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公开(公告)号：CN108565301A
公开(公告)日：2018-09-21
申请号：CN201810305675.5
申请日：2018-04-08
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H01L31/0272 , H01L31/101 , H01L31/18
Abstract: 本发明提供了一种基于金属表面等离子诱导双波段响应的光电探测器及制备方法，属于传感器技术领域。本发明探测器包括：衬底，硒化铟纳米片，金纳米阵列和两个金属电极。本发明中所用的光敏感材料为硒化铟，目前硒化铟基光电探测器的工作范围大多集中在紫外波段，其响应度从可见光波段开始严重衰减，使其在长波段无法正常工作。针对此问题，本发明中采用金属表面等离子体共振诱导的方法提高了硒化铟光电探测器在可见光区的量子效率，进而实现了其在紫外-可见-近红外的宽谱范围内具有双波段的探测功能。此外，这种新型双波段探测器具有结构简单、尺寸小、易于耦合焦平面读出电路等特点，有益于下一代多功能、多变量检测光探测器的开发。
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公开(公告)号：CN108565301B
公开(公告)日：2020-04-17
申请号：CN201810305675.5
申请日：2018-04-08
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H01L31/0272 , H01L31/101 , H01L31/18
Abstract: 本发明提供了一种基于金属表面等离子诱导双波段响应的光电探测器及制备方法，属于传感器技术领域。本发明探测器包括：衬底，硒化铟纳米片，金纳米阵列和两个金属电极。本发明中所用的光敏感材料为硒化铟，目前硒化铟基光电探测器的工作范围大多集中在紫外波段，其响应度从可见光波段开始严重衰减，使其在长波段无法正常工作。针对此问题，本发明中采用金属表面等离子体共振诱导的方法提高了硒化铟光电探测器在可见光区的量子效率，进而实现了其在紫外‑可见‑近红外的宽谱范围内具有双波段的探测功能。此外，这种新型双波段探测器具有结构简单、尺寸小、易于耦合焦平面读出电路等特点，有益于下一代多功能、多变量检测光探测器的开发。
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公开(公告)号：CN108365084A
公开(公告)日：2018-08-03
申请号：CN201810067410.6
申请日：2018-01-24
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H01L41/113 , H01L41/18 , H01L41/33
Abstract: 本发明提供了一种基于单晶二维压电材料的自驱动压力传感器及制备方法，属于传感器技术领域。本发明中金电极直接接触二维压电材料纳米片，聚二甲基硅氧烷柔性衬底提供支撑，银浆用于连接金电极和导线，导线作为外电路测试时的电极。制备方法为：在云母上制备出少层的单晶二维压电材料纳米片；利用聚合物辅助的方法将单晶二维压电材料纳米片转移到柔性衬底上；用碳纤维作为掩模板，利用热蒸发镀膜技术蒸镀金电极；利用银浆和导线引出电极以供测试，完成器件制备。本发明的制备工艺实施简单，避免了使用繁琐复杂的光刻技术；所制备的压电传感器具有柔性，可穿戴，高灵敏度，高稳定性的特点，在监测人体生理信号(脉搏和呼吸)时表现出优异的性能。
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公开(公告)号：CN107123703A
公开(公告)日：2017-09-01
申请号：CN201710479082.6
申请日：2017-06-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H01L31/18 , H01L31/0352 , H01L31/09
CPC classification number: Y02P70/521 , H01L31/18 , H01L31/035209 , H01L31/035227 , H01L31/09
Abstract: 本发明公开了基于独立式二硫化锡纳米片的垂直光电探测器的制备方法，它涉及光电探测器技术领域；它的制备方法为：步骤一：在导电衬底上制备出独立式垂直排列的二硫化锡纳米片；步骤二：旋涂一层透明绝缘层后烘干以将二硫化锡纳米片封装起来；步骤三：用等离子刻蚀工艺将部分透明绝缘层刻蚀掉，重新暴露出部分二硫化锡纳米片；步骤四：蒸镀一层透明金属电极，完成器件；本发明的制备工艺实施简单，避免了繁琐而复杂的光刻技术的使用；相比传统的平行结构的光电探测器，独立式二硫化锡纳米片为基础的垂直电探测器避免了基底造成的散射与掺杂，增加了光吸收，从而提高了其光电探测性能。
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