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公开(公告)号:CN110460264A
公开(公告)日:2019-11-15
申请号:CN201910840138.5
申请日:2019-09-06
Applicant: 吉林大学
IPC: H02N2/12
Abstract: 本发明涉及一种基于四足耦合运动方式提升性能的压电驱动器与控制方法,属于精密机械领域。包括底座、柔性机构、压电元件、预紧垫块、转子。柔性机构通过其旋转对称分布的驱动足,配合压电元件产生微米级运动驱动转子旋转;压电元件基于逆压电效应将电能转化为动能,驱动柔性机构动作;预紧垫块用于配合预紧螺钉调整驱动足与转子间的摩擦力;转子作为驱动装置的输出终端。具有转角分辨率高、运动平稳、响应迅速、转速快等优点,且具有无电磁干扰、结构紧凑、轻巧的特点,加工简单,装配简便,成本低,功耗低,噪音小。适用范围广,在精密仪器、精密光学、航空航天和显微操作等领域具有良好的应用前景。
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公开(公告)号:CN110849542B
公开(公告)日:2024-05-31
申请号:CN201911288913.7
申请日:2019-12-16
Applicant: 吉林大学
Abstract: 本发明涉及一种设置双重防转机构可承受重载的高精度支撑装置,属于试验调试台的倾角电动驱动支撑装置。驱动机构的主动齿轮与支撑机构的丝杠轴键连接,防转机构的十字轴座与支撑机构的支撑板螺栓固定连接、下防转拉板与支撑机构的倾角固定板采用轴销转动连接,测量反馈机构的连接板与球面座螺栓固定连接。优点是结构新颖,成本低,容易制造、安装和维修,用于调试台支撑,石材支撑,展台支撑等多种场景。
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公开(公告)号:CN109921682B
公开(公告)日:2023-10-24
申请号:CN201910236911.7
申请日:2019-03-27
Applicant: 吉林大学
Abstract: 本发明涉及一种真空环境下光学元件多自由度精密调整装置及控制方法,属于精密调整机构的技术领域。偏转角度精密调整组件通过预紧套筒与输出轴相连,旋动预紧套筒利用锥面自定心,实现对偏转角度精密调整组件的预紧,使其与连接套筒紧密接触;钳位自锁组件通过螺栓固连在连接套筒的凸缘上,并利用半球形接触件与筒壁紧密接触实现自锁,筒壁两端分别与连接端盖I、II相连,通过连接端盖I与外部宏观调整定位平台相固连。优点在于:采用模块化设计思想,结构紧凑,无需手动调节且调整定位精度可达纳米级,既能够兼顾空间狭小的局限,又能够兼容真空密封环境,可作为激光干涉仪系统专用精密光学元件的位姿调整,实用性更强。
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公开(公告)号:CN110849542A
公开(公告)日:2020-02-28
申请号:CN201911288913.7
申请日:2019-12-16
Applicant: 吉林大学
Abstract: 本发明涉及一种设置双重防转机构可承受重载的高精度支撑装置,属于试验调试台的倾角电动驱动支撑装置。驱动机构的主动齿轮与支撑机构的丝杠轴键连接,防转机构的十字轴座与支撑机构的支撑板螺栓固定连接、下防转拉板与支撑机构的倾角固定板采用轴销转动连接,测量反馈机构的连接板与球面座螺栓固定连接。优点是结构新颖,成本低,容易制造、安装和维修,用于调试台支撑,石材支撑,展台支撑等多种场景。
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公开(公告)号:CN110455656A
公开(公告)日:2019-11-15
申请号:CN201910789388.0
申请日:2019-08-26
Applicant: 吉林大学
Abstract: 本发明涉及一种精密作动/感知双模式一体化的微机械梳齿结构及检测方法,属于微机械电子系统领域。包括绝缘体上硅三明治结构,主体器件层由探针、多组接线端子、两组横向静电梳齿结构、两组法向静电梳齿结构I、两组法向静电梳齿结构II和多组弹簧结构组成,静电梳齿结构均由动极板和静极板交互叠加排列而成,动极板与探针构成动子,通过多组弹簧结构与定子相连。优点在于:基于静电驱动与电容检测原理,通过不同极板参数设计的静电梳齿结构,可实现双模式的纳米压痕/划痕测试,具有灵敏度高、可实现连续刚度测试等优点,在生物微机械操作等诸多领域也具有良好的应用前景。
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公开(公告)号:CN109814029A
公开(公告)日:2019-05-28
申请号:CN201910220184.5
申请日:2019-03-22
