公开(公告)号：CN116313815A

公开(公告)日：2023-06-23

申请号：CN202310073364.1

申请日：2023-02-07

Applicant: 吉林建筑大学

Inventor： 郭亮 ,  王冲 ,  迟耀丹 ,  杨小天 ,  王超 ,  杨帆 ,  初学峰 ,  高晓红 ,  王欢 ,  杨佳 ,  吕卅 ,  王苏浩 ,  王庆 ,  李东旭

IPC: H01L21/34 ,  H01L21/02 ,  H01L29/786

Abstract: 本发明公开了一种基于Li掺杂氧化锌锡的双有源层氧化物薄膜晶体管的制备方法，包括：一、通过光刻剥离方法在基底上刻蚀出有多个有源层沉积区；二、利用掺Li氧化锌靶材和金属锡靶材在有源层沉积区上磁控溅射沉积掺Li氧化锌锡薄膜，得到第一有源层；以及利用氧化锌靶材和金属锡靶材在第一有源层上磁控溅射沉积氧化锌锡薄膜，得到第二有源层；其中，在沉积第一有源层时，O2的分压为0；在沉积第二有源层时，O2的分压为5％；三、对沉积有源层的基底去胶后，退火；四、通过光刻剥离方法在退火后的基底上刻蚀出多个电极沉积区；每个电极沉积区包括间隔设置的源电极沉积区和漏电极沉积区；五、在源电极沉积区和漏电极沉积区上沉积电极层后，去胶。