公开(公告)号：CN109814341B

公开(公告)日：2023-07-07

申请号：CN201811381911.8

申请日：2018-11-20

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 吴尚颖 ,  简上杰 ,  刘柏村 ,  陈立锐 ,  郑博中

IPC: G03F7/20

Abstract: 一种光刻曝光工艺的方法。此方法包括以激光光束激化目标液滴，以产生极紫外线(EUV)光。此方法还包括以聚光器反射极紫外线光。此方法亦包括经由安置在聚光器旁的气体分配器排放清洁气体至聚光器上。在清洁气体离开气体分配器之前，一部分的清洁气体被转化为自由基，且自由基与清洁气体一起被排放至聚光器上。

公开(公告)号：CN113359384A

公开(公告)日：2021-09-07

申请号：CN202110653476.5

申请日：2021-06-11

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 石志聪 ,  吴于勳 ,  刘柏村 ,  李宗泉

IPC: G03F1/24 ,  G03F1/52 ,  G03F1/54

Abstract: 在一些实施例中，一种极紫外线微影方法、极紫外线遮罩及其形成方法，形成极紫外线(EUV)遮罩的方法包含形成多层Mo/Si叠层，此多层Mo/Si叠层包括在遮罩基材之上交替堆叠的Mo层及Si层；在多层Mo/Si叠层之上形成钌覆盖层；采用卤素元素、五价元素、六价元素、或其等的组合掺杂钌覆盖层；在钌覆盖层之上形成吸收层；蚀刻吸收层以在吸收层中形成图案。

公开(公告)号：CN109116683B

公开(公告)日：2021-03-02

申请号：CN201710487653.0

申请日：2017-06-23

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 吴尚颖 ,  赖韦志 ,  简上杰 ,  刘柏村 ,  陈立锐 ,  郑博中

IPC: G03F7/20

Abstract: 提供一种喷嘴模块，喷嘴模块包括一喷嘴，喷嘴具有一腔体及一液体输出口。喷嘴模块还包括一毛细管，毛细管连接液体输出口而与腔体连通。喷嘴模块还包括一压电元件，压电元件夹持毛细管。再者，喷嘴模块包括一频率产生元件，频率产生元件设置于腔体的外表面，用以对腔体提供一振荡频率。

公开(公告)号：CN109814338A

公开(公告)日：2019-05-28

申请号：CN201810819905.X

申请日：2018-07-24

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 陈鑫封 ,  刘柏村 ,  陈立锐 ,  张汉龙

IPC: G03F7/20

Abstract: 本公开公开了一种极紫外光源净化设备，以及一种用于监测和去除极紫外光微影(extreme ultraviolet lithography，EUVL)辐射源容器的窗口上的锡污染的设备和使用上述设备的方法，包括埋设在一个或多个监控单元中的光学感测模块，上述监控单元用于检查极紫外光辐射源。上述光学感测模块测量红外线(infrared，IR)辐射的强度。上述设备还包括加热元件、氢气供应模块和气体去除模块，上述气体去除模块用于当红外线辐射的强度下降到对应于实质上未被污染的窗口的基准强度的阈值以下时去除锡污染物。

公开(公告)号：CN109324062A

公开(公告)日：2019-02-12

申请号：CN201810709621.5

申请日：2018-07-02

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 张俊霖 ,  简上杰 ,  吴尚颖 ,  郑力凯 ,  傅中其 ,  刘柏村 ,  陈立锐 ,  郑博中 ,  严涛南 ,  陈家桢

IPC: G01N21/90

Abstract: 本公开提供用于直接检查极紫外光容器的整个内部的单次拍摄测量。可提供包括与极紫外光容器整合的检查工具的一极紫外光容器。在检查过程中，检查工具移入极紫外光容器的主要聚焦区域。当检查工具是设置在主要聚焦区域，并且当通过一照明器向极紫外光容器的内部提供一实质地均匀且恒定的照明度时，极紫外光容器的内部的一全景影像可以通过检查工具的一单次拍摄来获取。之后，极紫外光容器中的多个元件上的锡污染程度可以基于极紫外光容器的内部的全景影像来量化。所量化的污染程度可以与一关键绩效指标做比较，并且可以实行一失控行动计划。

