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公开(公告)号:CN109962011A
公开(公告)日:2019-07-02
申请号:CN201910264697.6
申请日:2019-04-03
Applicant: 吉林建筑大学
IPC: H01L21/02
Abstract: 本发明公开了一种基于氧化物半导体膜制备方法,包括以下步骤:步骤一、在包含有体积分数为85~90%的氮气气体中,在1~1.5Pa的水分压下直流溅射方法将基板输送至溅射靶的正上方,制成50~60nm的氧化物薄膜,所述溅射靶采用以氧化物的形式含有金属氧化物烧结体构成;步骤二、将所述基板在含氮氧化物的环境中以100~200℃/min的升温速率升温至120~400℃,热处理10~80min,制得氧化物半导体膜。提供了一种基于氧化物半导体膜制备方法,能够通过对于制备中各参数的控制制备出高载流子迁移率的氧化物半导体膜。
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公开(公告)号:CN109962011B
公开(公告)日:2021-06-25
申请号:CN201910264697.6
申请日:2019-04-03
Applicant: 吉林建筑大学
IPC: H01L21/02
Abstract: 本发明公开了一种基于氧化物的半导体膜制备方法,包括以下步骤:步骤一、在包含有体积分数为85~90%的氮气气体中,在1~1.5Pa的水分压下直流溅射方法将基板输送至溅射靶的正上方,制成50~60nm的氧化物薄膜,所述溅射靶采用以氧化物的形式含有金属氧化物烧结体构成;步骤二、将所述基板在含氮氧化物的环境中以100~200℃/min的升温速率升温至120~400℃,热处理10~80min,制得氧化物半导体膜。提供了一种基于氧化物的半导体膜制备方法,能够通过对于制备中各参数的控制制备出高载流子迁移率的氧化物半导体膜。
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公开(公告)号:CN109884248A
公开(公告)日:2019-06-14
申请号:CN201910149882.0
申请日:2019-02-28
Applicant: 吉林建筑大学
Abstract: 本发明公开了一种基于气敏传感器的消防员用有毒气体检测装置,包括:气体检测装置;外套螺杆,其一端可拆卸连接气体检测装置,所述外套螺杆具有贯通的内螺纹孔;第一杆体,其设置在贯通的内螺纹孔内,具有外螺纹,并与外套螺杆的内螺纹孔配合,第一杆体具有贯通的第一内螺纹孔;第二杆体,其为螺纹杆,第二杆体的能够穿过所述第一杆体,在第一内螺纹孔内滑动;伸出杆,其为柱形,伸出杆的一端可拆卸连接第二杆体另一端;持握端,其可拆卸连接伸出杆另一端;其中,第一杆体的外螺纹走向与第二杆体的外螺纹走向相反,还提供了一种基于气敏传感器的消防员用有毒气体检测方法。
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