Applicant: 吉林大学
Abstract: 本发明涉及一种针对粘滑型直线压电驱动器的测试装置与方法,属于精密机械领域。包括底座、预紧模块、柔性机构模块、输出模块、预紧力检测模块、位移检测模块,数据采集模块。预紧模块调整柔性机构模块与输出模块之间的驱动预紧力,柔性机构模块驱动输出模块,输出模块输出位移,预紧力检测模块实现对柔性机构模块与输出模块间的驱动预紧力和压电叠堆预紧力的测量,位移检测模块检测输出模块的位移。优点在于:可实现测试驱动预紧力、压电叠堆预紧力、不同形状的驱动足对粘滑型直线压电驱动器运动性能的影响,探究驱动器合适的工作条件,为高性能粘滑型压电驱动器的预紧力调试和驱动足设计提供依据。应用范围广,实用性强。
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公开(公告)号:CN109818524B
公开(公告)日:2023-10-20
申请号:CN201910220339.5
申请日:2019-03-22
Applicant: 吉林大学
Abstract: 本发明涉及一种基于鸟翼形仿生柔性机构的压电精密驱动装置及方法,属于精密驱动领域。包括底座、柔性机构模块、直线导轨模块;底座通过其上的四个锥形沉孔与外部设备连接,底座上设有凸起的定位面;柔性机构模块用于驱动直线导轨模块,包括鸟翼形仿生柔性机构、压电叠堆A、支撑座、压电叠堆B;所述鸟翼形仿生柔性机构通过底座上的定位面定位并固定在底座上;直线导轨模块包括导轨、滑块,用于搭载或连接驱动目标并输出位移。优点在于:采用单个柔性机构、单个驱动足实现直线双向运动,降低了加工、装配误差对装置性能的影响,且体积小、结构紧凑、控制简单,可应用于显微操作、医学工程、精密仪器、常温及低温环境下的精密驱动等领域。
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公开(公告)号:CN110455656B
公开(公告)日:2022-05-24
申请号:CN201910789388.0
申请日:2019-08-26
Applicant: 吉林大学
Abstract: 本发明涉及一种精密作动/感知双模式一体化的微机械梳齿结构及检测方法,属于微机械电子系统领域。包括绝缘体上硅三明治结构,主体器件层由探针、多组接线端子、两组横向静电梳齿结构、两组法向静电梳齿结构I、两组法向静电梳齿结构II和多组弹簧结构组成,静电梳齿结构均由动极板和静极板交互叠加排列而成,动极板与探针构成动子,通过多组弹簧结构与定子相连。优点在于:基于静电驱动与电容检测原理,通过不同极板参数设计的静电梳齿结构,可实现双模式的纳米压痕/划痕测试,具有灵敏度高、可实现连续刚度测试等优点,在生物微机械操作等诸多领域也具有良好的应用前景。
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公开(公告)号:CN110470555B
公开(公告)日:2022-04-01
申请号:CN201910789670.9
申请日:2019-08-26
Applicant: 吉林大学
Abstract: 本发明涉及一种低温微纳米压痕测试系统的非真空氛围式制冷系统,属于制冷技术领域。包括制冷蒸汽发生单元、真空/氛围腔室单元、低温氛围制冷腔室单元、压入深度在线溯源单元和微纳米压痕加载与检测单元。本发明以低温氛围制冷腔室单元为基础,结合制冷蒸汽发生单元、真空/氛围腔室单元,实现非真空氛围制冷环境的构建,通过这种方式对样品与压头同时制冷,以削弱“温漂”对压痕测试精度的影响。同时能够兼容压入深度在线溯源单元,用于实现低温环境下压入深度的精密测量以及微纳米压痕加载与检测单元压入深度传感器的在线溯源校准等功能扩展,为开发研制低温微纳米压痕测试系统提供稳态的低温加载环境。
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公开(公告)号:CN109980990B
公开(公告)日:2022-04-01
申请号:CN201910236650.9
申请日:2019-03-27
Applicant: 吉林大学
Abstract: 本发明涉及一种压电‑电磁混合驱动式多自由度精密定位装置及控制方法,属于精密机械与精密工程领域。压电惯性式旋转定位组件固定安装在连接套筒中,并保证断电时与输出轴间隙配合;压电双晶片式旋转定位组件与输出轴过盈配合安装,输出轴由固定安装在连接套筒中的轴承I、II支撑导向,保证输出轴末端连接组件的轴线与输出轴线同轴;钳位机构通过连接螺栓固连在机体的凸缘上,并利用半球形接触件与连接套筒紧密接触实现自锁,通过机体端部与外部宏观调整定位平台相固连。优点在于:结构紧凑,具有轴向大行程线性定位和宏微混合旋转定位的优势,可实现多自由度运动输出,在精密光学、显微操作、航空航天和精密仪器等领域具有良好的应用前景。
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