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公开(公告)号:CN111962046B
公开(公告)日:2021-06-15
申请号:CN202010788669.7
申请日:2020-08-07
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: C23C16/40 , C23C16/455 , C23C16/56
Abstract: 一种抗带电粒子辐照的密度梯度型高储氢复合膜层及其制备方法,属于航天器结构功能材料领域。本发明要解决航天器结构功能材料的防辐射性能差的技术问题。本发明采用原子层沉积技术在钴‑硫金属化合物表面沉积ZnO薄膜,再通过高能球磨技术制备高储氢钴‑硫金属化合物,并将其与树脂材料复合,构筑一种具有密度梯度分布的复合膜层结构。其中氢对于韧致辐射有一定的消减作用,而树脂具有较大的密度,能够有效抵挡高能粒子的辐射,通过不同密度材料的彼此复合,有利于提高储氢材料与基体的结合能力,实现空间抗辐射加固。
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公开(公告)号:CN107901310A
公开(公告)日:2018-04-13
申请号:CN201711154535.4
申请日:2017-11-17
Applicant: 哈尔滨工业大学
CPC classification number: B29C39/02 , B29C39/006 , B29C39/22 , B29K2083/00
Abstract: 一种柔性气动机械手的制备方法,它涉及一种气动机械手的制备方法。本发明是为了解决目前软体机械手的力学性能较差的技术问题。本发明:一、外层Ecoflex00-30的制备;二、芯部PDMS的制备。本发明柔性气动机械手中的外壳和芯部之间的柔性过渡层以提高材料性能和改善柔性机械手的气动响应。本发明应用于制备柔性气动机械手。
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公开(公告)号:CN111962046A
公开(公告)日:2020-11-20
申请号:CN202010788669.7
申请日:2020-08-07
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: C23C16/40 , C23C16/455 , C23C16/56
Abstract: 一种抗带电粒子辐照的密度梯度型高储氢复合膜层及其制备方法,属于航天器结构功能材料领域。本发明要解决航天器结构功能材料的防辐射性能差的技术问题。本发明采用原子层沉积技术在钴-硫金属化合物表面沉积ZnO薄膜,再通过高能球磨技术制备高储氢钴-硫金属化合物,并将其与树脂材料复合,构筑一种具有密度梯度分布的复合膜层结构。其中氢对于韧致辐射有一定的消减作用,而树脂具有较大的密度,能够有效抵挡高能粒子的辐射,通过不同密度材料的彼此复合,有利于提高储氢材料与基体的结合能力,实现空间抗辐射加固。
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公开(公告)号:CN101561407B
公开(公告)日:2013-03-20
申请号:CN200910072016.2
申请日:2009-05-13
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01N27/12
Abstract: 锇膜电阻线原子氧传感器芯片的制造方法,它涉及锇膜电阻线构成的电阻型原子氧传感器芯片的制造方法。本发明解决了现有工艺制备锇膜存在容易开裂、原子氧测量的准确性差的问题。本发明方法如下:一、用物理气相沉积法在基片上依次沉积铬膜和金膜;二、然后在金膜表面上电镀锇膜;三、在锇膜表面形成线形的光刻胶图案;四、然后用电化学阳极溶解法刻蚀锇膜;五、再用湿化学法刻蚀金膜,经去胶后即在基片表面形成锇膜电阻线。本发明制得芯片的锇膜电阻线表面光滑平整,无微裂纹和针孔,线宽小,厚度大,因此该原子氧传感器芯片的初始电阻较高,测量精度良好,原子氧反应率线性度高,可连续在线长期稳定工作。本发明的方法工艺简单、操作方便。
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公开(公告)号:CN107901310B
公开(公告)日:2019-04-30
申请号:CN201711154535.4
申请日:2017-11-17
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种柔性气动机械手的制备方法,它涉及一种气动机械手的制备方法。本发明是为了解决目前软体机械手的力学性能较差的技术问题。本发明:一、外层Ecoflex00‑30的制备;二、芯部PDMS的制备。本发明柔性气动机械手中的外壳和芯部之间的柔性过渡层以提高材料性能和改善柔性机械手的气动响应。本发明应用于制备柔性气动机械手。
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公开(公告)号:CN101561407A
公开(公告)日:2009-10-21
申请号:CN200910072016.2
申请日:2009-05-13
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01N27/12
Abstract: 锇膜电阻线原子氧传感器芯片的制造方法,它涉及锇膜电阻线构成的电阻型原子氧传感器芯片的制造方法。本发明解决了现有工艺制备锇膜存在容易开裂、原子氧测量的准确性差的问题。本发明方法如下:一、用物理气相沉积法在基片上依次沉积铬膜和金膜;二、然后在金膜表面上电镀锇膜;三、在锇膜表面形成线形的光刻胶图案;四、然后用电化学阳极溶解法刻蚀锇膜;五、再用湿化学法刻蚀金膜,经去胶后即在基片表面形成锇膜电阻线。本发明制得芯片的锇膜电阻线表面光滑平整,无微裂纹和针孔,线宽小,厚度大,因此该原子氧传感器芯片的初始电阻较高,测量精度良好,原子氧反应率线性度高,可连续在线长期稳定工作。本发明的方法工艺简单、操作方便。
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