公开(公告)号：CN116799092A

公开(公告)日：2023-09-22

申请号：CN202310818728.4

申请日：2023-07-05

Applicant: 厦门大学

Inventor： 龙浩 ,  何希瑶 ,  蔡子灵

IPC: H01L31/109 ,  H01L31/18 ,  H01L31/0224

Abstract: 本发明公开了一种基于氧化镓基的日盲紫外探测器及其制备方法。其中，所述探测器包括：所述探测器从下至上依次包括：衬底、p型半导体薄膜；第一金属电极与Ga2O3薄膜形成的叉指结构；设置于Ga2O3薄膜表面的第二金属电极，所述第二金属电极的形状与所述Ga2O3叉指薄膜相契合。本发明采用叉指的方式进行Ga2O3与其他p型半导体异质结探测器的制备，增大了电极周长和0V偏压下载流子收集能力，并且提高反偏压时Ga2O3区域的平均电场强度，增快载流子的迁移速率，达到更高的响应度和更快的响应时间(

公开(公告)号：CN115224135A

公开(公告)日：2022-10-21

申请号：CN202211036920.X

申请日：2022-08-26

Applicant: 厦门大学

Inventor： 龙浩 ,  蔡子灵

IPC: H01L31/0232 ,  H01L31/18 ,  H01L31/08

Abstract: 本发明公开了基于谐振腔的窄带光探测器，相对于传统的光探测器而言，本方案的光探测器能够利用DBR‑FP腔光学相干效应形成高反带中特定波长(腔模)透过率增强，其他波长透过率几乎为0的选择效果，特定腔模可以通过控制腔长所得和调整，即具有优秀的波长选择性；除此之外，本方案利用DBR‑FP腔，将腔模波长入射光限制在两反射镜构成的腔内,发生多次反射产生干涉增强作用,使腔模的光模式态密度增大，增强特定吸收，使本方案的窄带光探测器具有高响应度的优势。