的微铣刀安装在主轴的刀具夹紧机构中，通过在位检测装置实时检测刀具安装状态并根据需求进行调整；采用CCD对刀系统对工件进行Z向对刀，并在工件上设置一个专门的对刀点，避免换刀之后由于存在对刀点偏差；划分加工阶段并规划微铣刀的走刀轨迹，实现大深宽比、薄壁复杂慢波结构的整体加工；最后利用辅助工艺去除残留毛刺。本发明实现了一种多周期、大深宽比、薄壁复杂慢波结构件的超精密微铣削加工，加工后的尺寸精度优于±2μm，表面粗糙度Ra优于60nm。
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