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公开(公告)号：CN116313757A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202310225688.2
申请日：2023-03-10
Applicant: 厦门理工学院
IPC: H01L21/265 , H01L21/268 , H01L21/285
Abstract: 本发明公开了一种锗中高N型掺杂浅结的方法及其应用，本发明针对Gen‑MOSFET的源漏金属与锗接触存在强烈的费米钉扎效应以及锗中高激活浓度浅结N型掺杂获得困难的问题，提供了一种同时实现金属锗化物与锗的低比接触电阻率欧姆接触以及锗中高激活浓度浅结掺杂的简易方法，即在p型锗衬底上，通过离子注入方式注入磷，沉积金属镍(Ni)，然后通过脉冲激光退火，诱导形成镍锗化合物，利用雪犁效应和短时高温激光退火，最终修复注入引起的晶格损伤、激活杂质离子、降低杂质扩散、提高掺杂浓度，同时接触界面光滑平整。可明显降低Gen‑MOSFET源漏的接触电阻；还可明显降低N型杂质在Ge中的扩散深度，获得Gen+/p浅结。
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公开(公告)号：CN110346319A
公开(公告)日：2019-10-18
申请号：CN201910638680.2
申请日：2019-07-16
Applicant: 厦门理工学院
IPC: G01N21/35
Abstract: 本发明涉及生物分子指纹检测技术。本发明公开了一种基于石墨烯的多谐振型生物分子指纹检测传感器，包括硅衬底、SiO2介质层、Ion-gel电控层和石墨烯圆盘单元，所述SiO2介质层叠设在硅衬底上，所述石墨烯圆盘单元设置在SiO2介质层上表面，所述石墨烯圆盘单元包括多个间隔设置且半径大小都不同的石墨烯圆盘，石墨烯圆盘单元的数量为多个，在SiO2介质层上表面形成二维周期性阵列结构，所述Ion-gel电控层设置在SiO2介质层上并包覆所有的石墨烯圆盘，包覆相同半径的石墨烯圆盘的Ion-gel电控层电连接，包覆不同半径的石墨烯圆盘的Ion-gel电控层电隔离。本发明具有动态可调谐特性，且可以同时检测多种生物分子的指纹谱。
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公开(公告)号：CN110471137B
公开(公告)日：2024-02-13
申请号：CN201910877860.6
申请日：2019-09-17
Applicant: 厦门理工学院
IPC: G02B5/00
Abstract: 本发明提供一种双频段红外吸波器，包括金衬底层、层叠于金衬底层表面的二氧化硅层以及设置于二氧化硅层表面的多个阵列设置的吸波模块，所述吸波模块具有四组吸波单元，所述吸波单元均包括设置于二氧化硅层表面的黑磷层和设置于黑磷层上方的石墨烯层，所述黑磷层和石墨烯层之间填充有hBN介质层，所述黑磷层和石墨烯层均是以长轴为中心对切而成的半椭圆形，所述黑磷层和石墨烯层垂直投影于二氧化硅层表面的投影面相重合；四组吸波单元以半椭圆形的长轴为外边共同组成“口”字形结构的吸波模块。该双频段红外吸波器具有各向异性；可通过化学掺杂的方法，对两个吸收带进行调谐；不依赖于入射红外光的入射角度；易于加工的特点。
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公开(公告)号：CN113548119A
公开(公告)日：2021-10-26
申请号：CN202111028263.X
申请日：2021-09-02
Applicant: 厦门理工学院
Abstract: 本发明提出了一种可变型多用途微型移动平台，包括支撑架，所述支撑架的一端两侧均设置有驱动轮，所述支撑架的另一端两侧均设置有第一从动轮，所述驱动轮与第一从动轮之间连接有第一履带；连接架，所述连接架与支撑架转动连接，所述连接架的另一端两侧均设置有第二从动轮，所述第一从动轮与第二从动轮之间连接有第二履带；安装架，所述安装架与连接架转动连接；第一离合机构，所述第一离合机构连接在连接架与第一从动轮之间；第二离合机构，所述第二离合机构连接在安装架与第二从动轮之间。通过第一离合机构和第二离合机构的控制，移动平台可以根据地形的变化在直立轮式形态和卧式履带形两种模式下来回切换，从而提高地形适应性。
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公开(公告)号：CN112290229A
公开(公告)日：2021-01-29
申请号：CN202011131054.3
申请日：2020-10-21
Applicant: 厦门理工学院
IPC: H01Q17/00
Abstract: 本发明提出了一种基于石墨烯的多频段易调谐太赫兹吸波器，吸波器由吸波器单元构成，吸波器单元设置有9层结构，从上到下依次为石墨烯层和Topas介质层共8层间隔设置，底层为金属层，石墨烯层为椭圆形且每个相邻的石墨烯层的长轴互相垂直设置。石墨烯层在本发明中作为吸波材料，石墨烯层为椭圆形结构可以诱发入射太赫兹波的局域表面等离激元谐振。通过对四个不同石墨烯层进行不同载流子浓度的掺杂，从而改变石墨烯的化学势，进而可以独立调节8个吸波频段的频率，或者长短轴的长度调整，也可以独立调节8个吸波频段的频率。该太赫兹吸波器具有八频带吸收、高吸收率、易调谐、结构简单以及易于集成等优点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113548119B