公开(公告)号：CN108803246B

公开(公告)日：2022-06-21

申请号：CN201810402849.X

申请日：2018-04-28

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 张俊霖 ,  叶人豪 ,  傅中其 ,  刘柏村 ,  陈立锐 ,  郑博中

IPC: G03F7/20

Abstract: 一种用于产生极紫外光光线的方法和系统，包括提供具有高斯分布的一激光光束。此激光光束可以从高斯分布修饰为一环形分布。经修饰的激光光束通过收集器中的一孔洞提供，并与移动的液滴目标接触，以产生一极紫外光波长光线。从照射区域(前焦点)所产生的极紫外光波长光线被提供至收集器反射并汇聚至中介焦点区域(后焦点)作为曝光机的点光源。在一些实施例中，一罩元件亦可用来修饰激光光束的形状。

公开(公告)号：CN109799683B

公开(公告)日：2022-05-03

申请号：CN201810987706.X

申请日：2018-08-28

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 谢劼 ,  简上杰 ,  许峻嘉 ,  刘柏村 ,  傅中其 ,  陈立锐 ,  郑博中

IPC: G03F7/20

Abstract: 本公开部分实施例提供一种在一微影曝光制程中产生光的方法及光源。上述方法包括利用一燃料标靶产生器产生多个标靶。上述方法还包括测量标靶的一者通过在一移动路径上的两个检测位置的一时间。上述方法也包括利用一激光产生器激发一标靶，以产生发出光的等离子体。另外，上述方法包括当所测量的时间相异于一既定数值时，根据所测量的时间，调整燃料标靶产生器或激光产生器的至少一参数。

公开(公告)号：CN109788623A

公开(公告)日：2019-05-21

申请号：CN201811229203.2

申请日：2018-10-22

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 赖韦志 ,  张汉龙 ,  杨基 ,  简上杰 ,  刘柏村 ,  陈立锐 ,  郑博中

IPC: H05G2/00

Abstract: 一种极紫外光源的标靶液滴源包括一液滴产生器，配置用以产生一给定材料的标靶液滴。液滴产生器包括一喷嘴，配置用以在由一腔室封闭的一空间中供应标靶液滴。标靶液滴源还包括一套筒，设置在腔室中且靠近喷嘴。套筒配置用以为标靶液滴在腔室中提供一路径。

公开(公告)号：CN109782550A

公开(公告)日：2019-05-21

申请号：CN201811359602.0

申请日：2018-11-15

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 赖韦志 ,  张汉龙 ,  刘柏村 ,  陈立锐 ,  郑博中

IPC: G03F7/20

Abstract: 极紫外线成像工具的液滴产生器包括熔化的金属的贮槽、及具有连接至贮槽的第一末端及相对的第二末端的喷嘴，此相对的第二末端为熔化的金属液滴从喷嘴排出之处。进气口连接至喷嘴，且隔离阀位于喷嘴的第二末端，此隔离阀配置以将喷嘴与周遭隔离。

公开(公告)号：CN109782546A

公开(公告)日：2019-05-21

申请号：CN201811229196.6

申请日：2018-10-22

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 赖韦志 ,  张汉龙 ,  刘柏村 ,  陈立锐 ,  郑博中

IPC: G03F7/20

Abstract: 一种控制激发激光的装置和方法，该方法包括在液滴检测器处检测在第一位置由第一辐射源照射的一给定标靶液滴散射的辐射的第一信号。控制激发激光的方法还包括在液滴检测器处检测在相距第一位置一固定距离的第二位置由第二辐射源照射的所述给定标靶液滴散射的辐射的第二信号，以及基于第一信号的检测与第二信号的检测之间的时滞来确定给定标靶液滴的速度。所述方法还包括基于所确定的给定标靶液滴的速度，控制触发一激发脉冲以加热给定标靶液滴的触发时间。