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公开(公告)号：CN115642831A
公开(公告)日：2023-01-24
申请号：CN202211389751.8
申请日：2022-11-08
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H02N2/18
Abstract: 一种低频高效的多模态双铰支梁压电能量俘获装置，属于环境振动能俘获技术领域，本发明是为了解决传统压电振动能俘获装置谐振频率高，有效俘能区间单一，低频输出功率低的问题。铝梁的两端通过螺栓与转轴固连，形成双铰支梁结构；转轴两端通过陶瓷轴承进行支撑并与底座连接；配重板通过中心孔套在转轴上并在定位孔处通过螺栓螺母夹紧转轴；质量块粘贴在铝梁的中心位置；当环境频率靠近其一阶与三阶固有频率时，压电片产生交替变化的应变，根据正压电效应，机械能被转化为电能，为微电子设备供电。本发明可在低频环境进行多模态俘能，输出功率高，环境适应性好，设计灵活。本发明可广泛用于在低频、多频环境中的微电子设备自供能领域。
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公开(公告)号：CN114060452A
公开(公告)日：2022-02-18
申请号：CN202111475558.1
申请日：2021-12-06
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种基于压电作动的主被动混合隔振器，属于振动控制技术领域，解决现有隔振器低频隔振性能差、环境适应性不强、隔振可靠性低的问题。来自外部的振动先通过下套筒传递至阻尼缓冲器主体，耗散大部分的振动能量后将残余振动传递至上套筒，后经上套筒内部的调节螺钉、压电堆下保护壳传递至压电堆，压电堆接收外部驱动电压控制信号利用逆压电效应使压电堆产生形变或输出力，配合压电堆上保护壳、碟簧组合、力输出杆，对残余振动进行主动抵消，最后经螺纹连接传递到被隔振物体，实现对被隔振物体的主被混合隔振。采用本装置进行隔振的可靠性有较大提高，且在中低频段的隔振效果大大提高，能够拓宽有效隔振的频率带宽，对复杂环境的适应性更强。
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公开(公告)号：CN119556533A
公开(公告)日：2025-03-04
申请号：CN202411924985.7
申请日：2024-12-25
Applicant: 哈尔滨工业大学 , 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提供了一种窗口高速扫描式曝光装置，涉及精密仪器技术领域。窗口高速扫描式曝光装置包括基础框架、遮光板、两个横向光阑片和两个纵向光阑片，基础框架包括镂空区域，遮光板与基础框架连接并遮盖镂空区域，遮光板背离镂空区域的一端为激光照射端，遮光板包括矩形窗口，两个横向光阑片位于遮光板和镂空区域之间，两个纵向光阑片位于遮光板背离两个横向光阑片的一端，遮光板上设置有水冷结构和氮气冷却结构。可以消除激光环境中的热辐射对两个横向光阑片和两个纵向光阑片的影响，从而避免两个横向光阑片和两个纵向光阑片在热辐射的作用下发生形变，以提高两组光阑片形成的透光矩形窗口的形状精度。
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公开(公告)号：CN119742250A
公开(公告)日：2025-04-01
申请号：CN202411949281.5
申请日：2024-12-27
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H01L21/67 , H01L21/683
Abstract: 本发明提供了一种晶圆键合设备，涉及集成电路封装的技术领域，晶圆键合设备包括上晶圆吸附台，所述上晶圆吸附台包括位于底部的吸附盘，所述吸附盘上设有多个能够独立工作的吸附单元和多个能够独立工作的加热单元，所述吸附单元和所述加热单元分别呈环状分布，多个所述吸附单元和所述加热单元由所述上晶圆吸附台中心向外周交替间隔排列。本发明能够改善晶圆在键合过程中出现应力集中，进而出现剥离的现象。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114083574B
公开(公告)日：2023-07-07
申请号：CN202111472497.3
申请日：2021-12-06
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B25J19/00
