公开(公告)号：CN102166728B

公开(公告)日：2013-01-02

申请号：CN201110040892.4

申请日：2011-02-18

Applicant: 厦门大学

Inventor： 郭隐彪 ,  陈梅云 ,  王振忠 ,  唐旎 ,  饶睿智

IPC: B24B29/00

Abstract: 磁浮式抛光工具盘，涉及一种抛光工具。提供一种可实现载荷分布完全均匀化的磁浮式抛光工具盘。设有上支撑轴、圆夹盘、线圈支座、N极磁铁、S极磁铁、线圈、抛光盘和下支撑轴；所述抛光盘与支撑轴连接，N极磁铁和S极磁铁正对放置在抛光盘两侧；所述线圈设在线圈支座上，线圈支座与抛光盘同心放置，线圈与N极磁铁和S极磁铁之间留有空隙，用于夹住工件的圆夹盘置于抛光盘上方。

公开(公告)号：CN102166728A

公开(公告)日：2011-08-31

申请号：CN201110040892.4

申请日：2011-02-18

Applicant: 厦门大学

Inventor： 郭隐彪 ,  陈梅云 ,  王振忠 ,  唐旎 ,  饶睿智

IPC: B24B29/00

Abstract: 磁浮式抛光工具盘，涉及一种抛光工具。提供一种可实现载荷分布完全均匀化的磁浮式抛光工具盘。设有上支撑轴、圆夹盘、线圈支座、N极磁铁、S极磁铁、线圈、抛光盘和下支撑轴；所述抛光盘与支撑轴连接，N极磁铁和S极磁铁正对放置在抛光盘两侧；所述线圈设在线圈支座上，线圈支座与抛光盘同心放置，线圈与N极磁铁和S极磁铁之间留有空隙，用于夹住工件的圆夹盘置于抛光盘上方。