一种除尘方法
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN106166554A

    公开(公告)日:2016-11-30

    申请号:CN201510252566.8

    申请日:2015-05-18

    CPC classification number: B08B7/0028

    Abstract: 本发明公开了一种除尘方法,包括如下步骤:于伪基板上设置一黏着层;将设置有所述黏着层的所述伪基板送入工作腔室进行一除尘操作;当检测到所述工作腔室中杂质达到一预定标准时,停止所述除尘操作进行后续操作。本发明向工作腔室中传输表面设置有黏着层的伪基板,提高了伪基板收集工作腔室内杂质的效率,如此大幅降低了进行各工艺操作之前所需的除尘时间,提高了工作效率,并且仅需向工作腔室中传输少量的伪基板就可以使其中的杂质浓度达到工作标准,有效降低了伪基板的使用量,降低了制造成本。

    光电二极管结构
    6.
    实用新型

    公开(公告)号:CN204809232U

    公开(公告)日:2015-11-25

    申请号:CN201520549787.7

    申请日:2015-07-27

    Abstract: 一种光电二极管结构,包含第一半导体层、第二半导体层以及第三半导体层。第二半导体层设置于第一半导体层上,其中第二半导体层具有侧壁,侧壁具有上部、下部以及连接上部与下部的中央部,中央部的侧壁轮廓实质上形成一平面。第三半导体层设置于第二半导体层上,其中中央部向上延伸的延伸平面会将第三半导体层区分为第一本体与第一突出部,第一突出部自延伸平面向相对于第一本体的外侧延伸。

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