Abstract: 一种悬臂梁式机器人末端执行机构的振动抑制执行器，属于振动抑制技术领域，本发明旨在解决简化为悬臂梁结构的机器人末端执行机构在受到外部激励及执行动作时发生弯曲振动影响定位精度的问题。执行器的驱动元件压电叠堆两端与楔形块连接，在控制系统驱动下，压电叠堆输出力通过支架将轴向力转换为对末端执行机构的弯矩，实现对末端执行机构的振动抑制，通过压电材料的高响应特性，解决了悬臂梁低频振动的迟滞非线性问题。本发明的一种悬臂梁机器人末端执行机构振动抑制执行器具有结构新颖，设计灵活，提出一种楔形块与支架组合的结构，首次将压电系数更高的d33模式压电叠堆应用到悬臂梁振动抑制上，能有效抑制悬臂梁的弯曲振动。
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公开(公告)号：CN114083574A
公开(公告)日：2022-02-25
申请号：CN202111472497.3
申请日：2021-12-06
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B25J19/00
Abstract: 一种悬臂梁式机器人末端执行机构的振动抑制执行器，属于振动抑制技术领域，本发明旨在解决简化为悬臂梁结构的机器人末端执行机构在受到外部激励及执行动作时发生弯曲振动影响定位精度的问题。执行器的驱动元件压电叠堆两端与楔形块连接，在控制系统驱动下，压电叠堆输出力通过支架将轴向力转换为对末端执行机构的弯矩，实现对末端执行机构的振动抑制，通过压电材料的高响应特性，解决了悬臂梁低频振动的迟滞非线性问题。本发明的一种悬臂梁机器人末端执行机构振动抑制执行器具有结构新颖，设计灵活，提出一种楔形块与支架组合的结构，首次将压电系数更高的d33模式压电叠堆应用到悬臂梁振动抑制上，能有效抑制悬臂梁的弯曲振动。
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公开(公告)号：CN119880220A
公开(公告)日：2025-04-25
申请号：CN202510059790.9
申请日：2025-01-15
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01L5/00
Abstract: 本发明涉及测量装置技术领域，提供了一种反力测量系统及方法，该系统的阻尼测量装置包括第一阻尼器、力传感器、电缸和支撑座；刚度测量装置包括第一气浮导轨、第一光阑组件、第二光阑组件、第二阻尼器、第一光栅尺和第一支撑架；反力测量装置包括第二气浮导轨、第三光阑组件、第四光阑组件、第三阻尼器、第二支撑架、第二光栅尺和阻尼转接板。本发明有效测得高速双向运动机构的反力，便于进行反力调整，有效提高曝光装置稳定性。
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公开(公告)号：CN114060452B
公开(公告)日：2023-07-21
申请号：CN202111475558.1
申请日：2021-12-06
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种基于压电作动的主被动混合隔振器，属于振动控制技术领域，解决现有隔振器低频隔振性能差、环境适应性不强、隔振可靠性低的问题。来自外部的振动先通过下套筒传递至阻尼缓冲器主体，耗散大部分的振动能量后将残余振动传递至上套筒，后经上套筒内部的调节螺钉、压电堆下保护壳传递至压电堆，压电堆接收外部驱动电压控制信号利用逆压电效应使压电堆产生形变或输出力，配合压电堆上保护壳、碟簧组合、力输出杆，对残余振动进行主动抵消，最后经螺纹连接传递到被隔振物体，实现对被隔振物体的主被混合隔振。采用本装置进行隔振的可靠性有较大提高，且在中低频段的隔振效果大大提高，能够拓宽有效隔振的频率带宽，对复杂环境的适应性更强。
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公开(公告)号：CN114531057A
公开(公告)日：2022-05-24
申请号：CN202210320867.X
申请日：2022-03-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H02N2/00
Abstract: 一种用于梁结构振动抑制的复合式压电执行器，属于振动抑制技术领域。本发明旨在抑制梁结构在受到外部激励发生的受迫振动，削弱或消除振动对系统的负面影响。通过驱动d33极化方式下的压电叠堆，结合底部弹簧，产生对梁结构振型相反的弯矩，抑制梁结构的弯曲振动，提高结构的定位精度和控制精度。本发明的一种用于梁结构振动抑制的复合式压电执行器，结构新颖，设计灵活，提出的类凸轮结构可以很好的实现压电叠堆的安装与更换，与弹簧的结合，既增加了d33模式压电叠堆的输出弯矩也实现了对压电叠堆的预紧，能有效抑制梁结构的弯曲振动，在具有梁结构的高端装备如玻璃基板搬运机器人、雷达天线、太阳能帆板等上有良好的应用前景。
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