公开(公告)号：CN105097553A

公开(公告)日：2015-11-25

申请号：CN201510513097.0

申请日：2015-08-20

Applicant: 友达光电股份有限公司

Inventor： 杨育鑫 ,  张志榜 ,  陈发祥 ,  李泓纬 ,  杨净斐

IPC: H01L21/336 ,  H01L21/324 ,  H01L29/26

CPC classification number: H01L29/66742 ,  H01L21/324 ,  H01L29/26

Abstract: 本发明提供一种用于软性显示器的薄膜晶体管的制造方法。该软性显示器包括一基板、位于基板上的绝缘层以及位于绝缘层上方的一缓冲层。该制造方法包括：形成第一金属氧化层于缓冲层的上方；对第一金属氧化层进行高温热退火处理，使其吸收缓冲层中的大量氢原子；移除已吸收了氢原子的第一金属氧化层；以及形成一薄膜晶体管于缓冲层的上方。相比于现有技术，本发明设置一金属氧化层于缓冲层的上方，该金属氧化层在高温热退火处理之后能够吸收缓冲层内残留的大量氢原子并随后被移除，可避免因缓冲层的氢含量过高导致组件偏导体，进而改善组件的电特性。