公开(公告)日：2022-10-18
申请号：CN202111028263.X
申请日：2021-09-02
Applicant: 厦门理工学院
Abstract: 本发明提出了一种可变型多用途微型移动平台，包括支撑架，所述支撑架的一端两侧均设置有驱动轮，所述支撑架的另一端两侧均设置有第一从动轮，所述驱动轮与第一从动轮之间连接有第一履带；连接架，所述连接架与支撑架转动连接，所述连接架的另一端两侧均设置有第二从动轮，所述第一从动轮与第二从动轮之间连接有第二履带；安装架，所述安装架与连接架转动连接；第一离合机构，所述第一离合机构连接在连接架与第一从动轮之间；第二离合机构，所述第二离合机构连接在安装架与第二从动轮之间。通过第一离合机构和第二离合机构的控制，移动平台可以根据地形的变化在直立轮式形态和卧式履带形两种模式下来回切换，从而提高地形适应性。
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公开(公告)号：CN112290229B
公开(公告)日：2022-04-29
申请号：CN202011131054.3
申请日：2020-10-21
Applicant: 厦门理工学院
IPC: H01Q17/00
Abstract: 本发明提出了一种基于石墨烯的多频段易调谐太赫兹吸波器，吸波器由吸波器单元构成，吸波器单元设置有9层结构，从上到下依次为石墨烯层和Topas介质层共8层间隔设置，底层为金属层，石墨烯层为椭圆形且每个相邻的石墨烯层的长轴互相垂直设置。石墨烯层在本发明中作为吸波材料，石墨烯层为椭圆形结构可以诱发入射太赫兹波的局域表面等离激元谐振。通过对四个不同石墨烯层进行不同载流子浓度的掺杂，从而改变石墨烯的化学势，进而可以独立调节8个吸波频段的频率，或者长短轴的长度调整，也可以独立调节8个吸波频段的频率。该太赫兹吸波器具有八频带吸收、高吸收率、易调谐、结构简单以及易于集成等优点。
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公开(公告)号：CN110263899A
公开(公告)日：2019-09-20
申请号：CN201910534275.6
申请日：2019-06-20
Applicant: 厦门理工学院
IPC: G06K19/077
Abstract: 本发明涉及标签技术领域。本发明公开了一种基于石墨烯的无芯片太赫兹识别标签，包括从下到上依次设置的贵金属衬底层、下Topas介质层、下石墨烯层、中Topas介质层、中石墨烯层、上Topas介质层和上石墨烯层，所述下石墨烯层、中石墨烯层和上石墨烯层均为正方形或圆形的环状的掺杂石墨烯层，且中心均在同一条与贵金属衬底层垂直的垂直线上，所述下石墨烯层、中石墨烯层和上石墨烯层在平行于贵金属衬底表面的平面内的尺寸都不相同。本发明具有无芯片，尺寸小，成本低，不同编码的标签可以采用统一的几何结构，利于大规模生产的优点。
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公开(公告)号：CN110263899B
公开(公告)日：2023-07-25
申请号：CN201910534275.6
申请日：2019-06-20
Applicant: 厦门理工学院
IPC: G06K19/077
Abstract: 本发明涉及标签技术领域。本发明公开了一种基于石墨烯的无芯片太赫兹识别标签，包括从下到上依次设置的贵金属衬底层、下Topas介质层、下石墨烯层、中Topas介质层、中石墨烯层、上Topas介质层和上石墨烯层，所述下石墨烯层、中石墨烯层和上石墨烯层均为正方形或圆形的环状的掺杂石墨烯层，且中心均在同一条与贵金属衬底层垂直的垂直线上，所述下石墨烯层、中石墨烯层和上石墨烯层在平行于贵金属衬底表面的平面内的尺寸都不相同。本发明具有无芯片，尺寸小，成本低，不同编码的标签可以采用统一的几何结构，利于大规模生产的优点。
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公开(公告)号：CN110471137A
公开(公告)日：2019-11-19
申请号：CN201910877860.6
申请日：2019-09-17
Applicant: 厦门理工学院
IPC: G02B5/00
Abstract: 本发明提供一种双频段红外吸波器，包括金衬底层、层叠于金衬底层表面的二氧化硅层以及设置于二氧化硅层表面的多个阵列设置的吸波模块，所述吸波模块具有四组吸波单元，所述吸波单元均包括设置于二氧化硅层表面的黑磷层和设置于黑磷层上方的石墨烯层，所述黑磷层和石墨烯层之间填充有hBN介质层，所述黑磷层和石墨烯层均是以长轴为中心对切而成的半椭圆形，所述黑磷层和石墨烯层垂直投影于二氧化硅层表面的投影面相重合；四组吸波单元以半椭圆形的长轴为外边共同组成“口”字形结构的吸波模块。该双频段红外吸波器具有各向异性；可通过化学掺杂的方法，对两个吸收带进行调谐；不依赖于入射红外光的入射角度；易于加工的特点。
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