公开(公告)号：CN119880220A

公开(公告)日：2025-04-25

申请号：CN202510059790.9

申请日：2025-01-15

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 吴剑威 ,  宋赫男 ,  张玉荣 ,  周永松 ,  郑健

IPC: G01L5/00

Abstract: 本发明涉及测量装置技术领域，提供了一种反力测量系统及方法，该系统的阻尼测量装置包括第一阻尼器、力传感器、电缸和支撑座；刚度测量装置包括第一气浮导轨、第一光阑组件、第二光阑组件、第二阻尼器、第一光栅尺和第一支撑架；反力测量装置包括第二气浮导轨、第三光阑组件、第四光阑组件、第三阻尼器、第二支撑架、第二光栅尺和阻尼转接板。本发明有效测得高速双向运动机构的反力，便于进行反力调整，有效提高曝光装置稳定性。

公开(公告)号：CN119575765A

公开(公告)日：2025-03-07

申请号：CN202411840075.0

申请日：2024-12-13

Applicant: 哈尔滨工业大学 ,  上海微电子装备(集团)股份有限公司

Inventor： 吴剑威 ,  周永松 ,  郑健 ,  张玉荣

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明提供了一种光阑运动装置及其扫描运动方法、曝光装置，涉及半导体设备技术领域，装置包括相连接的运动组件和质量平衡组件，运动组件包括第一导轨、第一滑块、第二滑块、第一驱动件和第二驱动件，质量平衡组件包括第一导轨、第三滑块、第四滑块、第一驱动件和第二驱动件，第一驱动件和第三驱动件电连接于第一控制电路中，第二驱动件和第四驱动件电连接于第二控制电路中。该装置结构简单，第三滑块和第四滑块可分别随第一滑块和第二滑块的运动进行无延迟地同步反向运动，相较于现有技术，该装置的设计减少了对复杂控制算法的需求，具有更快的响应速度，可以更及时地实现反力平衡。

公开(公告)号：CN119556533A

公开(公告)日：2025-03-04

申请号：CN202411924985.7

申请日：2024-12-25

Applicant: 哈尔滨工业大学 ,  上海微电子装备(集团)股份有限公司

Inventor： 吴剑威 ,  郑健 ,  宋赫男 ,  张玉荣 ,  周永松

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明提供了一种窗口高速扫描式曝光装置，涉及精密仪器技术领域。窗口高速扫描式曝光装置包括基础框架、遮光板、两个横向光阑片和两个纵向光阑片，基础框架包括镂空区域，遮光板与基础框架连接并遮盖镂空区域，遮光板背离镂空区域的一端为激光照射端，遮光板包括矩形窗口，两个横向光阑片位于遮光板和镂空区域之间，两个纵向光阑片位于遮光板背离两个横向光阑片的一端，遮光板上设置有水冷结构和氮气冷却结构。可以消除激光环境中的热辐射对两个横向光阑片和两个纵向光阑片的影响，从而避免两个横向光阑片和两个纵向光阑片在热辐射的作用下发生形变，以提高两组光阑片形成的透光矩形窗口的形状精度。