公开(公告)号：CN119812010A

公开(公告)日：2025-04-11

申请号：CN202411410714.X

申请日：2024-10-10

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 陈勇达 ,  胡宽侃 ,  刘俊佑 ,  石哲齐 ,  杨固峰 ,  廖思雅

IPC: H01L21/50 ,  H01L21/60 ,  H01L21/48 ,  H01L23/367 ,  H01L23/373 ,  H01L23/498 ,  H01L23/522

Abstract: 一种形成半导体器件的方法包括在半导体结构上形成包含导热通孔(也称为热通孔、导热柱或热柱)的接合结构。热通孔的材料热导率大于约10W/m·K，被嵌入到接合结构中，该接合结构提供了一从热点区域到衬底的快速散热路径。本申请的实施例还公开了一种半导体器件。

公开(公告)号：CN1626957A

公开(公告)日：2005-06-15

申请号：CN200410098407.9

申请日：2004-12-10

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 陈勇达 ,  郭博菘 ,  王燕群

IPC: F24F3/16 ,  B01D47/06

CPC classification number: B01D47/06 ,  B01D53/1406

Abstract: 本发明涉及一种空气洁净系统及其洁净方法，用于处理气流中的污染物。所述空气洁净系统包括：包括一壳体，具有多个喷嘴、一酸性水供应装置、以及一碱性水供应装置，其中壳体用于导引气流，酸性水供应装置供应酸性水给第一喷嘴以喷洒酸雾，而碱性水供应装置则供应碱性水给第二喷嘴以喷洒碱雾，并且酸雾与碱雾的作用是在于中和存在于气流中的酸性与碱性气体。本发明可以降低成本。

公开(公告)号：CN100357669C

公开(公告)日：2007-12-26

申请号：CN200410098407.9

申请日：2004-12-10

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 陈勇达 ,  郭博菘 ,  王燕群

IPC: F24F3/16 ,  B01D47/06

CPC classification number: B01D47/06 ,  B01D53/1406

Abstract: 本发明涉及一种空气洁净系统及其洁净方法，用于处理气流中的污染物。所述空气洁净系统包括：包括一壳体，具有多个喷嘴、一酸性水供应装置、以及一碱性水供应装置，其中壳体用于导引气流，酸性水供应装置供应酸性水给第一喷嘴以喷洒酸雾，而碱性水供应装置则供应碱性水给第二喷嘴以喷洒碱雾，并且酸雾与碱雾的作用是在于中和存在于气流中的酸性与碱性气体。本发明可以降低成本。

公开(公告)号：CN1519510A

公开(公告)日：2004-08-11

申请号：CN03142950.5

申请日：2003-06-11

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 陈勇达 ,  郭博菘 ,  王燕群

IPC: F24F3/16 ,  B01D47/06

CPC classification number: B01D50/006 ,  B01D47/06 ,  F24F3/161 ,  F24F2003/1617 ,  Y02A50/21

Abstract: 一种空气洁净系统与一供水系统连接，其包括具有一既定空气流向的空气管路及一空气洁净模组。空气洁净模组包括一多孔性阻挡层及相对设置的复数个第一喷嘴及第二喷嘴。多孔性阻挡层完全覆盖空气管路的一截面；第一喷嘴及第二喷嘴与多孔性阻挡层相距一既定距离，并向多孔性阻挡层喷出复数个水幕，以滤除空气中的悬浮粒子及可溶性化学分子。

公开(公告)号：CN1831440A

公开(公告)日：2006-09-13

申请号：CN200510126634.2

申请日：2005-12-02

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 郭博菘 ,  陈勇达 ,  周政隆 ,  吴东立 ,  黄铭文

IPC: F24F3/16

CPC classification number: B01D46/10 ,  B01D46/0023 ,  B01D46/0086 ,  B01D46/4263 ,  B01D53/38 ,  B01D53/77 ,  B01D2257/90 ,  B01D2259/40 ,  B01D2273/30 ,  B01D2279/51 ,  Y10S55/34 ,  Y10S116/25

Abstract: 一种空气供应系统，适用于具有一重要制程机台的一无尘室之中，其包括有一外气空调单元、一进气导管、一二次空调箱或外气空调箱、一第一空气输送管、一第二空气输送管以及一排气导管。该进气导管系连接于该无尘室外部与该外气空调单元。该第一空气输送管连接于该外气空调单元与该二次空调箱之间，用于将流经该外气空调单元的空气输送至该二次空调箱之中。该第二空气输送管连接于该二次空调箱与该重要制程机台之间，用以将流经该二次空调箱的空气输送至该重要制程机台之中。采用本发明可大幅提高其第一化学过滤器的使用寿命，并通过压力调节装置的运转，本发明的空气供应系统的操作可以更为稳定及方便。

公开(公告)号：CN2699176Y

公开(公告)日：2005-05-11

申请号：CN200420049697.3

申请日：2004-04-22

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 陈勇达 ,  郭博菘 ,  王燕群

IPC: F24F3/16

Abstract: 本实用新型提供了一种空气洁净系统及其空气洁净模块。一种空气洁净系统与一供水系统连接，其包括具有一既定空气流向的空气管路及一空气洁净模块。空气洁净模块包括一多孔性阻挡层及相对设置的复数个第一喷嘴及第二喷嘴。多孔性阻挡层完全覆盖空气管路的一截面；第一喷嘴及第二喷嘴与多孔性阻挡层相距一既定距离，并向多孔性阻挡层喷出复数个水幕，以滤除空气中的悬浮粒子及可溶性化学分子。